包含组合存储器的半导体组合件及其制造方法与流程

相关申请的交叉引用

本申请要求2020年1月7日提交的第62/958,159号美国临时申请的权益；所述申请以全文引用的方式并入本文中。

本发明技术涉及封装半导体组合件，例如存储器和处理器，并且数个实施例涉及包含竖直集成电路的半导体组合件。

背景技术：

目前半导体制造业的趋势是制造更小更快的装置，并为计算机、蜂窝电话、寻呼机、个人数字助理和许多其它产品提供更高密度的组件。由于半导体装置/组件通常沿横向平面布置(例如，在电路板上)，因此增加密度对于为相应产品(例如，计算机、蜂窝电话等)提供增加的容量和/或功能变得至关重要。

技术实现要素：

在一方面，本公开提供一种半导体封装，其包括：裸片堆叠，其包含彼此上下竖直堆叠的一组裸片，所述一组裸片包含：配置成在电力可用时存储易失性数据的至少一个易失性存储器裸片、配置成在电力不可用时保持非易失性(nv)数据的至少一个nv存储器裸片；以及直接附接到所述裸片堆叠上的控制器装置，所述控制器装置配置成提供到所述裸片堆叠的接口并控制所述裸片堆叠的操作。

在另一方面，本公开提供一种半导体封装，其包括：封装衬底；附接到所述封装衬底的逻辑装置；以及附接到所述封装衬底上的竖直堆叠式组合(vc)存储器装置，其中所述vc存储器装置是包含以下的裸片堆叠：至少一个动态随机存取存储器(dram)裸片、至少一个非易失性(nv)存储器裸片和电耦合到所述封装衬底、所述至少一个dram裸片和所述至少一个nv存储器裸片的控制器裸片，所述控制器裸片配置成提供所述裸片堆叠的外部接口并控制所述裸片堆叠的操作，其中所述裸片堆叠包含彼此附接且彼此上下竖直堆叠的所述至少一个dram裸片、所述至少一个nv存储器裸片和所述控制器裸片。

在另一方面，本公开提供一种半导体组合件，其包括：电耦合到组合件衬底的竖直堆叠式组合(vc)存储器装置，其中所述vc存储器装置是包含以下的裸片堆叠：至少一个动态随机存取存储器(dram)裸片，至少一个非易失性(nv)存储器裸片和电耦合到所述组合件衬底、所述至少一个dram裸片和所述至少一个nv存储器裸片的控制器裸片，所述控制器裸片配置成提供所述裸片堆叠的外部接口并控制所述裸片堆叠的操作，其中所述裸片堆叠包含彼此附接且彼此上下竖直堆叠的所述至少一个dram裸片、所述至少一个nv存储器裸片和所述控制器裸片。

在另一方面，本公开提供一种制造半导体封装的方法，所述方法包括：提供控制器裸片；将第一存储器裸片附接在所述控制器裸片上方，其中所述第一裸片包含易失性存储器单元或非易失性(nv)存储器单元中的任一者及电耦合到所述控制器裸片且远离所述控制器裸片延伸的硅穿通孔(tsv)；以及将第二存储器裸片附接在所述第一裸片上方并将其电耦合到所述第一裸片的所述tsv，其中所述第二裸片包含所述易失性存储器单元或所述nv存储器单元中的另一者。

附图说明

图1a是根据本发明技术的实施例的半导体装置组合件的俯视图。

图1b是根据本发明技术的实施例的沿图1a的线1b--1b截取的半导体装置组合件的示意性横截面图。

图2是根据本发明技术的实施例的竖直堆叠式组合存储器装置的示意性横截面图。

图3是根据本发明技术的实施例的竖直堆叠式组合存储器装置的示意性横截面图。

图4是根据本发明技术的实施例的竖直堆叠式组合存储器装置的示意性横截面图。

图5是根据本发明技术的实施例的示出制造半导体装置组合件的方法的流程图。

图6是包含根据本发明技术的实施例配置的半导体组合件的系统的示意图。

具体实施方式

在以下描述中，论述了许多具体细节，以便为本发明技术的实施例提供充分且具启发性的描述。但是，相关领域的技术人员将认识到，本公开可以在不具有所述具体细节中的一或多个的情况下实践。在其它实例中，未示出或未详细描述通常与半导体装置相关联的公知结构或操作，以免模糊本发明技术的其它方面。大体来说，应理解，除了本文中所公开的那些具体实施例之外的各种其它装置、系统和方法也可在本发明技术的范围内。

