一种用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统的制作方法

文档序号:25979872发布日期:2021-07-23 14:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:包括第一导轨、衬底晶片存放区、机械手臂、旋转器、滴蜡枪、烘焙装置、可翻转机械手臂、粘接平台、冷却装置和第二导轨;所述第一导轨和第二导轨相对设置,衬底晶片存放区、旋转器、烘焙装置和可翻转机械手臂顺次间隔设置在第一导轨一侧,机械手臂设在第一导轨上,机械手臂行程在衬底晶片存放区、旋转器、烘焙装置和可翻转机械手臂之间;滴蜡枪设在旋转器上方;粘接平台和冷却台间隔设置在第二导轨一侧,冷却装置包括活动吸附装置和冷却平台,活动吸附装置与第二导轨连接,行程在粘接平台和冷却平台之间;可翻转吸附平台的翻转行程在机械手臂和粘接平台之间。

2.如权利要求1所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:还包括密封框架和ffu风机过滤机组,ffu风机过滤机组设在密封框架顶部,第一导轨、衬底晶片存放区、机械手臂、旋转器、滴蜡枪、烘焙装置、可翻转机械手臂、粘接平台、冷却装置和第二导轨均设在密封框架内。

3.如权利要求2所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:密封框架四周均设有活动门。

4.如权利要求1-3任意一项所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述机械手臂包括第一升降轴和抓手,第一升降轴一端与第一导轨相接,另一端与抓手相接,抓手上设有真空吸孔。

5.如权利要求1-3任意一项所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述旋转器包括带电机的吸附盘和环形挡板,环形挡板设在带电机的吸附盘外周。

6.如权利要求5所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述滴蜡枪包括滴蜡针、第一气泵和升降平台,第一气泵设在升降平台上方,滴蜡针与第一气泵连接,滴蜡针出蜡口设在带电机的吸附盘正上方。

7.如权利要求1-3任意一项所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述烘焙装置包括真空吸附平台和加热器,加热器设在真空吸附平台正上方。

8.如权利要求1-3任意一项所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述可翻转吸附平台包括顺次相接的第二升降轴、翻转轴和移动杆,移动杆一端端头设有真空吸盘。

9.如权利要求1-3任意一项所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述粘接平台包括可旋转加热平台和热压装置,热压装置设在可旋转加热平台正上方;可旋转加热平台包括可升降旋转轴和热压台,热压台设在可旋转轴顶部;热压装置包括由上至下顺次相接的第三升降轴、第二气泵和硅胶气囊,硅胶气囊位于热压台正上方。

10.如权利要求1-3任意一项所述的用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,其特征在于:所述活动吸附装置包括由上至下顺次相接的导轨接头、第四升降轴和真空吸头,真空吸头位于冷却平台正上方,冷却平台底部设有冷却水管。


技术总结
本实用新型公开一种用于半导体衬底晶片的全自动液体蜡上蜡系统,包括第一导轨、衬底晶片存放区、机械手臂、旋转器、滴蜡枪、烘焙装置、可翻转机械手臂、粘接平台、冷却装置和第二导轨;衬底晶片存放区、旋转器、烘焙装置和可翻转机械手臂顺次间隔设置在第一导轨一侧,机械手臂设在第一导轨上,机械手臂行程在衬底晶片存放区、旋转器、烘焙装置和可翻转机械手臂之间;滴蜡枪设在旋转器上方;粘接平台和冷却台间隔设置在第二导轨一侧,冷却装置包括活动吸附装置和冷却平台,可翻转吸附平台的翻转行程在机械手臂和粘接平台之间;本实用新型使晶片抛光时受力均匀,极大地提升了上蜡效率;节省了液体蜡的用量,符合工业化生产要求。

技术研发人员:刘兴达;柯尊斌;王卿伟
受保护的技术使用者:中锗科技有限公司
技术研发日:2020.12.02
技术公布日:2021.07.23
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