边发射半导体激光器的制作方法

文档序号:25395778发布日期:2021-06-08 20:02阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种边发射半导体激光器,其特征在于,包括:光波导、高阶非球面快轴准直镜和高阶非球面慢轴准直镜;光波导具有n型衬底层,高阶非球面快轴准直镜和高阶非球面慢轴准直镜均形成在n型衬底层上。2.如权利要求1所述的边发射半导体激光器,其特征在于,光波导还具有沿垂直于n型衬底层的z方向依次设置在n型衬底层上的n型包层、n型波导层、有源层、p型波导层、p型包层和p型掺杂盖层。3.如权利要求2所述的边发射半导体激光器,其特征在于,定义n型衬底层所在的平面为x

y面,x方向与y方向垂直;p型掺杂盖层在y方向上的长度小于其他各层,且为沿x方向延伸的条状结构;或者p型掺杂盖层和p型包层的一部分在y方向上的长度小于p型包层的另一部分和其他各层,且为沿x方向延伸的条状结构;或者p型掺杂盖层和p型包层在y方向上的长度小于其他各层,且为沿x方向延伸的条状结构;或者p型掺杂盖层、p型包层和p型波导层的一部分在y方向上的长度小于p型波导层的另一部分和其他各层,且为沿x方向延伸的条状结构。4.如权利要求3所述的边发射半导体激光器,其特征在于,光波导沿x方向具有第一侧面和第二侧面,第一侧面形成有高反膜;第二侧面形成有增透膜,构成光波导的出光面。5.如权利要求4所述的边发射半导体激光器,其特征在于,高阶非球面快轴准直镜在x方向上具有第一侧面和第二侧面,第一侧面为沿y方向延伸的曲面,第二侧面为沿y方向延伸的平面,该曲面与x

z面相交为曲线,与x

y平面相交为直线;在高阶非球面快轴准直镜的第一侧面和第二侧面形成有增透膜。6.如权利要求5所述的边发射半导体激光器,其特征在于,高阶非球面慢轴准直镜在x方向上具有第一侧面和第二侧面,第一侧面靠近高阶非球面快轴准直镜,为沿y方向延伸的平面,第二侧面远离高阶非球面快轴准直镜,为沿z方向延伸的曲面,该曲面与x

y面相交为曲线,与x

z面相交为直线;在高阶非球面慢轴准直镜的第一侧面和第二侧面形成有增透膜。
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