包括容易拆装的防水模块的离子发生器的制作方法

1.本发明涉及包括容易拆装的防水模块的离子发生器。


背景技术：

2.在半导体芯片封装件的制造工序中，将用于把完成电气特性检查(eds：electrical die sorting)的晶片分离为各个个别半导体芯片的工序称为晶片切割工序，这种晶片切割工序一般是与将各个半导体芯片直接附着于引线框上的工序，即芯片焊接工序相连接。
3.更详细而言，晶片切割工序包括：将紫外线膜(uv tape)粘贴于晶片表面的第一步骤；借助于刀片旋转而将晶片切割成各个半导体芯片的第二步骤；去除粘贴于晶片的紫外线膜的第三步骤；在第二步骤中，为了刀片的冷却而向刀片供应冷却液。
4.此时，在第二步骤中，在利用刀片切割晶片的过程中，由于刀片与紫外线膜的摩擦而发生静电，存在因晶片切割而发生的残渣和杂质附着于半导体芯片的问题。
5.在残渣和杂质如此附着于半导体芯片的状态下组装成半导体芯片封装件时，破坏半导体芯片封装件表面的保护层(passivation layer)，导致可靠性不良，连接或切断半导体芯片封装件表面的金属配线，导致电气特性不良，进而造成组装不良及特性不良，不仅工序收率低下，而且对提高生产率造成巨大阻碍，因此，有必要必须去除在将晶片切割成各个半导体芯片时发生的静电。
6.在用于去除将晶片切割成各个半导体芯片时所发生静电的方法中，有进行接地的方法、基于加湿的方法、使用防带电剂或带电用品的方法或者使用离子发生器的方法等。上述方法中，离子发生器是将释放高电压而获得的阳离子和阴离子送到材料，成为中和为与所带静电相反极性而消灭的装置，作为半导体芯片静电去除用，可以使用软x射线除电装置。
7.软x射线除电装置的正极透过型x射线管在薄铍板上涂覆诸如钨(w)的金属物质使用。作为与这种软x射线除电装置相关的技术，韩国授权专利第1656781号公开了一种容易更换软x射线管的x射线离子发生器，包括：多个x射线管模块，所述多个x射线管模块包括x射线管、与所述x射线管连接的第一连接器及连结螺栓，所述连结螺栓以中央为基准，在与所述第一连接器相向的部位形成，选择性地与主体的母螺丝孔结合，在头外周形成凹凸部，由操作者通过动手操作进行转动；多个电压发生组件，所述多个电压发生组件具备电压发生部、模具及第二连接器，所述电压发生部接受供应外部电压而产生高电压，所述模具形成得在内部容纳所述电压发生部，且在一侧具备供所述x射线管模块插入的模块插入槽，所述第二连接器露出于所述模块插入槽内部，通过与所述第一连接器的物理拆装而传递所述高电压，提供物理结合力；及主体，所述主体作为在内部彼此隔开地容纳所述电压发生组件的条状外壳，形成多个由与所述模块插入槽对应的部位贯通的模块贯通孔。上述以往技术安装有将x射线管产生的软x射线释放到外部的铍板，这种铍板存在的问题是被在晶片的切割过程中供应给刀片的冷却液所腐蚀及氧化而发生泄漏。


技术实现要素：

8.本发明正是为了解决如上所述问题而研发的，本发明的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的目的在于，提供一种能够从根本上杜绝因腐蚀及氧化而发生泄漏的包括容易拆装的防水模块的离子发生器。
9.另外，本发明另一目的在于，针对在相对狭小空间安装使用的离子发生器，提供一种无需另外的拧紧螺栓过程便可以容易地拆装防水模块的离子发生器。
10.旨在解决如上所述问题的本发明的包括容易拆装的防水模块的离子发生器特征在于，包括：外壳；软x射线管，所述软x射线管结合于所述外壳，包括凸出到所述外壳外部的头；防水模块，所述防水模块包括主体部及防水型阻断膜，所述主体部能拆卸地结合于所述软x射线管的周边，且贯通形成有窗口，所述防水型阻断膜在所述主体部的外侧覆盖所述窗口地配置，将所述头产生的x射线释放到外部，防止水分从外部流入所述头；及硅胶垫，所述硅胶垫能拆卸地结合于所述外壳的侧面，使所述外壳绝缘。
11.另外，其特征在于，所述防水型阻断膜为云母板。
12.另外，其特征在于，所述防水型阻断膜以0.020mm至0.025mm厚度形成。
13.另外，其特征在于，还包括：侧盖，所述侧盖将所述硅胶垫置于之间，结合于所述外壳的侧面，使所述硅胶垫固定。
14.另外，其特征在于，所述防水模块还包括第一o型环，所述第一o型环在所述外壳的表面环绕所述软x射线管地配置，且配置于所述主体部与所述外壳之间。
15.另外，其特征在于，所述防水模块还包括安装于所述窗口的第二o型环。
16.另外，其特征在于，所述防水模块还包括罩，所述罩以覆盖所述防水型阻断膜的方式结合于所述主体部的前方。
