一种晶圆载片盘的固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆载片配件技术领域，尤其涉及一种晶圆载片盘的固定装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。
3.现有的晶圆载片盘的固定装置在对晶圆载片盘固定时不够好，使得晶圆载片盘容易松动，且现有的晶圆载片盘的固定装置一般适用性不够好，一个固定装置只能适用于一个尺寸的晶圆载片盘，不够方便。


技术实现要素：

4.本实用新型提出的一种晶圆载片盘的固定装置，解决了现有的晶圆载片盘的固定装置固定效果不好以及适用性差的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：包括壳体，所述壳体的外侧壁上贯穿安装有调节机构，所述壳体的上表面开设有十字型的凹槽，所述壳体的上方放置有载片盘，所述调节机构的上方通过螺栓安装有固定板，且固定板位于载片盘的外侧，所述固定板的上方焊接有u型板，所述u型板的内侧壁上固接有活动轴，所述活动轴上贯穿安装有固定机构。
6.优选的，所述固定机构包括活动块，活动块的两侧外壁上焊接有卡块，卡块的上方螺纹安装有转轴a，转轴a的底部固接有抵板，转轴a的顶部固接有转柄。
7.优选的，所述调节机构包括连接座，连接座的一侧贯穿安装有转轴c，连接座的另一侧贯穿安装有转轴b，转轴c外套有滑块b，转轴c的另一侧传动连接有轴承座，转轴b外套有滑块a，转轴b外套有固定座，且固定座位于滑块a的一侧，转轴b的另一侧安装有滑轮。
8.优选的，所述滑轮和固定座位于壳体的外部，滑块a、转轴b、连接座、转轴c、滑块b和轴承座位于壳体的内部。
9.优选的，所述壳体的外侧壁上贯穿安装有两个调节机构，调节机构中的滑块a和滑块b的上方通过螺栓安装有固定板。
10.优选的，所述固定板呈环形固定在载片盘的外侧，固定机构通过卡块与u型板嵌合固定在一起。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型通过转动滑轮，使得滑块a和滑块b在转轴b和转轴c上移动，滑块a和滑块b移动时可带动上方的固定板往内侧移动，使得固定板从外侧固定住载片盘，通过滑块a和滑块b在转轴b和转轴c上移动可固定住不同尺寸大小的载片盘，比起其他固定装置更加实用。
13.2、本实用新型通过转动活动块，使得活动块上的卡块与u型板嵌合固定在一起，然
后转动转柄，使得转轴a在活动块上方的螺纹孔中上下移动，使得转轴a底部的抵板从上方固定住载片盘，搭配着固定板使得该装置能更好的固定住载片盘。
14.3、本实用新型的固定板通过螺栓固定在滑块a和滑块b的上方，这样就非常方便对其进行拆卸组装，拆卸后的装置方便使用者携带。
附图说明
15.图1为本实用新型的正面剖视结构示意图；
16.图2为本实用新型的俯视结构示意图；
17.图3为本实用新型的调节机构结构示意图。
18.图中标号：1、固定机构；101、卡块；102、抵板；103、活动块；104、转轴a；105、转柄；2、调节机构；201、滑轮；202、固定座；203、滑块a；204、转轴b；205、连接座；206、转轴c；207、滑块b；208、轴承座；3、壳体；4、u型板；5、活动轴；6、固定板；7、载片盘；8、凹槽。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.参照图1
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3，一种晶圆载片盘的固定装置，包括壳体3，壳体3的外侧壁上贯穿安装有调节机构2，壳体3的上表面开设有十字型的凹槽8，壳体3的上方放置有载片盘7，调节机构2的上方通过螺栓安装有固定板6，且固定板6位于载片盘7的外侧，固定板6的上方焊接有u型板4，u型板4的内侧壁上固接有活动轴5，活动轴5上贯穿安装有固定机构1。
21.固定机构1包括活动块103，活动块103的两侧外壁上焊接有卡块101，卡块101的上方螺纹安装有转轴a104，转轴a104的底部固接有抵板102，转轴a104的顶部固接有转柄105，活动块103通过活动轴5可在u型板4内活动，活动块103可通过卡块101固定在u型板4上，而活动块103上方贯穿安装的转轴a104通过转动转柄105，可使其在活动块103上的螺纹孔中上下移动，从而让转轴a104底部的抵板102可以固定住载片盘7。
22.调节机构2包括连接座205，连接座205的一侧贯穿安装有转轴c206，连接座205的另一侧贯穿安装有转轴b204，转轴c206外套有滑块b207，转轴c206的另一侧传动连接有轴承座208，转轴b204外套有滑块a203，转轴b204外套有固定座202，且固定座202位于滑块a203的一侧，转轴b204的另一侧安装有滑轮201，滑轮201和固定座202位于壳体3的外部，滑块a203、转轴b204、连接座205、转轴c206、滑块b207和轴承座208位于壳体3的内部，通过转动滑轮201，使得滑块a203和滑块b207在转轴b204和转轴c206上移动，从而让滑块a203和滑块b207上的固定板6移动固定住载片盘7。
23.壳体3的外侧壁上贯穿安装有两个调节机构2，调节机构2中的滑块a203和滑块b207的上方通过螺栓安装有固定板6，固定板6呈环形固定在载片盘7的外侧，固定机构1通过卡块101与u型板4嵌合固定在一起,通过固定机构1和调节机构2使得载片盘7牢牢的固定在壳体3的上方。
24.工作原理：本装置首先将载片盘7放置到壳体3的上方，然后转动滑轮201，使得滑块a203和滑块b207在转轴b204和转轴c206上移动，从而让滑块a203和滑块b207上的固定板
6抵住载片盘7的底部，通过四个固定板6呈环形固定住载片盘7，而固定板6上方的u型板4通过活动轴5安装有活动块103，活动块103通过卡块101固定在u型板4上，然后转动转柄105，使得转轴a104在活动块103上的螺纹孔中上下移动，从而让转轴a104底部的抵板102牢牢的固定住载片盘7，通过固定机构1和调节机构2加强对载片盘7的固定效果。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、
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右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
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顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.此外，术语“第一”、
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第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
27.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。