一种离子注入机的硅片公转盘的制作方法

本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体而言，涉及一种离子注入机的硅片公转盘。

背景技术：

离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。

利用离子注入机对硅片进行加工时需要用到公转盘，现有的公转盘大多是只有一个且固定安装在离子注入机内，硅片加工完成后需要取出硅片，这是离子注入机停止工作，降低离子注入机的利用效率，而且工作人员需要进入到离子注入机的内部才能够从公转盘上取出硅片，安全性差。

技术实现要素：

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种离子注入机的硅片公转盘，旨在改善现有的公转盘降低离子注入机的利用效率，而且工作人员需要进入到离子注入机的内部才能够从公转盘上取出硅片，安全性差的问题。

本实用新型是这样实现的：本实用新型提供一种离子注入机的硅片公转盘，包括安装组件、移动组件和旋转组件，其中，移动组件实现两个旋转组件的位置更换，旋转组件实现工作台的旋转。

所述安装组件包括固定板和支撑腿，所述支撑腿固定安装于所述固定板的一侧。

所述移动组件包括第一安装板、第一电机、丝杆、第二安装板、传动螺母和移动块，所述第一安装板固定安装于所述固定板的一端端部，所述第一电机固定安装于所述第一安装板，所述丝杆的一端固定安装于所述第一电机的输出轴，所述丝杆的另一端转动安装于所述第二安装板，所述第二安装板固定安装于所述固定板远离所述第一安装板的一端端部，所述传动螺母传动连接于所述丝杆，所述传动螺母与所述移动块固定连接。

所述旋转组件设置有两组，两组所述旋转组件设置在所述丝杆上，所述旋转组件包括第一安装桶、第二电机、第二安装桶和工作台，所述第一安装桶固定安装于所述移动块，所述第二电机固定安装于所述第一安装桶的内部，所述第二安装桶固定安装于所述第二电机的输出轴，所述第二安装桶设置在所述第一安装桶的外侧，所述工作台固定安装于所述第二安装桶远离所述第一安装桶的一侧，所述工作台上开设有凹槽，所述凹槽被构造成容置硅片。

在本实用新型的一种实施例中，还包括顶料组件，所述顶料组件包括驱动件、升降板、连接杆和顶料板，所述驱动件固定安装于所述第二安装桶的内部，所述升降板固定安装于所述驱动件，所述连接杆固定安装于所述升降板远离所述驱动件的一面，所述连接杆插接于所述工作台内，所述顶料板固定安装于所述连接杆远离所述升降板的一端，所述顶料板容置于所述凹槽内。

在本实用新型的一种实施例中，所述顶料板远离所述连接杆的一面固定有橡胶垫，所述橡胶垫能够与硅片抵触。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一安装桶远离所述第二安装桶的一端两侧均固定有滑座，所述滑座滑动连接有导轨，所述导轨固定安装有安装块，所述安装块固定安装于所述固定板。

在本实用新型的一种实施例中，所述固定板远离所述支撑腿的一面两侧均固定有限位块，所述限位块能够与所述移动块抵触，所述移动块在两个所述限位块之间移动。

在本实用新型的一种实施例中，所述支撑腿远离所述固定板的一面固定有底座，所述底座能够与地面抵触。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一安装桶远离所述移动块的一面设置有若干钢珠，所述钢珠能够与所述第二安装桶远离所述工作台的一面抵触。

在本实用新型的一种实施例中，所述凹槽的开口处设置有倒角。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一电机和所述第二电机均为伺服电机。

在本实用新型的一种实施例中，所述驱动件为气缸、液压杆或电动推杆中的任意一种。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种离子注入机的硅片公转盘，使用时，首先把待加工硅片依次放入到工作台上的凹槽内，放完后，第一电机带动丝杆旋转，进而丝杆驱动移动块沿丝杆向前运动，进而移动块带动盛有待加工硅片的工作台移向离子注入机，同时离子注入机内硅片加工完的工作台向外移动离开离子注入机直至移动到预定位置，然后离子注入机对硅片进行加工，工人在外侧取出加工完的硅片，两个工序同时进行，无需停止离子注入机工作，提高离子注入机的利用率，提高工作效率，同时工作在离子注入机的外侧取出硅片，安全性大大提高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施方式提供的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施方式提供的立体结构示意图；

图3为本实用新型实施方式提供的移动组件结构示意图；

图4为本实用新型实施方式提供的旋转组件结构示意图；

图5为本实用新型实施方式提供的第一安装桶内部结构示意图；

图6为本实用新型实施方式提供的顶料组件结构示意图。

图中：100-安装组件；110-固定板；111-导轨；112-安装块；113-限位块；120-支撑腿；121-底座；200-移动组件；210-第一安装板；220-第一电机；230-丝杆；240-第二安装板；250-传动螺母；260-移动块；300-旋转组件；310-第一安装桶；311-滑座；312-钢珠；320-第二电机；330-第二安装桶；340-工作台；341-凹槽；3411-倒角；400-顶料组件；410-驱动件；420-升降板；430-连接杆；440-顶料板；441-橡胶垫。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种离子注入机的硅片公转盘，包括安装组件100、移动组件200和旋转组件300，其中，移动组件200实现两个旋转组件300的位置更换，旋转组件300实现工作台340的旋转。