17.另外，其特征在于，所述防水模块与所述外壳通过拧紧螺栓而彼此结合。
18.另外，其特征在于，还包括：轨道，所述轨道在所述外壳的上侧形成；滑动部，所述滑动部沿着所述轨道向所述外壳的前方或后方移动；及第一延长构件，所述第一延长构件向所述滑动部的前方延长形成；所述防水模块还包括第二延长构件，所述第二延长构件从所述主体部的上端向上侧延长形成，以铰链方式与所述第一延长构件的前方末端结合。
19.另外，其特征在于，所述防水模块从所述外壳的前方摘除，以所述第一延长构件与所述第二延长构件彼此以铰链方式结合的部分为轴旋转后，沿着所述轨道向所述外壳的后方移动，能够收纳于所述轨道。
20.另外，其特征在于，所述防水模块还包括在侧面形成并插入于所述轨道的滑动辅助构件。
21.另外，其特征在于，所述外壳包括在所述软x射线管的周边形成并与所述防水模块结合的第一结合辅助部。
22.另外，其特征在于，所述第一结合辅助部从所述外壳的前面向前方凸出，在内周面形成有螺纹，所述主体部在外周面形成有螺纹，与所述第一结合辅助部螺合。
23.根据如上所述的本发明的包括容易拆装的防水模块的离子发生器，软x射线管被防水型阻断膜所密闭，从而软x射线管的气密性与防水性实现最大化，可以从根本上阻断因腐蚀及氧化而发生泄漏。
24.另外，根据本发明，使软x射线管防水的防水模块容易拆装，在需要防水的工序中
安装防水模块、在不需要防水的工序中摘除防水模块的过程容易，可以使需要在相对狭小空间拆装防水模块的操作者的便利性最大化。
25.另外，根据本发明，在不需要防水的非防水工序中，可以将防水模块收纳于在外壳上部安装的轨道，可以进一步使操作者的便利性最大化。
附图说明
26.图1是本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的部分分解立体图。
27.图2是图1的部分放大图。
28.图3是本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的结合立体图。
29.图4是本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的结合立体图。
30.图5至图7是本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器收纳防水模块的过程的立体图。
31.图8是本发明第三实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的分解立体图。
32.图9是本发明第三实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的结合立体图。
33.附图标记
34.11、12：螺纹
35.100：外壳
36.200：软x射线管
37.210：头
38.300：防水模块
39.310：主体部
40.311：窗口
41.312：滑动辅助构件
42.320：防水型阻断膜
43.321：第一o型环
44.322：第二o型环
45.330：罩
46.340：第二延长构件
47.400：硅胶垫
48.500：侧盖
49.610：轨道
50.620：滑动部
51.630：第一延长构件
52.b1：模块螺栓
53.b2：罩用螺栓
具体实施方式
54.下面参考附图，就本发明的包括容易拆装的防水模块的离子发生器优选实施例进行详细说明。
55.[第一实施例]
[0056]
图1图示了本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的构成分解的状态。
[0057]
如图1所示，本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器可以包括外壳100、软x射线管200、防水模块300、硅胶垫400及侧盖500。
[0058]
外壳100是与本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器的基本主体相应的部分，可以固定于周边结构物(例如，建筑物的内壁)。外壳100固定方法可以有诸如粘合剂或螺栓的多种方法。以图1为基准时，外壳100除前面(安装有软x射线管200的面)之外的其他面与周边结构物相互结合，因而外壳100可以固定。
[0059]
虽然图1中未示出，但在外壳100的前面可以形成有多个引导槽，在各个引导槽中可以安装有后述软x射线管200。因此，引导槽的形状可以为与软x射线管200的后方对应的形状。
[0060]
