提高刻蚀均匀性的夹具的制作方法

本实用新型涉及显示屏刻蚀领域，特别是涉及一种提高刻蚀均匀性的夹具。

背景技术：

在显示屏生产过程中，需要对tft显示屏进行刻蚀操作。而在对tftarray段进行段差测试的时候，经常出现刻蚀基板的四个端角区域有段差偏小的现象，而实际上造成该段差偏小的原因是，由于干刻机台上的夹具为十字结构，而四个端角区域的位置离该十字结构上的出气孔位置较远，使得在刻蚀过程中通过夹具排出的刻蚀气体较难到达这四个端角区域上，造成刻蚀后四个端角区域的段差偏小；而如果增加刻蚀时间，则又会使得基板中间位置过度刻蚀，因此，如何保证刻蚀均匀是本领域技术人员需要考虑的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种提高刻蚀均匀性的夹具。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种提高刻蚀均匀性的夹具，包括：基板及夹具本体，所述夹具本体设置于所述基板上，所述夹具本体上开设有多个出气孔，所述出气孔以所述夹具本体的中心呈放射状分布于所述夹具本体上。

在其中一个实施例中，所述夹具本体具有米字型结构。

在其中一个实施例中，所述夹具还包括多个定位板，各所述定位板分别设置于所述米字型结构的所述夹具本体上。

在其中一个实施例中，在每一所述定位板上开设有多个通孔，各所述通孔分别与所述出气孔连通。

在其中一个实施例中，所述定位板上开设有四个通孔，四个所述通孔分别位于所述定位板的四个端角上。

在其中一个实施例中，各所述出气孔由所述米字型结构的中心向每一端角的位置扩散分布。

在其中一个实施例中，所述基板为陶瓷板。

在其中一个实施例中，所述基板上开设有容纳槽，所述夹具本体嵌置于所述容纳槽内。

在其中一个实施例中，所述夹具本体上还开设有气体流道，所述气体流道分别与各所述出气孔连通。

在其中一个实施例中，所述基板用于安装于外部的刻蚀装置上，并且所述刻蚀装置具有刻蚀腔体，所述刻蚀腔体与所述气体流道的入口连通。

本实用新型相比于现有技术的优点及有益效果如下：

本实用新型为一种提高刻蚀均匀性的夹具，通过在夹具本体上设置放射状的出气孔，可以使得在同一平面内同时利用刻蚀气体进行刻蚀操作，进而可以保证刻蚀气体均匀地分布在显示基板上的，使得对显示基板上的刻蚀气体均匀分布，从而使得显示基板上每个位置的刻蚀速率差别不大，达到均匀刻蚀的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型一实施方式的提高刻蚀均匀性的夹具的结构示意图；

图2为图1所示的提高刻蚀均匀性的夹具在a处的放大结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1和图2，一种提高刻蚀均匀性的夹具，包括：基板100及夹具本体200，所述夹具本体200设置于所述基板100上，所述夹具本体200上开设有多个出气孔210，所述出气孔210以所述夹具本体200的中心呈放射状分布于所述夹具本体上。需要说明的是，所述基板用于固定夹具本体，所述夹具本体用于流通刻蚀气体，并且夹具本体上开设有出气孔，各出气孔均匀分布于所述夹具本体上，从而可以使得刻蚀气体在同时排出气体后，气体可以均匀的分布在显示基板上。在本实施例中，所述基板为陶瓷板。

如此，过在夹具本体上设置放射状的出气孔，可以使得在同一平面内同时利用刻蚀气体进行刻蚀操作，进而可以保证刻蚀气体均匀地分布在显示基板上的，使得对显示基板上的刻蚀气体均匀分布，从而使得显示基板上每个位置的刻蚀速率差别不大，达到均匀刻蚀的目的。

需要说明的是，所述夹具本体200具有米字型结构。通过将夹具本体设置为米字型结构，可以最大限度的保证在每个区域都可以排出刻蚀气体，保证刻蚀气体可以均匀地分布在显示基板上。

请参阅图1，所述夹具还包括多个定位板300，各所述定位板300分别设置于所述米字型结构的所述夹具本体200上。需要说明的是，所述定位板用于实现导出刻蚀气体。

请参阅图1，在每一所述定位板300上开设有多个通孔310，各所述通孔分别与所述出气孔连通。如此，通过设置与出气孔连通的通孔，可以方便排出刻蚀气体。在本实施例中，所述定位板上开设有四个通孔，四个所述通孔分别位于所述定位板的四个端角上。如此，通过将通孔设置在四个端角上，可以使得刻蚀气体均匀排出。

在另一实施例中，各所述出气孔由所述米字型结构的中心向每一端角的位置扩散分布。需要说明的是，通过均匀设置出气孔的位置，可以使得刻蚀气体均匀排出，从而使得刻蚀气体均匀分布在显示基板上，从而可以实现均匀的刻蚀。

需要说明的是，所述基板上开设有容纳槽，所述夹具本体嵌置于所述容纳槽内。如此，通过设置容纳槽，可以实现对夹具本体的固定。

需要说明的是，所述夹具本体上还开设有气体流道，所述气体流道分别与各所述出气孔连通。如此，通过设置气体流道，方便实现刻蚀气体的导出。

请参阅图1，所述基板用于安装于外部的刻蚀装置400上，并且所述刻蚀装置具有刻蚀腔体，所述刻蚀腔体与所述气体流道的入口连通。如此，通过设置刻蚀装置，可以固定陶瓷板。

本实用新型相比于现有技术的优点及有益效果如下：

本实用新型为一种提高刻蚀均匀性的夹具，通过在夹具本体上设置放射状的出气孔，可以使得在同一平面内同时利用刻蚀气体进行刻蚀操作，进而可以保证刻蚀气体均匀地分布在显示基板上的，使得对显示基板上的刻蚀气体均匀分布，从而使得显示基板上每个位置的刻蚀速率差别不大，达到均匀刻蚀的目的。

以上所述实施方式仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。