晶圆探针测试台及其升降机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体测试设备领域，尤其涉及一种晶圆探针测试台及其升降机构。


背景技术：

2.晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长，这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸，从而高精度和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。
3.目前现有传统的手动探针测试台，调试效率低、调节功能与精度差，不能满足现需求。


技术实现要素：

4.针对上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种晶圆探针测试台及其升降机构。
5.本实用新型实施例的第一方面提供一种晶圆探针测试台的升降机构，所述升降机构包括：
6.底座；
7.两个立柱，间隔装设在所述底座的顶部；
8.工作面板，置于两个所述立柱的上方；
9.两个传动组件，与两个所述立柱对应，所述传动组件装设在对应的立柱内，并与所述工作面板底部的对应位置相连接；
10.两个同步轮，与两个传动组件对应，且设于对应的传动组件的下方，所述同步轮与对应的传动组件远离所述工作面板的一端连接；
11.动力轮，设于所述底座的底部，所述动力轮与所述同步轮间隔设置；
12.同步带，套设于所述动力轮和所述同步轮；及
13.驱动组件，固定在所述底座的顶部，所述驱动组件包括转动轴、手柄和摇杆，所述转动轴的一端穿过所述底座插接在所述动力轮的内圈中，另一端与所述手柄固定连接，所述摇杆固定连接在所述转动轴的中部；
14.其中，所述手柄被转动，带动所述转动轴转动，以带动所述动力轮和所述同步轮转动，所述同步轮通过所述传动组件驱动所述工作面板以第一速度升降；
15.所述摇杆被转动，带动所述转动轴转动，以带动所述动力轮和所述同步轮转动，所述同步轮通过所述传动组件驱动所述工作面板以第二速度升降；
16.所述第一速度小于所述第二速度。
17.可选地，所述驱动部件还包括固定件、上轴承、下轴承和轴承套；
18.其中，所述固定件位于所述手柄和所述底座之间，并固定在所述底座上，所述固定
件包括第一通孔和与所述第一通孔对准的第二通孔，所述第一通孔设于所述第二通孔的下方，所述转动轴插接在所述第一通孔和所述第二通孔中，并通过所述下轴承与所述第一通孔的侧壁连接；
19.所述轴承套位于所述手柄的下方，并套设于所述转动轴，并至少部分收容在所述第二通孔内，所述轴承套通过所述上轴承与所述第二通孔的内侧壁连接，所述摇杆固定在所述轴承套上。
20.可选地，所述驱动组件设于其中一个立柱的一侧，所述动力轮与所述驱动组件同轴设置。
21.可选地，还包括：
22.张紧轮，固定在所述底座的底部，所述张紧轮的外圈抵接在所述同步带上位于所述动力轮和同侧同步轮之间的部分的外侧；和
23.两个惰轮，固定在所述底座的底部，其中一个惰轮的外圈抵接在所述同步带上位于所述动力轮和对侧同步轮之间的部分的外侧，另一个惰轮的外圈抵接在所述同步带上位于两个同步轮之间的部分的外侧。
24.可选地，还包括：
25.两个从动立板，与两个所述立柱对应，并设于对应立柱的内侧，所述传动组件设于对应侧的立柱和从动立板之间，所述从动立板的一端与所述工作面板的对应位置连接，另一端与所述传动组件连接；
26.所述同步轮转动，通过所述传动组件带动所述从动立板上下移动，以带动所述工作面板升降。
27.可选地，所述传动组件包括丝杆、螺母、导轨组件和滑轨组件；
28.所述丝杆固定连接在所述底座的对应位置，且所述丝杆的底端穿设所述底座插接在所述动力轮的内圈中，所述螺母套设在所述丝杆的中部；
29.所述滑轨连接件固定在所述从动立板朝向对应侧的立柱的一侧，并与所述螺母的外侧壁固定连接，且所述滑轨连接件滑动连接在所述导轨组件上；
30.所述同步轮转动，带动所述丝杆转动，从而带动所述螺母在所述丝杆上下移动，所述导轨组件跟随所述螺母沿着所述导轨组件同步上下移动，从而带动所述工作面板上下移动。
31.可选地，所述传动组件还包括气缸和软连接件，其中，所述气缸包括缸筒和活塞杆，所述滑动组件的一端与所述缸筒固定连接，所述缸筒包括腔体，所述活塞杆活动连接在所述腔体内，并且所述活塞杆露出所述腔体的一端与所述软连接件的一端连接，所述软连接件的另一端与所述工作面板的对应位置连接；