根据本发明技术的半导体装置、封装和/或组合件的数个实施例可包含竖直堆叠式组合存储器装置(“组合存储器装置”)。组合存储器装置包含彼此上下竖直堆叠的至少一个永久性存储器裸片(例如，一或多个nand裸片)和至少一个易失性存储器裸片(例如，一或多个动态随机存取存储器(dram)裸片)。例如，组合存储器装置可包含堆叠于一或多个dram裸片上/上方的一或多个nand裸片。包含nand和dram裸片的裸片堆叠可以附接到控制器(例如，逻辑裸片和/或衬底)上。nand和/或dram裸片可包含和/或可以电耦合到硅穿通孔(tsv)。tsv可用于在裸片之间，例如在控制器、nand裸片和/或dram裸片之间传送信息(例如，命令和/或数据)。因此，tsv可形成在控制器和dram裸片中的一或多个之间、在控制器和nand裸片中的一或多个之间和/或在dram裸片中的一或多个和nand裸片中的一或多个之间延伸的竖直电连接。

在一些实施例中，nand裸片的一或多个尺寸可匹配dram裸片的对应尺寸。例如，包含nand和dram裸片的裸片堆叠可具有直线三维形状。另外，控制器的一或多个尺寸可匹配裸片堆叠的对应尺寸。在其它实施例中，控制器可横向延伸超过nand裸片和/或dram裸片的一或多个周边边缘。在一或多个实施例中，dram裸片可包括高带宽存储器(hbm)装置，此装置包含三维(3d)堆叠式易失性存储器装置(例如，同步drm(sdram)裸片)。

组合存储器装置可用于各种应用。例如，半导体封装/组合件可包含组合装置以及其它逻辑装置(例如，逻辑装置或处理器，如应用处理器)和/或其它存储器装置(例如，hbm)。在一些实施例中，组合装置可以横向邻近地附接到封装衬底上的一或多个其它装置。组合装置的高度可匹配封装衬底上的其它装置的高度。在一些实施例中，对应封装可以连同其它装置或组件一起附接到组合件衬底或系统衬底上。下文描述了关于组合装置及其应用的细节。

图1a是半导体装置组合件100(“组合件100”)的俯视图，图1b是根据本发明技术的实施例的沿图1a的线1b--1b截取的组合件100的示意性横截面图。一起参考图1a和图1b，组合件100可包含在组合件衬底104(例如，印刷电路板(pcb)衬底)上的半导体封装102(“封装102”)。封装102可以经由例如焊料、熔合金属、粘合剂、导线(例如，接合线)等的电气和/或机械连接器附接到组合件衬底104上。电气连接器还可将封装102电耦合到组合件衬底104和/或将其它组件电耦合到组合件衬底104。

封装102可包含一或多个功能装置，例如一或多个逻辑装置122、一或多个存储器装置124和/或竖直堆叠式组合存储器装置130(“vc存储器装置130”)。在一些实施例中，例如，封装102可包含封装衬底112(例如，硅中介层)和应用处理器和/或hbm，以及封装衬底112上的vc存储器装置130。功能装置可以在封装衬底112上紧靠着彼此放置(例如，彼此横向邻近)。功能装置可以使用焊料、导线、熔合金属、粘合剂和/或其它连接机构附接和电耦合到封装衬底112。封装102可以是晶片上芯片(cow)装置和/或组合件100可以是衬底上晶片上芯片(cowos)装置。基于功能装置，封装102可配置成执行一组功能以处理信息。