请参阅图3，安装组件100包括固定板110和支撑腿120，支撑腿120通过焊接固定安装于固定板110的底端四角位置。为了提高整个装置的稳定性和安装的牢固性，在支撑腿120的下端端部通过焊接固定有底座121，底座121能够与地面抵触，增大与地面的接触面积。

请参阅图3和图4，移动组件200包括第一安装板210、第一电机220、丝杆230、第二安装板240、传动螺母250和移动块260，第一安装板210通过螺栓固定安装于固定板110的一端端部，第一电机220通过螺栓固定安装于第一安装板210的中间，第一电机220为伺服电机，丝杆230的一端通过联轴器固定安装于第一电机220的输出轴，丝杆230的另一端通过轴承转动安装于第二安装板240，第二安装板240通过螺栓固定安装于固定板110远离第一安装板210的一端端部，传动螺母250螺纹传动连接于丝杆230，传动螺母250镶嵌在移动块260内。

请参阅图2、图4和图5，旋转组件300设置有两组，两组旋转组件300设置在丝杆230上，旋转组件300包括第一安装桶310、第二电机320、第二安装桶330和工作台340，第一安装桶310通过螺栓固定安装于移动块260的上端，第二电机320通过螺栓固定安装于第一安装桶310的内部中间，第二电机320为伺服电机，第二安装桶330固定安装于第二电机320的输出轴端部，第二安装桶330设置在第一安装桶310的外侧，工作台340通过螺栓固定安装于第二安装桶330远离第一安装桶310的一侧，工作台340上开设有凹槽341，凹槽341的开口处设置有倒角3411，方便硅片的放入，凹槽341被构造成容置硅片，实现工作台340的旋转，进而实现工作台340上凹槽341的位置变换。

请参阅图3和图4，需要说明的是，第一安装桶310远离第二安装桶330的一端两侧均通过螺栓固定有滑座311，滑座311滑动连接有导轨111，导轨111通过螺栓固定安装有安装块112，安装块112通过螺栓固定安装于固定板110，实现对第一安装桶310在固定板110上滑动时的导向和限位。在具体设置时，固定板110远离支撑腿120的一面两侧均通过螺栓固定有限位块113，限位块113能够与移动块260抵触，移动块260在两个限位块113之间移动，实现对移动块260的限位、保护。

请参阅图5，具体地，在本实用新型的一种实施例中，第一安装桶310远离移动块260的一面设置有若干钢珠312，钢珠312能够与第二安装桶330远离工作台340的一面抵触，减少第一安装桶310与第二安装桶330之间的摩擦力。

请参阅图6，另外，在本实用新型的一种实施例中，还包括顶料组件400，顶料组件400包括驱动件410、升降板420、连接杆430和顶料板440，驱动件410通过螺栓固定安装于第二安装桶330的内部中间，驱动件410为气缸、液压杆或电动推杆中的任意一种。升降板420固定安装于驱动件410的活塞杆端部，连接杆430通过焊接固定安装于升降板420的上面，连接杆430插接于工作台340内，顶料板440通过焊接固定安装于连接杆430远离升降板420的一端，顶料板440容置于凹槽341内。在具体设置时，顶料板440远离连接杆430的一面固定有橡胶垫441，橡胶垫441能够与硅片抵触，减少顶料板440对硅片的磨损。

具体的，该离子注入机的硅片公转盘的工作原理：使用时，首先把待加工硅片依次放入到离子注入机外侧工作台340上的凹槽341内，放完后，第一电机220带动丝杆230旋转，进而丝杆230驱动传动螺母250旋转，进而传动螺母250带动移动块260沿丝杆230向前运动，进而移动块260带动第一安装桶310运动，第一安装桶310带动第二安装桶330运动，第二安装桶330带动工作台340运动，直至工作台340运动到离子注入机内部；

同时在丝杆230的驱动下盛有加工完硅片的工作台340从离子注入机内部移向外侧，进而盛有加工完硅片的工作台340离开离子注入机；

然后离子注入机对其内部的工作台340上方硅片加工，加工完一个后第二电机320带动工作台340旋转，进而实现工作台340上凹槽341位置的改变，进而实现工作台340上所有硅片的加工；

同时离子注入机外侧的工作台340下侧的驱动件410的活塞杆向上推动升降板420，进而升降板420带动连接杆430向上运动，进而连接杆430带动顶料板440向下运动，进而顶料板440把凹槽341内的硅片向上顶起，直至硅片离开凹槽341，然后工人取出硅片，然后顶料板440落下回到初始位置，工人把待加工硅片放入到凹槽341内，依此循环工作。

需要说明的是，第一电机220、第二电机320和驱动件410具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。

第一电机220、第二电机320和驱动件410的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。