一种终端结构及功率半导体器件的制作方法

文档序号:23527611发布日期:2021-01-05 17:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种终端结构,其特征在于,包括:

衬底;

配置在所述衬底第一表面的外延层;

设置在所述外延层内的场限环,设置在所述场限环两侧的内部金属层;

配置在所述外延层上的电容复合结构层,配置在所述电容复合结构层两侧的外部金属层,覆盖在所述电容复合结构层上的绝缘层,其中,所述外部金属层与内部金属层电连接,所述电容复合结构层的两端分别与外部金属层电连接。

2.根据权利要求1所述的一种终端结构,其特征在于,还包括:底部金属电极层;

其中,所述底部金属电极层配置在所述衬底的第二表面上。

3.根据权利要求1所述的一种终端结构,其特征在于,所述场限环包括p埋层及p-埋层。

4.根据权利要求1所述的一种终端结构,其特征在于,所述内部金属层包括有源极与漏极。

5.根据权利要求1所述的一种终端结构,其特征在于,所述外部金属层设置有栅极。

6.根据权利要求4所述的一种终端结构,其特征在于,所述电容复合结构层包括多个互不相连的多晶硅构成,在靠近左侧的所述多晶硅与所述源极电气连接,在靠近右侧的所述多晶硅与所述漏极电气连接。

7.根据权利要求6所述的一种终端结构,其特征在于,所述绝缘层为二氧化硅,所述二氧化硅隔断多个所述多晶硅。

8.一种功率半导体器件,其特征在于,包括如权利要求1至7任意一项所述的一种终端结构。


技术总结
本实用新型提供了一种终端结构即及功率半导体器件,包括:衬底;配置在所述衬底第一表面的外延层;设置在所述外延层内的场限环,设置在所述场限环两侧的内部金属层;配置在所述外延层上的电容复合结构层,配置在所述电容复合结构层两侧的外部金属层,覆盖在所述电容复合结构层上的绝缘层,其中,所述外部金属层与内部金属层电连接,所述电容复合结构层的两端分别与外部金属层电连接。解决了在不增加边缘终端区面积的情况下,提高边缘终端区的耐压能力。

技术研发人员:周付康;高凌云;周建蒙;李思泷;李燕;陈译
受保护的技术使用者:厦门理工学院
技术研发日:2020.09.28
技术公布日:2021.01.05
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