32.所述工作面板上下移动，带动所述活塞在所述腔体内上下移动。
33.可选地，所述传动组件还包括固定结构和支持结构，所述固定结构固定在所述固定座上，所述丝杆转动插接在所述固定结构中，所述支持结构固定在对应侧的立柱上，所述丝杆远离所述动力轮的一端转动插接在所述支持结构上。
34.可选地，所述传动组件还包括螺母连接块和滑轨连接件，所述螺母连接块与所述螺母的外侧壁固定连接，所述滑轨连接件的底部与所述螺母连接块远离所述螺母的一侧固定连接，所述滑轨连接件的顶部与所述缸筒底部的外侧壁固定连接，所述滑轨连接件的侧
壁与所述滑轨组件远离所述导轨组件的一侧固定连接。
35.本实用新型实施例的第二方面提供一种晶圆探针测试台，所述晶圆探针测试台包括：
36.第一方面任一项所述的晶圆探针测试台的升降机构；以及
37.探针测试组件，安装在所述升降机构的工作面板的上方。
38.本实用新型实施例提供的技术方案中，驱动组件包括手柄和摇杆，从而可以通过分别操作手柄和摇杆，实现不同速度的升降，实现双速行程的功能，精度高，解决了目前传统探针测试台调试效率低、调节功能与精度差问题，满足使用要求。
附图说明
39.图1为本实用新型一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构的立体图；
40.图2为本实用新型一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构的结构示意图；
41.图3为本实用新型一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构在另一方向上的结构示意图；
42.图4为本实用新型一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构在另一方向上的结构示意图；
43.图5为图4所示的晶圆探针测试台的升降机构在a
‑
a轴线上的剖面示意图；
44.图6为图5所示的晶圆探针测试台的升降机构的局部放大示意图；
45.图7为图4所示的晶圆探针测试台的升降机构在b
‑
b轴线上的剖面示意图。
46.附图标记：
47.1、底座；2、立柱；3、工作面板；4、传动组件；41、丝杆；42、螺母；43、导轨组件；44、滑轨组件；45、气缸；46、软连接件；47、固定结构；48、支持结构；49、螺母连接块；410、滑轨连接件；5、同步轮；6、动力轮；7、同步带；8、驱动组件；81、转动轴；82、手柄；83、摇杆；84、固定件；85、上轴承；86、下轴承；87、轴承套；9、张紧轮；10、惰轮；20、从动立板。
具体实施方式
48.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
49.需要说明的是，在不冲突的情况下，下述实施例可以进行组合。
50.本实用新型实施例提供一种晶圆探针测试台的升降机构，请参见图1至图7，该升降机构可以包括底座1、两个立柱2、工作面板3、两个传动组件4、两个同步轮5、动力轮6、同步带7和驱动组件8，其中，两个立柱2间隔装设在底座1的顶部，工作面板3置于两个立柱2的上方。两个传动组件4与两个立柱2对应，传动组件4装设在对应的立柱2内，并且传动组件4与工作面板3底部的对应位置相连接。两个同步轮5与两个传动组件4对应，且同步轮5设于对应的传动组件4的下方，同步轮5与对应的传动组件4远离工作面板3的一端连接。动力轮6设于底座1的底部，且动力轮6与同步轮5间隔设置，同步带7套设于动力轮6和同步轮5。驱动组件8固定在底座1的顶部，本实施例的驱动组件8包括转动轴81、手柄82和摇杆83，转动轴
81的一端穿过底座1插接在动力轮6的内圈中，另一端与手柄82固定连接，摇杆83固定连接在转动轴81的中部。
51.其中，手柄82被转动，带动转动轴81转动，以带动动力轮6和同步轮5转动，同步轮5通过传动组件4驱动工作面板3以第一速度升降；摇杆83被转动，带动转动轴81转动，以带动动力轮6和同步轮5转动，同步轮5通过传动组件4驱动工作面板3以第二速度升降；第一速度小于第二速度。
52.需要说明的是，本实用新型实施例中，同一时刻，用户可转动手柄82和摇杆83中的一个。相同的转动力下，转动摇杆83能够使得工作面板3升降的速度(即第二速度)大于转动手柄82能够使得工作面板3升降的速度(即第一速度)。
