一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架的制作方法

本实用新型涉及晶圆片固定技术领域，具体为一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架。

背景技术：

单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯和蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光和切片之后，就成为了晶圆，晶圆是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸和12英寸等规格。

晶圆的加工生产指的是在晶圆上进行电路的加工与制作，其基本处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗之后，接着进行氧化及沉积，最后进行微影、蚀刻及离子植入等反覆步骤，整个过程都在fab无尘车间进行，目前现有的晶圆隔离盒内固定架一般存在着使用不方便的缺点，在车间各站点周转过程中，由于晃动等外界因素，相位机构发生大幅度变形导致回弹性不佳，不能再次对回位，如果发生断裂其碎裂的细小粉尘会污染晶圆，从而导致装置的实用性较差，故而提出一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架来解决上述所提出的问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，具备使用方便等优点，解决了目前现有的晶圆隔离盒内固定架一般存在着使用不方便的缺点，在车间各站点周转过程中，由于晃动等外界因素，相位机构发生大幅度变形导致回弹性不佳，不能再次对回位，如果发生断裂其碎裂的细小粉尘会污染晶圆，从而导致装置实用性较差的问题。

(二)技术方案

为实现上述使用方便的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，包括存放盒，所述存放盒底部的左右两侧均固定安装有电动推杆，所述存放盒的内腔固定安装有数量为两个的隔板，底部所述隔板顶部的左右两侧均固定安装有第一限位套杆，顶部所述隔板底部的左右两侧均固定安装有一端与第一限位套杆活动连接的限位插杆，所述隔板的顶部固定安装有数量为三个的固定板，所述固定板底部的左右两侧均固定安装有一端与隔板固定连接的侧板，所述固定板的顶部活动安装有转动环，所述转动环的底部固定安装有一端与固定板活动连接的螺杆，所述螺杆的外侧活动安装有移动套杆，所述移动套杆的底部固定安装有下压板，所述下压板的左右两侧均固定安装有第二限位套杆，两个所述侧板相对的一侧均固定安装有一端与第二限位套杆活动连接的竖杆，两个所述侧板之间的底部活动安装有底座，所述底座底部的左右两侧均固定安装有伸缩杆，所述底座的底部且位于两个伸缩杆之间固定安装有一端与隔板活动连接的活动插杆，所述活动插杆的外侧固定安装有连接弹簧，所述底座的左右两侧均固定安装有一端与侧板活动连接的滚轮，所述底座与伸缩杆相对的一侧均固定安装有弹性垫。

优选的，所述固定板的顶部固定安装有轴承，且固定板通过轴承与螺杆活动连接，所述移动套杆与下压板呈九十度垂直安装。

优选的，所述移动套杆的顶部开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺杆相适配，所述固定板的数量为六个。

优选的，底部所述隔板底部的左右两侧均固定安装有安装环，且隔板通过安装环与电动推杆固定连接，所述存放盒的左右两侧壁均固定安装有观察窗。

优选的，所述第二限位套杆的顶部开设有通孔，且通孔与竖杆相适配，所述活动插杆与底座呈九十度垂直安装。

优选的，所述隔板的底部开设有穿孔，且穿孔与活动插杆相适配，两个所述电动推杆以存放盒的中垂线呈对称分布。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，具备以下有益效果：

该晶圆超净空间隔离盒内的固定架，通过在存放盒底部设有电动推杆，当需要存放晶圆片时，首先由电动推杆将隔板上推，使其移出存放盒，上抬位于上端的隔板，使第一限位套杆与限位插杆分离，接着将晶圆片卡在底座的顶端，转动转动环，使螺杆转动，由于在移动套杆内开设有与螺杆相适配的螺纹孔，并在下压板左右两侧均设有竖杆和第二限位套杆，使得移动套杆的转动受到限制，在螺杆转动的过程中，推动移动套杆下移，当与晶圆片接触时，底座就会下压，将伸缩杆以及连接弹簧压缩，通过伸缩杆和连接弹簧的缓冲形变上推底座，使底座与下压板之间具有一定的挤压力，并通过在底座与下压板上均设有弹性垫，使晶圆片可以稳定的夹在底座与下压板之间，从而有效避免设备在晃动的过程中，因为晶圆片的移位而受到粉尘污染，大大提高了装置运载的稳定性，使得设备使用更加方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中a处放大图；