为了处理信息，组合件100和/或封装102可包含具有在一个结构单元(例如，封装结构、外壳和/或单个或组合接口)内或与其对应的非易失性(nv)或永久性存储器和易失性或非永久性存储器的vc存储器装置130。如在下文详细描述，vc存储器装置130可包含彼此上下竖直堆叠的一或多个nv存储器裸片和一或多个dram裸片。vc存储器装置130还可包含具有竖直堆叠的nv存储器和dram裸片的控制器裸片。

在一些实施例中，封装102可包含直接接触并包封vc存储器装置130、逻辑装置122、存储器装置124、封装衬底112的至少一部分或其组合的包封物(例如，环氧树脂或树脂材料)。在一些实施例中，vc存储器装置130可包含包封一组竖直堆叠的半导体裸片的包封物。

在一些实施例中，vc存储器装置130的高度126可匹配封装衬底112上的其它装置和/或组合件衬底104上的其它结构的高度。例如，vc存储器装置130可配置成具有匹配或对应于一组位置邻近的装置/组件的共同高度的高度126。

图2是根据本发明技术的实施例的竖直堆叠式组合存储器装置200(“vc存储器装置200”)的示意性横截面图。vc存储器装置200可以是图1b的vc存储器装置130的实例。

vc存储器装置200可在单个结构(例如，封装)内包含控制器裸片202、nv存储器裸片204和易失性存储器裸片206。nv存储器裸片204可包含配置成跨电力重置/循环存储/保持信息(例如，电荷)的nv存储器单元(例如，存储电荷的nand型浮动栅极存储器单元)。易失性存储器裸片206(例如，dram裸片)可包含包括配置成在输入电力被提供或作用时存储/保持电荷的电容器和/或晶体管的存储器单元。存储在易失性存储器裸片206中的电荷和对应信息可以在输入电力去除时去除或改变。控制器裸片202可包含配置成控制nv存储器裸片204和/或易失性存储器裸片206的操作的电路。例如，控制器裸片202可配置成控制nand存储器和/或dram存储器的读取操作、写入操作、擦除操作、刷新操作等。并且，控制器裸片202可配置成将所存储信息从一个裸片传递到另一裸片。在一些实施例中，控制器裸片202可配置成基于触发事件(例如，断电事件)促进存储在易失性存储器裸片206中的信息传递到nv存储器裸片204。控制器裸片202可进一步基于重新加载事件(例如，通电事件)将先前存储的信息恢复到易失性存储器裸片206，例如通过将存储在nv存储器裸片204中的信息加载到易失性存储器裸片206。

在一或多个实施例中，易失性存储器裸片206可以经由例如焊料、接合线和/或粘合剂的附接机构210直接附接到控制器裸片202上和上方。易失性存储器裸片206可以直接附接到控制器裸片202上，使得直接附接的结构之间没有中间裸片或电路。类似地，nv存储器裸片204可以直接附接到易失性存储器裸片206上和上方。因此，nv存储器裸片204可以附接到控制器裸片202上方，其中这两个结构之间存在易失性存储器裸片206。因此，控制器裸片202、nv存储器裸片204和/或易失性存储器裸片206可形成裸片堆叠。在其它实施例中，裸片的堆叠次序可以是不同的。例如，易失性存储器裸片206可以附接在nv存储器裸片204上方。并且，控制器裸片202可以附接在易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204上方。

为了在竖直附接的裸片之间传送信号(例如，命令和/或数据)，控制器裸片202、易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204可包含硅穿通孔208(“tsv208”)。tsv208可包含延伸穿过对应裸片的主体/厚度的金属结构(例如，连接路径)，例如从裸片的作用侧面延伸到其相对侧面。tsv208可以电连接(例如，经由迹线、衬垫、焊料、金属柱等)以提供经附接裸片之间的直接裸片间连接212。例如，直接裸片间连接212可允许控制器裸片202直接与易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204通信(例如，而不用通过中间裸片上的有源电路系统路由信号)。

