一种晶圆传送盒的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆传送盒。


背景技术：

2.在半导体制程中，晶圆制作完成后，需先将晶圆装进晶圆传送盒(front open unified pod，foup)中，再将晶圆移到下一个制程工作站/机台，以避免晶圆在搬运过程中受到损伤，无法进行下一个制程的制作。
3.而随着电路集成度的增加以及对各项制程环境的要求越来越高，对存放晶圆的晶圆传送盒的清洁度要求也越来越高。虽然现有的晶圆传送盒内部具有进气口等结构，可以通过通入氮气来对晶圆传送盒内部进行吹扫，使得盒体内部的晶圆不被空气中的杂质颗粒、氧气以及水蒸气等污染，避免晶圆出现表面缺陷或损伤等。
4.但是，在将晶圆传送盒打开时，进行吹扫的氮气并不能有效防止盒体外部空气中的杂质颗粒、氧气以及水蒸气等进入盒体内部，即，不能有效地防止杂质颗粒、氧气以及水蒸气等对晶圆的污染，使得晶圆不能满足对清洁度要求较高的制程的要求。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型提供了一种晶圆传送盒，以有效防止杂质颗粒以及水蒸气等对晶圆的污染。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种晶圆传送盒，包括：
8.盒体，所述盒体具有一容纳晶圆的容纳腔，所述盒体的一侧具有开口，所述晶圆通过所述开口进出所述容纳腔；
9.盖体，设置于所述开口处，当所述盖体与所述开口处的盒体盖合时，所述容纳腔为一密闭的容纳腔；
10.第一进气装置，所述第一进气装置的第一出气口位于所述盒体的内部，以通过向所述盒体内部通入气体来对所述盒体内部进行吹扫；
11.第二进气装置，所述第二进气装置的多个第二出气口依次排列在所述开口的至少一侧，且所述第二出气口排出的气体从所述开口的一侧向所述开口相对的另一侧吹扫。
12.可选地，所述第二进气装置仅在所述盖体与所述开口处的盒体分开时，从所述第二出气口排出气体。
13.可选地，所述晶圆传送盒还包括传感器和与所述传感器相连的控制器；
14.所述传感器设置在所述开口处，用于检测所述盖体与所述开口处的盒体是否盖合，并在所述盖体与所述开口处的盒体分开时，发送第一控制指令至所述控制器，在所述盖体与所述开口处的盒体盖合时，发送第二控制指令至所述控制器；
15.所述控制器与所述第二进气装置相连，用于在接收到所述第一控制指令后，控制所述第二进气装置从所述多个第二出气口排出气体，在接收到所述第二控制指令后，控制
所述第二进气装置停止从所述多个第二出气口排出气体。
16.可选地，所述开口包括第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边，所述第一侧边与所述第三侧边相对设置，所述第二侧边与所述第四侧边相对设置，且所述第一侧边位于所述盒体的顶部，所述第三侧边位于所述盒体的底部；
17.多个所述第二出气口依次排列在所述开口的第一侧边，且所述第二出气口排出的气体从所述开口的第一侧边向所述开口的第三侧边吹扫。
18.可选地，多个所述第二出气口依次排列在所述开口的第三侧边，所述第二出气口排出的气体从所述开口的第三侧边向所述开口的第一侧边吹扫，且所述第一侧边的第二进气口与所述第三侧边的第二进气口交错排布。
19.可选地，所述开口包括第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边，所述第一侧边与所述第三侧边相对设置，所述第二侧边与所述第四侧边相对设置，且所述第一侧边位于所述盒体的顶部，所述第三侧边位于所述盒体的底部；
20.多个所述第二出气口依次排列在所述开口的第二侧边，且所述第二出气口排出的气体从所述开口的第二侧边向所述开口的第四侧边吹扫。
21.可选地，多个所述第二出气口依次排列在所述开口的第四侧边，所述第二出气口排出的气体从所述开口的第四侧边向所述开口的第二侧边吹扫，且所述第二侧边的第二进气口与所述第四侧边的第二进气口交错排布。
22.可选地，所述第二进气装置至少包括一个进气管路，所述进气管路位于所述开口的至少一侧，所述多个第二出气口位于所述进气管路上。
23.可选地，一个所述进气管路位于所述开口的一侧，所述一个进气管路的多个第二出气口在所述开口的一侧依次排列。