图3为本实用新型图1中b处放大图。

图中：1第一限位套杆、2存放盒、3电动推杆、4隔板、5固定板、6转动环、7侧板、8限位插杆、9弹性垫、10滚轮、11伸缩杆、12活动插杆、13连接弹簧、14底座、15竖杆、16第二限位套杆、17下压板、18移动套杆、19螺杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，包括存放盒2，存放盒2底部的左右两侧均固定安装有电动推杆3，电动推杆3的型号可为cp-700，通过在存放盒2底部设有电动推杆3，当需要存放晶圆片时，首先由电动推杆3将隔板4上推，使其移出存放盒2，上抬位于上端的隔板4，使第一限位套杆1与限位插杆8分离，接着将晶圆片卡在底座14的顶端，转动转动环6，使螺杆19转动，由于在移动套杆18内开设有与螺杆19相适配的螺纹孔，并在下压板17左右两侧均设有竖杆15和第二限位套杆16，使得移动套杆18的转动受到限制，在螺杆19转动的过程中，推动移动套杆18下移，当与晶圆片接触时，底座14就会下压，将伸缩杆11以及连接弹簧13压缩，通过伸缩杆11和连接弹簧13的缓冲形变上推底座14，使底座14与下压板17之间具有一定的挤压力，并通过在底座14与下压板17上均设有弹性垫9，使晶圆片可以稳定的夹在底座14与下压板17之间，从而有效避免设备在晃动的过程中，因为晶圆片的移位而受到粉尘污染，大大提高了装置运载的稳定性，使得设备使用更加方便，存放盒2的内腔固定安装有数量为两个的隔板4，底部隔板4底部的左右两侧均固定安装有安装环，且隔板4通过安装环与电动推杆3固定连接，存放盒2的左右两侧壁均固定安装有观察窗，底部隔板4顶部的左右两侧均固定安装有第一限位套杆1，顶部隔板4底部的左右两侧均固定安装有一端与第一限位套杆1活动连接的限位插杆8，隔板4的顶部固定安装有数量为三个的固定板5，固定板5的顶部固定安装有轴承，且固定板5通过轴承与螺杆19活动连接，移动套杆18与下压板17呈九十度垂直安装，固定板5底部的左右两侧均固定安装有一端与隔板4固定连接的侧板7，固定板5的顶部活动安装有转动环6，转动环6的底部固定安装有一端与固定板5活动连接的螺杆19，螺杆19的外侧活动安装有移动套杆18，移动套杆18的顶部开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺杆19相适配，固定板5的数量为六个，移动套杆18的底部固定安装有下压板17，下压板17的左右两侧均固定安装有第二限位套杆16，第二限位套杆16的顶部开设有通孔，且通孔与竖杆15相适配，活动插杆12与底座14呈九十度垂直安装，两个侧板7相对的一侧均固定安装有一端与第二限位套杆16活动连接的竖杆15，两个侧板7之间的底部活动安装有底座14，底座14底部的左右两侧均固定安装有伸缩杆11，缩杆11由套仓和运动杆组成，运动杆一端贯穿并延伸至套仓的内部，运动杆的外侧固定连接有位于套仓内部的限定块，套仓的一端开设有与运动杆相适配的贯穿孔，通过设置有限定块，防止了运动杆在运动过程中与套仓脱离，底座14的底部且位于两个伸缩杆11之间固定安装有一端与隔板4活动连接的活动插杆12，隔板4的底部开设有穿孔，且穿孔与活动插杆12相适配，两个电动推杆3以存放盒2的中垂线呈对称分布，活动插杆12的外侧固定安装有连接弹簧13，底座14的左右两侧均固定安装有一端与侧板7活动连接的滚轮10，底座14与伸缩杆11相对的一侧均固定安装有弹性垫9。

综上所述，该晶圆超净空间隔离盒内的固定架，通过在存放盒2底部设有电动推杆3，当需要存放晶圆片时，首先由电动推杆3将隔板4上推，使其移出存放盒2，上抬位于上端的隔板4，使第一限位套杆1与限位插杆8分离，接着将晶圆片卡在底座14的顶端，转动转动环6，使螺杆19转动，由于在移动套杆18内开设有与螺杆19相适配的螺纹孔，并在下压板17左右两侧均设有竖杆15和第二限位套杆16，使得移动套杆18的转动受到限制，在螺杆19转动的过程中，推动移动套杆18下移，当与晶圆片接触时，底座14就会下压，将伸缩杆11以及连接弹簧13压缩，通过伸缩杆11和连接弹簧13的缓冲形变上推底座14，使底座14与下压板17之间具有一定的挤压力，并通过在底座14与下压板17上均设有弹性垫9，使晶圆片可以稳定的夹在底座14与下压板17之间，从而有效避免设备在晃动的过程中，因为晶圆片的移位而受到粉尘污染，大大提高了装置运载的稳定性，使得设备使用更加方便，解决了目前现有的晶圆隔离盒内固定架一般存在着使用不方便的缺点，在车间各站点周转过程中，由于晃动等外界因素，相位机构发生大幅度变形导致回弹性不佳，不能再次对回位，如果发生断裂其碎裂的细小粉尘会污染晶圆，从而导致装置实用性较差的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。