在一些实施例中，直接裸片间连接212可允许外部装置(例如，图1b的逻辑装置122)直接与易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204通信。另外或替代地，控制器裸片202可配置成为易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204提供外部介接功能。换句话说，控制器裸片202可与逻辑装置122通信以将信息存储到易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204和/或存取其中存储的信息。

对于图2中所示的实例，控制器裸片202和易失性存储器裸片206包含tsv208。控制器裸片202可以是主动表面/电路面向下的倒装芯片。tsv208可因此在控制器裸片202的有源侧和易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204之间形成直接裸片间连接212。在一些实施例中，tsv208可提供绕过控制器裸片202的有源电路系统并通过图1b的封装衬底112将易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204连接到逻辑装置122的电连接。

在一些实施例中，竖直堆叠的裸片可以对齐和/或具有一或多个匹配尺寸。例如，堆叠裸片(例如，易失性存储器裸片206、nv存储器裸片204和/或控制器裸片202)可具有相同的横向尺寸215(例如，长度和/或宽度)。竖直堆叠的裸片可以对齐，使得它们的中心部分与竖直对齐线一致。并且，竖直堆叠的裸片可具有与竖直对齐平面214一致的周边边缘。因此，裸片堆叠可具有矩形盒形状或立方体形状(即，三维直线形状)。在一或多个实施例中，一个裸片(例如，底部裸片，如控制器裸片202)可具有大于其它堆叠裸片的横向尺寸215的一或多个尺寸。因此，所述一个裸片的周边边缘可横向地突出超过(例如，更远离其中心部分定位)堆叠裸片(例如，易失性存储器裸片206和/或nv存储器裸片204)的对应周边边缘达突出部距离216。

尽管焊料和/或其它粘合剂机构物理地附接裸片，但是易失性存储器裸片206和nv存储器裸片204的竖直堆叠组合的操作可以使用直接裸片间连接212和/或控制器裸片202实施。来自外部装置(例如，处理器，如逻辑装置122)的数据、命令和/或其它信号可以初始由控制器裸片202处理。控制器裸片202可使用直接裸片间连接212来直接控制或操作易失性存储器裸片206和nv存储器裸片204中的每一个。例如，控制器裸片202可识别并向nv存储器裸片204直接发送关键数据和/或对应命令以供存储。并且，控制器裸片202可识别断电条件，并且作为响应，通过对应的直接裸片间连接212获得存储在易失性存储器裸片206中的数据。使用单独的一组直接裸片间连接212，控制器裸片202可以在nv存储器裸片204中存储获得的数据以用于永久性存储。在识别电力恢复后，控制器裸片202可获得存储在nv存储器裸片204中的数据，并通过对应的直接裸片间连接212将它恢复到易失性存储器裸片206。

上文所描述的vc存储器装置通过竖直堆叠易失性和nv存储器裸片而减少了覆盖面积并增加了密度。并且，相比于共同衬底上裸片的横向放置的/共平面的布置，堆叠易失性和nv存储器裸片减少了连接距离。因此，可以减少传播延迟、电力损耗和对应信号的信号衰减，由此增加处理速度和精度。

此外，包含vc存储器装置的封装102可允许应用(经由逻辑装置122)在nv存储器中存储选择/关键数据。此外，封装102可在电力去除/故障后将数据从易失性存储器传递到nv存储器，并在电力恢复后立即将数据恢复到易失性存储器，由此提高封装102的数据处理效率和稳固性。

图3是根据本发明技术的实施例的竖直堆叠式组合存储器装置300(“vc存储器装置300”)的示意性横截面图。vc存储器装置300可以是图1b的vc存储器装置130的实例。vc存储器装置300可以类似于图2的vc存储器装置200。