24.可选地，两个所述进气管路位于所述开口的同一侧，所述两个进气管路的多个第二出气口在所述开口的同一侧依次排列。
25.与现有技术相比，本实用新型所提供的技术方案具有以下优点：
26.本实用新型所提供的晶圆传送盒，第一进气装置的第一出气口位于盒体的内部，通过向盒体内部通入气体来对盒体内部进行吹扫，第二进气装置的多个第二出气口依次排列在盒体开口的至少一侧，且第二出气口排出的气体从开口的一侧向开口相对的另一侧吹扫，基于此，在盖体与盒体分开时，即在打开晶圆传送盒时，从开口的一侧向开口相对的另一侧吹扫的气体可以起到类似门帘的作用，从而可以有效防止外界空气中的杂质颗粒、氧气以及水蒸气等进入晶圆传送盒内部，对盒体内部的晶圆造成污染。并且，通过增加的第二进气装置可以增加晶圆传送盒内吹扫气体的浓度，从而可以进一步降低盒内氧气以及水蒸气的浓度，进而可以有效地避免氧气以及水蒸气等对晶圆造成影响。
附图说明
27.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
28.图1为本实用新型一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图；
29.图2为本实用新型另一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图；
30.图3为本实用新型另一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图；
31.图4为本实用新型另一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图；
32.图5为本实用新型另一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图；
33.图6为本实用新型另一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图；
34.图7为本实用新型另一个实施例提供的晶圆传送盒的结构示意图。
具体实施方式
35.以上是本实用新型的核心思想，为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.本实用新型实施例提供了一种晶圆传送盒，用于进行晶圆的装载和传送，如图1所示，该晶圆传送盒包括：
37.盒体1，盒体1具有一容纳腔，该容纳腔可容纳多个晶圆j，盒体1的一侧具有开口10，多个晶圆j通过开口10进出容纳腔。当然，盒体1还可以具有承载多个晶圆j的支架等，在此不再赘述。
38.盖体(图中未示出)，设置于开口10处。当盖体与开口10处的盒体1盖合时，容纳腔为一密闭的容纳腔，当盖体与开口10处的盒体1分开时，多个晶圆j通过开口10进出容纳腔。需要说明的是，盖体可以通过连接件连接在盒体1上，也可以不与盒体1连接。
39.第一进气装置2，第一进气装置2的第一出气口20位于盒体1的内部，以通过向盒体1内部通入气体来对盒体1内部进行吹扫。本实用新型一些实施例中，第一进气装置2包括进气管路和扩散器，气体通过进气管路进入盒体1的内部，并通过位于盒体1内部的扩散器上的多个第一出气口20排出。
40.第二进气装置3，第二进气装置3的多个第二出气口30依次排列在开口10的至少一侧，且第二出气口30排出的气体从开口10的一侧向开口10相对的另一侧吹扫。
41.基于此，在盖体与盒体1分开时，即在打开晶圆传送盒时，从开口10的一侧向开口10相对的另一侧吹扫的气体可以起到类似门帘的作用，从而可以有效防止外界空气中的杂质颗粒、氧气以及水蒸气等进入晶圆传送盒内部，对盒体内部的晶圆造成污染。并且，通过增加的第二进气装置3可以增加晶圆传送盒内吹扫气体的浓度，从而可以进一步降低盒内氧气以及水蒸气的浓度，进而可以有效地避免氧气以及水蒸气等对晶圆造成影响。
42.可选地，第一进气装置2和第二进气装置3排出的气体为氮气，但是，本实用新型并不仅限于此，在其他实施例中，气体还可以为干净的干燥空气等。
43.本实用新型的一些实施例中，第二进气装置3仅在盖体与开口10处的盒体1分开时，从第二出气口30排出气体，以免在打开晶圆传送盒时，外界空气中的杂质颗粒、氧气以及水蒸气等进入晶圆传送盒内部。