53.本实用新型实施例的驱动组件8包括手柄82和摇杆83，从而可以通过分别操作手柄82和摇杆83，实现不同速度的升降，实现双速行程(快速升降与慢速升降)的功能，精度高，解决了目前传统探针测试台调试效率低、调节功能与精度差问题，满足使用要求。
54.快速升降是通过转动摇杆83实现，慢速升降是通过转动手柄82实现。
55.请参见图7，驱动部件还包括固定件84、上轴承85、下轴承86和轴承套87。其中，固定件84位于手柄82和底座1之间，并固定在底座1上，固定件84包括第一通孔和与第一通孔对准的第二通孔，第一通孔设于第二通孔的下方，转动轴插接在第一通孔和第二通孔中，并通过下轴承86与第一通孔的侧壁连接。轴承套87位于手柄82的下方，并套设于转动轴81，并至少部分收容在第二通孔内，轴承套87通过上轴承85与第二通孔的内侧壁连接，摇杆83固定在轴承套87上。当然，驱动部件的结构不限于此。
56.本实施例中，第一通孔和第二通孔正对，即第一通孔和第二通孔共轴，第二通孔的孔径大于第一通孔的孔径。
57.请参见图1，驱动组件8设于其中一个立柱2的一侧，动力轮6与驱动组件8同轴设置。将驱动组件8放置于底座1的一侧，方便用户操作。
58.请参见图3，本实施例的晶圆探针测试台的升降机构还可以包括张紧轮9和两个惰轮10，其中，张紧轮9及两个惰轮10均固定在底座1的底部，张紧轮9的外圈抵接在同步带7上位于动力轮6和同侧同步轮5之间的部分的外侧，其中一个惰轮10的外圈抵接在同步带7上位于动力轮6和对侧同步轮5之间的部分的外侧，另一个惰轮10的外圈抵接在同步带7上位于两个同步轮5之间的部分的外侧，通过设置张紧轮9和惰轮10，从而将动力轮6的转动力更好地传递给同步轮5。
59.请参见图2、图5和图6，本实施例的晶圆探针测试台的升降机构还可以包括两个从动立板20，两个从动立板20与两个立柱2对应，并且从动立板20设于对应立柱2的内侧，传动组件4设于对应侧的立柱2和从动立板20之间，从动立板20的一端与工作面板3的对应位置连接，另一端与传动组件4连接。在本实施例中，同步轮5转动，通过传动组件4带动从动立板20上下移动，以带动工作面板3升降。
60.进一步的，请参见图6，传动组件4可以包括丝杆41、螺母42、导轨组件43和滑轨组件44，其中，丝杆41固定连接在底座1的对应位置，且丝杆41的底端穿设底座1插接在动力轮6的内圈中，螺母42套设在丝杆41的中部。滑轨连接件410固定在从动立板20朝向对应侧的立柱2的一侧，并与螺母42的外侧壁固定连接，且滑轨连接件410滑动连接在导轨组件43上。在本实施例中，同步轮5转动，带动丝杆41转动，从而带动螺母42在丝杆41上下移动，导轨组
件43跟随螺母42沿着导轨组件43同步上下移动，从而带动工作面板3上下移动。
61.请再次参见图6，传动组件4还可以包括气缸45和软连接件46，其中，气缸45包括缸筒和活塞杆，滑动组件的一端与缸筒固定连接，缸筒包括腔体，活塞杆活动连接在腔体内，并且活塞杆露出腔体的一端与软连接件46的一端连接，软连接件46的另一端与工作面板3的对应位置连接。工作面板3上下移动，带动活塞在腔体内上下移动。
62.软连接件46的材质可以根据需要选择。
63.进一步的，请再次参见图6，传动组件4还包括固定结构47和支持结构48，固定结构47固定在固定座上，丝杆41转动插接在固定结构47中，支持结构48固定在对应侧的立柱2上，丝杆41远离动力轮的一端转动插接在支持结构48上。
64.进一步的，请再次参见图6，所述传动组件4还包括螺母连接块49和滑轨连接件410，螺母连接块49与螺母42的外侧壁固定连接，滑轨连接件410的底部与螺母连接块49远离螺母42的一侧固定连接，滑轨连接件410的顶部与缸筒底部的外侧壁固定连接，滑轨连接件410的侧壁与滑轨组件44远离导轨组件43的一侧固定连接。
65.本实用新型实施例还提供一种晶圆探针测试台，该晶圆探针测试台可以包括上述实施例的升降机构以及探针测试组件，其中，探针测试组件安装在升降机构的工作面板3的上方。
66.其中，探针测试组件可以采用现有的探针测试组件，本实用新型对此不做具体说明。
67.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。