vc存储器装置300可在单个结构(例如，封装)内包含控制器裸片302、nv存储器裸片304和多个易失性存储器裸片306。nv存储器裸片304可以类似于图2的nv存储器裸片204，并且包含配置成跨电力重置/循环存储/保持信息的nv存储器单元。易失性存储器裸片306中的每一个可以类似于图2的易失性存储器裸片206，并且包含配置成在输入电力被提供或作用时存储/保持电荷的非永久性存储器单元。控制器裸片302可以类似于图2的控制器裸片202，并且包含配置成控制nv存储器裸片304和/或易失性存储器裸片306的操作(例如，读取、写入、存储器传递等)的电路。例如，控制器裸片302可配置成基于触发事件(例如，断电事件)促进/控制存储在易失性存储器裸片306中的信息到nv存储器裸片304的传递。控制器裸片302可进一步基于重新加载事件(例如，通电事件)将先前存储的信息恢复到易失性存储器裸片306，例如通过将存储在nv存储器裸片304中的信息加载到易失性存储器裸片306。

在一或多个实施例中，易失性存储器裸片306可以经由例如焊料、连接器、接合线和/或粘合剂的附接机构310直接附接到彼此上和上方。类似地，易失性存储器裸片306(例如，其底部裸片)可以直接附接到控制器裸片302上和上方。并且，nv存储器裸片304可以直接附接到易失性存储器裸片306上和上方。因此，nv存储器裸片304可以附接在控制器裸片302上方，其中这两个结构之间存在易失性存储器裸片306。因此，控制器裸片302、nv存储器裸片304和/或易失性存储器裸片306可形成裸片堆叠。在其它实施例中，裸片的堆叠次序可以是不同的。例如，易失性存储器裸片306可以附接在nv存储器裸片304上方。并且，控制器裸片302可以附接在易失性存储器裸片306和/或nv存储器裸片304上方。

信号(例如，命令和/或数据)可以通过硅穿通孔308(“tsv308”)在竖直附接的裸片(例如，控制器裸片302、易失性存储器裸片306和/或nv存储器裸片304)之间传递。tsv308可以电连接(例如，经由迹线、衬垫、焊料、金属柱等)以在经附接裸片之间提供直接裸片间连接312。例如，类似于图2的直接裸片间连接212的直接裸片间连接312可允许控制器裸片302直接与易失性存储器裸片306中的一或多个和/或nv存储器裸片304通信。类似于直接裸片间连接212，直接裸片间连接312可允许外部装置(例如，图1b的逻辑装置122)直接与易失性存储器裸片306中的一或多个和/或nv存储器裸片304通信。另外或替代地，控制器裸片302可配置成为易失性存储器裸片306和/或nv存储器裸片304提供外部介接功能。

类似于vc存储器装置200，vc存储器装置300可包含对齐和/或具有一或多个匹配尺寸的竖直堆叠的裸片。例如，易失性存储器裸片306、nv存储器裸片304和/或控制器裸片202可具有一或多个共同的横向尺寸。并且，易失性存储器裸片306、nv存储器裸片304和/或控制器裸片302可以对齐，使得它们的中心部分与共同中心线一致，和/或使得它们的周边边缘与竖直平面一致。在一或多个实施例中，一个裸片(例如，底部裸片，如控制器裸片302)可具有大于其它堆叠裸片的尺寸的一或多个尺寸，使得所述一个裸片的周边部分横向地突出超过堆叠裸片的对应周边边缘。

所述多个易失性存储器裸片306为vc存储器装置300提供了增加的存储容量。在易失性存储器裸片306的数目增加的情况下，vc存储器装置300可以提供增加的非永久性存储容量(例如，dram容量)，而不会增加总覆盖面积。此外，竖直堆叠的nv存储器裸片304和控制器裸片302可支持类似于上文所描述的vc存储器装置200的vc存储器装置300的组合操作。