在外壳100的内部，可以收纳有电压发生模块。电压发生模块是产生高电压的一种电气装置，在外壳100内部，除电压发生模块外，还可以安装有将控制电压发生模块产生的电压的控制pcb(图上未示出)与电压发生模块彼此电气连接的功率pcb(图上未示出)。
[0061]
正如前面所作的说明，图1所示的软x射线管200可以安装于在外壳100的前面形成的引导槽(图上未示出)。
[0062]
图2放大图示了图1的软x射线管200。
[0063]
如图2所示，软x射线管200包括露出于外部并产生x射线的头210，头借助于电压发生模块传递的高电压来产生x射线。头210产生的x射线可以为软x射线(soft x
‑
ray)。软x射线管200可以用螺栓结合于外壳100的前面。
[0064]
防水模块300为了防止水分或异物质流入软x射线管200，更详细而言，流入头210，如图2所示，以覆盖软x射线管200的形态安装。防水模块300可以包括彼此结合的主体部310、防水型阻断膜320、罩330、第一o型环321及第二o型环322。
[0065]
主体部310是构成防水模块300的大部分的一种结构物，以覆盖软x射线管200的一部分的形态结合于外壳100的前面。即使主体部310以覆盖软x射线管200一部分的形态结合于外壳100的前面，软x射线管200的头210产生的x射线也需释放到外部，因此，在主体部310的中央部分形成窗口311，以便上述头210可以露出。如图2所示，主体部310与外壳100可以利用模块螺栓b1彼此结合，但本发明不将主体部310与外壳100的结合方式限定于利用模块螺栓b1的结合方式，主体部310与外壳100可以通过多样方式而彼此结合。主体部310可以以绝缘、防水、容易制作、具有既定程度以上强度的材质形成。作为形成主体部310的代表性材质，可以有诸如塑料的合成树脂。
[0066]
如图2所示，在主体部310与外壳100的前面之间，可以配置有第一o型环321。第一o型环321以诸如橡胶或硅酮那样具有弹性并能用作防水用途的材质形成，可以以环绕软x射
线管200周边的方式配置于外壳100的前面。如上所述，主体部310利用模块螺栓b1结合于外壳100的前面，在此过程中，第一o型环321在主体部310与外壳100之间被压缩，从而构成水密结构，因而可以防止水分流入头210的内部或外壳100内部。
[0067]
在图2中，第一o型环321配置于外壳100的平坦的前面，但本发明不将第一o型环321的配置的部分限定于平面，也可以有其他实施例，如在外壳100的前面形成与第一o型环321形状对应的安放槽，或在主体部310的后面形成有与第一o型环321形状对应的安放槽，第一o型环321配置于安放槽。在外壳100的前面形成或在主体部310的后面形成的安放槽的深度(只在外壳及主体部中某一侧形成有安放槽时)可以形成得小于第一o型环321剖面的直径，当各个安放槽在外壳100前面和主体部310后面两侧形成时，安放槽的深度之和可以形成得小于第一o型环321的剖面直径。
[0068]
如图2所示，在主体部310的前面可以配置有防水型阻断膜320。更详细而言，防水型阻断膜320可以以阻断窗口311的方式配置于主体部310的前面。防水型阻断膜320顾名思义，发挥防止水分通过在主体部310形成的窗口311流入头210的内部或外壳100的内部的作用，可以由云母板(mica sheet)构成。防水型阻断膜320可以以0.020mm至0.025mm的厚度形成。
[0069]
如图2所示，在防水型阻断膜320的前面，罩330可以将防水型阻断膜320置于之间而与主体部310结合。罩330利用罩用螺栓b2而与主体部310结合。不过，本发明不将罩330与主体部310的结合方式限定于利用罩用螺栓b2的方式，罩330和主体部310可以利用多样方式结合。如图2所示，在主体部310形成的窗口311，第二o型环322可以配置于窗口311的内周面。这是为了进一步提高防水模块300的气密性与防水性。
[0070]
防水模块300具有如上所述的构成，并以覆盖软x射线管200的方式结合于外壳100的前面，可以使气密性与防水性最大化，防止软x射线管200运转不正常。
[0071]
如图1所示，硅胶垫400可以结合于外壳100的侧面，提高外壳100的绝缘性、气密性及防水性。硅胶垫400可以借助于侧盖500而结合于外壳100的两侧面，外壳100、硅胶垫400及侧盖500可以拧紧螺栓而彼此结合。
[0072]
图3图示了图1及图2中彼此分解的外壳100、软x射线管200、防水模块300、硅胶垫400及侧盖500相互结合的状态。