44.进一步可选地，本实用新型的一些实施例中，晶圆传送盒还包括传感器和与传感器相连的控制器。可选地，传感器可以为红外传感器等。
45.传感器设置在开口10处，用于检测盖体与开口10处的盒体1是否盖合，并在盖体与开口10处的盒体1分开时，发送第一控制指令至控制器，在盖体与开口10处的盒体1盖合时，发送第二控制指令至控制器；
46.控制器与第二进气装置3相连，用于在接收到第一控制指令后，控制第二进气装置3从多个第二出气口30排出气体，在接收到第二控制指令后，控制第二进气装置3停止从多个第二出气口30排出气体。
47.当然，本实用新型并不仅限于此，在其他实施例中，第二进气装置3可以在盖体与开口10处的盒体1分开以及盖体与开口10处的盒体1盖合时都从第二出气口30排出气体，以避免外界空气中的杂质颗粒、氧气以及水蒸气等进入晶圆传送盒内部的同时，增加晶圆传送盒内吹扫气体的浓度，从而可以进一步降低盒内氧气以及水蒸气的浓度，进而可以有效地避免氧气以及水蒸气等对晶圆造成影响。
48.本实用新型一些实施例中，开口10包括第一侧边c1、第二侧边c2、第三侧边c3和第四侧边c4，第一侧边c1与第三侧边c3相对设置，第二侧边c2与第四侧边c4相对设置，且第一侧边c1位于盒体1的顶部，第三侧边c3位于盒体1的底部。当然，本实用新型实施例中仅以开口10为方形为例进行说明，在其他实施例中，开口10的形状还可以为圆形或三角形等。
49.在此基础上，本实用新型的一些实施例中，如图1所示，多个第二出气口30依次排列在开口10的第一侧边c1，且第二出气口30排出的气体从开口10的第一侧边c1向开口10的第三侧边c3吹扫。
50.本实用新型的一些实施例中，第二进气装置4至少包括一个进气管路，进气管路位于开口10的至少一侧，多个第二出气口30位于进气管路上。
51.可选地，如图1所示，进气管路从开口10的第二侧边c2延伸至开口10的第一侧边c1，即进气管路的进气口和第二出气口30并不位于开口10的同一侧边，但是，本实用新型并不仅限于此，在另一个实施例中，如图2所示，进气管路从开口10的第一侧边c1的一端延伸至另一端，即进气管路的进气口和第二出气口30位于开口10的同一侧边。
52.本实用新型的一侧实施例中，如图1和图2所示，仅有一个进气管路位于开口10的一侧，一个进气管路的多个第二出气口30在开口10的一侧依次排列。当然，本实用新型并不仅限于此，在另一些实施例中，如图3所示，可以有两个进气管路位于开口10的同一侧，一个进气管路从左向右通入气体，另一个进气管路从右向左通入气体，并且，两个进气管路的多个第二出气口30在开口10的同一侧依次排列，以提高每个第二出气口30的排气量。
53.需要说明的是，本实用新型实施例附图中仅以进气管路位于盒体1外侧为例进行说明，并不仅限于此，在其他实施例中，进气管路还可以位于盒体1内侧靠近开口10的位置。
54.在多个第二出气口30依次排列在开口10的第一侧边c1的基础上，本实用新型的另一些实施例中，如图4所示，多个第二出气口30依次排列在开口10的第三侧边c3，第二出气口30排出的气体从开口10的第三侧边c3向开口10的第一侧边c1吹扫，且第一侧边c1的第二进气口30与第三侧边c3的第二进气口30交错排布。
55.本实用新型的另一些实施例中，如图5所示，多个第二出气口30依次排列在开口10的第二侧边c2，且第二出气口30排出的气体从开口10的第二侧边c2向开口10的第四侧边c4吹扫。
56.当然，本实用新型并不仅限于此，在上述实施例的基础上，在本实用新型的另一些
实施例中，如图6所示，多个第二出气口30依次排列在开口10的第四侧边c4，第二出气口30排出的气体从开口10的第四侧边c4向开口10的第二侧边c2吹扫，且第二侧边c2的第二进气口30与第四侧边c4的第二进气口30交错排布。
57.在图5和图6所示的结构中，可以在开口10的同一侧边设置一个进气管路，当然，在本实用新型的另一些实施例中，如图7所示，也可以在开口10的同一侧边设置两个进气管路。
58.当然，在本实用新型的另一些实施例中，还可以根据需要将第二进气装置3设置在开口10的第一侧边c1、第二侧边c2、第三侧边c3和/或第四侧边c4，在此不再一一赘述。
59.本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。