图4是根据本发明技术的实施例的竖直堆叠式组合存储器装置400(“vc存储器装置400”)的示意性横截面图。vc存储器装置400可以是图1b的vc存储器装置130的实例。vc存储器装置400可以类似于图2的vc存储器装置200和/或图3的vc存储器装置300。

vc存储器装置400可在单个结构(例如，封装)内包含控制器裸片402、多个nv存储器裸片404和多个易失性存储器裸片406。nv存储器裸片404中的每一个可以类似于图2的nv存储器裸片204，并且包含配置成跨电力重置/循环存储/保持信息的nv存储器单元。易失性存储器裸片406中的每一个可以类似于图2的易失性存储器裸片206，并且包含配置成在输入电力被提供或作用时存储/保持电荷的非永久性存储器单元。控制器裸片402可以类似于图2的控制器裸片202，并且包含配置成控制nv存储器裸片404和/或易失性存储器裸片406的操作(例如，读取、写入、存储器传递等)的电路。例如，控制器裸片402可配置成基于触发事件(例如，断电事件)促进/控制存储在易失性存储器裸片406中的信息到nv存储器裸片404的传递。控制器裸片402可进一步基于重新加载事件(例如，通电事件)将先前存储的信息恢复到易失性存储器裸片406，例如通过将存储在nv存储器裸片404中的信息加载到易失性存储器裸片406。

在一或多个实施例中，易失性存储器裸片406可以经由例如焊料、连接器、接合线和/或粘合剂的附接机构410直接附接到彼此上和上方。类似地，nv存储器裸片404可以直接附接到彼此上和上方。并且，易失性存储器裸片406(例如，其底部裸片)可以直接附接到控制器裸片402上和上方。并且，nv存储器裸片404可以直接附接到易失性存储器裸片406上和上方。因此，nv存储器裸片404可以附接在控制器裸片402上方，其中这两个结构之间存在易失性存储器裸片406。因此，控制器裸片402、nv存储器裸片404和/或易失性存储器裸片406可形成裸片堆叠。在其它实施例中，裸片的堆叠次序可以是不同的。例如，易失性存储器裸片406可以附接在nv存储器裸片404上方。并且，控制器裸片402可以附接在易失性存储器裸片406和/或nv存储器裸片404上方。

信号(例如，命令和/或数据)可以通过硅穿通孔408(“tsv408”)在竖直附接的裸片(例如，控制器裸片402、易失性存储器裸片406和/或nv存储器裸片404)之间传送。tsv408可以电连接(例如，经由迹线、衬垫、焊料、金属柱等)以在经附接裸片之间提供直接裸片间连接412。例如，类似于图2的直接裸片间连接212的直接裸片间连接412可允许控制器裸片402直接与易失性存储器裸片406中的一或多个和/或nv存储器裸片404中的一或多个通信。类似于直接裸片间连接212，直接裸片间连接412可允许外部装置(例如，图1b的逻辑装置122)直接与易失性存储器裸片406中的一或多个和/或nv存储器裸片404中的一或多个通信。另外或替代地，控制器裸片402可配置成为易失性存储器裸片406和/或nv存储器裸片404提供外部介接功能。

类似于vc存储器装置200，vc存储器装置400可包含对齐和/或具有一或多个匹配尺寸的竖直堆叠的裸片。例如，易失性存储器裸片406、nv存储器裸片404和/或控制器裸片402可具有一或多个共同的横向尺寸。并且，易失性存储器裸片406、nv存储器裸片404和/或控制器裸片202可以对齐，使得它们的中心部分与竖直线一致，和/或使得它们的周边边缘与竖直平面一致。在一或多个实施例中，一个裸片(例如，底部裸片，如控制器裸片402)可具有大于其它堆叠裸片的尺寸的一或多个尺寸，使得所述一个裸片的周边部分横向地突出超过堆叠裸片的对应周边边缘。

所述多个易失性存储器裸片406和所述多个nv存储器裸片404为vc存储器装置400提供了增加的存储容量。在这两种类型的裸片的数目增加的情况下，vc存储器装置400可以提供增加的永久性和非永久性存储容量，而不会增加总覆盖面积。此外，竖直堆叠的nv存储器裸片404和控制器裸片402可支持类似于上文所描述的vc存储器装置200的vc存储器装置400的组合操作。