[0073]
如图3所示，软x射线管200借助于防水模块300而不露出于外部，可以提高气密性和防水性。
[0074]
图1至图3所示的本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器在进行防水用作业时，防水模块300结合于外壳100的前面，在不进行防水用作业，即进行非防水用作业时，使防水模块300从外壳100摘除，可以解除当安装了防水模块300时软x射线管200产生的x射线的强度变弱等问题。
[0075]
[第二实施例]
[0076]
下面参考附图，就本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器进行详细说明。
[0077]
在前面说明的本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器中，防水模块300在外壳100的前面拆装，因而操作者需在非防水工序中，将防水模块300保管于另外的场所。由于静电去除工序特性上的原因，有多个软x射线管200安装于外壳100的前面，
因而防水模块300也需要多个，因此，存在需要相当大体积的防水模块保管空间的问题。另外，根据安装于外壳100前方的软x射线管200的种类，会有使用互不相同防水模块300的情形，因而存在操作者需随时寻找与软x射线管200一致的防水模块300的问题。本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器是为了解决如上所述的问题，为了将防水模块300收纳于外壳100的特定部分而研发的。
[0078]
图4图示了在本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器中，防水模块300结合于外壳100前面的状态。
[0079]
如图4所示，本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器，在前面说明的本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器中增加了追加构成。因此，只对增加的构成和与之相关的构成进行说明，此外的构成视为第一实施例与第二实施例彼此相同。
[0080]
本发明第二实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器可以还包括轨道610、滑动部620及第一延长构件630，防水模块300可以还包括第二延长构件340。
[0081]
如图4所示，轨道610可以在外壳100的上侧形成。更详细而言，轨道610可以在外壳100上侧彼此隔开既定间隔配置两个，滑动部620两端分别插入于一对轨道610，可以向外壳100的前方或后方移动。第一延长构件630从滑动部620的中央部分向外壳100的前方延长形成，沿着滑动部620一同移动。
[0082]
如图4所示，第二延长构件340从主体部310的上端向上侧延长形成。第二延长构件340的上端与上述第一延长构件630的前方末端以铰链方式结合。即，防水模块300在从外壳100前方摘除后，可以以第一延长构件630与第二延长构件340彼此以铰链方式结合的部分为轴旋转。
[0083]
如图4所示，在主体部310的侧面可以形成有滑动辅助构件312，滑动辅助构件312在收纳防水模块300时，插入于上述轨道610，可以使得主体部310更容易地滑动。
[0084]
图5至图7图示了图4所示的防水模块300从外壳100前面摘除后，收纳于在外壳100上部安装的轨道610的过程。
[0085]
首先，如图5所示，解除曾结合于主体部310的模块螺栓b1，使防水模块300向前方移动。在此过程中，连接于防水模块300的滑动部620和第一延长构件630也一同向前方移动。然后如图6所示，以第一延长构件630与第二延长构件340彼此以铰链方式结合的部分为轴，使防水模块300旋转90度。然后如图7所示，使防水模块300和滑动部620一同向外壳100后方移动。在此过程中，在主体部310的侧面形成的滑动辅助构件312可以插入于轨道610，使得主体部310沿着轨道610更容易地移动，通过上述过程，防水模块300可以收纳于在外壳100上侧形成的轨道610。
[0086]
上述图5至图7所示的过程是为了将本申请发明用于非防水工序而摘除防水模块300后收纳的过程，在操作者为了用于防水工序而将防水模块300加装于外壳100前面时，按相反顺序进行上述过程。
[0087]
[第三实施例]
