电源模块以及质量分析装置的制作方法

文档序号:30236278发布日期:2022-06-01 19:24阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种电源模块,其特征在于,具有在俯视下相互重叠的第一基板和第二基板,所述第一基板具有:第一区域,其形成有第一电路;第二区域,其形成有以比所述第一电路高的电压进行动作的直流电路;第三区域,其形成有以比所述第一电路高的电压进行动作的交流电路;第五区域,其包含所述直流电路和所述交流电路;以及位于所述第一区域与所述第五区域之间,且在所述第一基板的表面未安装布线图案的第六区域,所述第二基板具有形成有以比所述直流电路和所述交流电路低的电压进行动作的第二电路的第四区域,在将沿着所述第一基板的表面的方向上的所述第一区域与所述第五区域的最短距离设为l,将在构成所述直流电路的部件与构成所述第二电路的部件之间不产生空间放电的最短距离设为d时,构成所述交流电路的部件与构成所述第二电路的所述部件的最短距离为所述距离d的3倍以上,所述距离l比所述距离d的3倍大。2.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,在所述交流电路中流动的电信号的第一电压的振幅为300v以上,在所述直流电路中流动的电信号的第二电压的振幅小于300v,且所述第二电压的绝对值的最大为300v以上,在所述第一电路中流动的电信号的第三电压的振幅小于300v,且所述第三电压的绝对值的最大小于300v,在所述第二电路中流动的电信号的第四电压的振幅小于300v,且所述第三电压的绝对值的最大小于300v。3.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,安装于所述第一基板的部件与构成所述第二电路的所述部件的最短距离小于所述距离d的3倍。4.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,构成所述交流电路的所述部件与构成所述第二电路的所述部件在俯视下相互分离。5.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,所述电源模块还具有:金属壳体,其电接地,所述第一基板和所述第二基板收容于所述金属壳体的内部,通过绝缘间隔件固定于所述金属壳体。6.根据权利要求5所述的电源模块,其特征在于,在所述金属壳体与所述第一基板或所述第二基板之间、以及所述第一基板与所述第二基板之间均未填充树脂。7.根据权利要求5所述的电源模块,其特征在于,所述金属壳体与构成所述交流电路的所述部件的最短距离为所述距离d的3倍以上。8.根据权利要求5所述的电源模块,其特征在于,
所述电源模块还具有:电缆,其与所述第二电路电连接,被引出到所述金属壳体的外部,所述电缆相对于所述第一基板与所述第二基板之间的第七区域分离。9.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,所述第一电路与第一地线电连接,所述第二电路与第二地线电连接,所述直流电路或所述交流电路与第三地线电连接,第三地线经由噪声降低用部件分别与所述第一地线和所述第二地线电连接。10.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,所述第一基板的安装面与所述第二基板的安装面相互平行。11.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,所述第二基板夹着所述第一基板而形成有多个。12.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,在所述第一区域搭载有保护所述直流电路和所述交流电路的保护电路。13.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,所述电源模块还具有:电缆,其与所述电源模块的外部的电源连接,所述电缆与所述第二电路电连接。14.根据权利要求1所述的电源模块,其特征在于,所述电源模块还具有:金属层,其介于构成所述第二电路的所述部件与构成所述交流电路的所述部件之间,所述金属层电接地。15.一种质量分析装置,其特征在于,具有:使试样离子化的离子源、挑选检测对象离子的过滤器电极、控制离子和电子各自的移动轨道的轨道控制部、检测所述离子并转换为电子的转换倍增极、以及检测所述电子的检测器,所述转换倍增极和所述检测器被配置于轨道控制部,使用权利要求1所述的电源模块作为所述离子源的第一供给电源、所述过滤器电极的第二供给电源、所述转换倍增极的第三供给电源、或所述检测器的第四供给电源。

技术总结
本发明提高电源模块的性能。特别是,在电源模块内,防止放电的产生,且使电源模块小型化。作为其手段,在电源模块内,以在俯视下重叠的方式设置多个基板。此时,在第一基板(2),在相互之间保持用于防止沿面放电的距离(L)而形成低电压电路(3)和高电压电路,在第二基板(4)形成低电压电路(5)。另外,构成形成于高电压电路的高电压交流电路(8)的部件与构成低电压电路(5)的部件之间的距离为在构成形成于高电压电路的高电压直流电路(7)的部件与构成低电压电路(5)的部件之间不产生空间放电的最短距离(D)的3倍以上。(D)的3倍以上。(D)的3倍以上。


技术研发人员:王子豪 西元琢真 古矢勇夫 任田浩
受保护的技术使用者:株式会社日立高新技术
技术研发日:2020.09.04
技术公布日:2022/5/31
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