[0088]
下面参考附图，就本发明第三实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器进行详细说明。
[0089]
图8图示了本发明第三实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器。
[0090]
图8所示的本发明第三实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器与本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器，除了外壳100与防水模块300彼此结合的部分和软x射线管200形状有部分变更之外彼此相同，因而对于下面未说明的构成，视为本发明的第一实施例与第三实施例彼此相同。
[0091]
如图8所示，在外壳100的前面，向防水模块300方向，即向防水模块300方向，凸出形成有第一结合辅助部220。第一结合辅助部220用于容易地与防水模块300结合，剖面为环形，可以在内周面形成有螺纹11。
[0092]
如图8所示，防水模块300的主体部310不同于前面说明的本发明第一实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器中的主体部310，剖面形状可以为圆形，可以在外周面形成有螺纹12，此外，防水型阻断膜320和罩330可以与前面说明的第一实施例相同地结合于主体部310的前方。操作者在需要结合防水模块300时，可以将主体部310、防水型阻断膜320和罩330彼此结合状态的防水模块300与第一结合辅助部220螺合，从而无需另外的工具便可以将防水模块300结合于外壳100的前面。
[0093]
图9图示了本实施例中的防水模块300与外壳100彼此结合的状态。
[0094]
如图9所示，防水模块300的前方长度可以形成得长于第一结合辅助部220的深度。这是因为，当防水模块300的前方长度与第一结合辅助部220的深度彼此相同时，防水模块300可以完全插入于第一结合辅助部220而无法拔出。而且，虽然图中未示出，本实施例为了更容易通过防水模块300与第一结合辅助部220的螺合而摘除/结合，向防水模块300的前方凸出形成有辅助构件，使得使用者可以更容易地结合或摘除防水模块300。此外，还可以有一种实施例，主体部310向后方延长形成有第二结合辅助部，在第二结合辅助部的外周面形成有螺纹，第二结合辅助部插入于第一结合辅助部220而相互螺合。当是在主体部310形成有第二结合辅助部的实施例时，使用者只抓住主体部310而非第二结合辅助部进行旋转即可，因而可以更容易地使防水模块300从外壳100摘除/结合。
[0095]
在本实施例中，第一结合辅助部220从外壳100的前面凸出形成，但本发明不限定于此，也可以有一种实施例，第一结合辅助部在外壳100凹陷形成，在凹陷的内周面形成有螺纹，主体部的第二结合辅助部插入于第一结合辅助部并螺合。
[0096]
在上述本发明的实施例中，通过螺合而使防水模块结合于外壳的前面。但是，本发明不限于此，操作者可以通过既定的其他装置，更容易地使防水模块结合于外壳，作为其一些示例，可以使用磁铁，使防水模块300附着于外壳100的前方或拆卸，可以利用槽
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钩结构使防水模块300附着于外壳100的前方或拆卸。当为槽
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钩结构时，在图8所示的本发明第三实施例的包括容易拆装的防水模块的离子发生器中，可以在主体部310的外周面和第一结合辅助部220的内周面不形成螺纹，在主体部310的外周面形成有向外侧凸出形成的凸起，在第一结合辅助部220的内周面形成有槽，以便所述凸起能够插入。槽可以共分成三个区间，槽的第一区间沿第一结合辅助部220的旋转轴方向形成，第二区间与第一区间相连，且可以是在沿第一结合辅助部220圆周方向旋转的同时向旋转轴方向移动的一种倾斜区间，第三区间与第二区间的末端部分相连，且可以沿圆周方向形成。即，主体部310在凸起插入到槽的第一区间后，在沿第二区间旋转移动的同时，向外壳100方向移动，同时压附第一o型环并安放于第三区间，从而无需另外的螺合或另外的工具便可以使防水模块300结合于外壳100。
[0097]
本发明不限于上述实施例，应用范围多样，在不超出权利要求书中请求的本发明要旨的情况下，可以多样变形实施。