图5是根据本发明技术的实施例的示出制造半导体装置(例如，图2的vc存储器装置200、图3的vc存储器装置300、图4的vc存储器装置400、图1a的封装102和/或图1a的组合件100)的方法500的流程图。方法500可以用于制造包含vc存储器装置的半导体装置，所述vc存储器装置包含包括至少一个nv存储器裸片和至少一个易失性存储器裸片的裸片堆叠。

在框502处，方法包含提供vc存储器装置(例如，vc存储器装置200、vc存储器装置300和/或vc存储器装置400)。例如，可以提供包含以竖直堆叠配置物理地且操作性地耦合在一起的至少一个易失性存储器裸片(例如，dram裸片)和至少一个nv存储器裸片(例如，nand裸片)的裸片堆叠。

在一些实施例中，提供vc存储器装置可包含组装或形成vc存储器装置。在框512处，可以为组合件提供裸片。例如，可以提供图2的控制器裸片202、图3的控制器裸片302、图4的控制器裸片402、图2的易失性存储器裸片206、图3的易失性存储器裸片306、图4的易失性存储器裸片406、图2的nv存储器裸片204、图3的nv存储器裸片304和/或图4的nv存储器裸片404。所提供的裸片可包含有源电路系统(例如，有源侧上的半导体装置)和/或有源电路系统之间的连接。所提供的裸片还可具有裸片间连接器，例如导柱、衬垫、焊料凸块和/或tsv(例如，图2的tsv208、图3的tsv308和/或图4的tsv408)。

在一或多个实施例中，提供裸片可包含形成或制造裸片。在框514处，可以形成裸片。例如，裸片可以经由为每个裸片形成有源电路系统和连接(例如，迹线)的例如掩模、掺杂、蚀刻、沉积、薄化、接合等过程形成。并且，形成裸片可包含去除硅衬底的某些部分、将金属和/或介电材料沉积到所得凹部(例如，通孔)中和/或将凹部中的金属特征连接到其它连接以在裸片内形成tsv的过程。

在框516处，所提供的裸片可以进行竖直堆叠以组装或形成vc存储器装置。例如，可以提供底部裸片(例如，控制器裸片)。第一组裸片(例如，包含至少一个易失性存储器裸片)可以附接在底部裸片上方。第二组裸片(例如，包含至少一个nv存储器裸片)可以附接在底部裸片和/或第一组裸片上方。对于图2-4中所示的实例，易失性存储器裸片可以直接附接到控制器裸片上和上方。并且，nv存储器裸片可以直接附接到易失性存储器裸片上和上方，所述易失性存储器裸片可以与直接附接到控制器裸片上的裸片相同或者是不同的易失性存储器裸片。

裸片可以使用电气和/或机械机构附接。例如，裸片可以通过回焊和硬化焊料、熔合金属结构(例如，导柱)、连接接合线和/或连接其它机电结构来附接。并且，裸片可以经由设置于经附接裸片之间的粘合剂和/或包封物来附接。在附接裸片时，裸片可以定位成使得tsv电耦合到一或多个竖直邻近的裸片。例如，一个裸片中的tsv可接触在所述一个裸片上方和/或下方的裸片上或电连接到此裸片的竖直连接器(例如，衬垫、导柱、焊料等)。

竖直堆叠裸片可包含在附接裸片之前对齐裸片的中心部分和/或周边部分。例如，控制器裸片、易失性存储器裸片和/或nv存储器裸片可以定位成使它们的中心部分与共同中心线一致。换句话说，裸片可以放在不同的高度，其中中心部分处于相同的橫向位置，从而彼此重叠。并且，控制器裸片、易失性存储器裸片和/或nv存储器裸片可以定位成使它们的一或多个周边边缘与对应的竖直定向平面一致。因此，裸片可以进行堆叠以形成矩形盒或立方体形状。

在框504处，方法可包含提供封装(例如，图1a的封装102)。所提供的封装可包含vc存储器装置(例如，vc存储器装置200、vc存储器装置300和/或vc存储器装置400)。在一些实施例中，提供封装可包含组装或形成封装。在框522处，可以将所提供的vc存储器装置附接到封装衬底(例如，图1b的封装衬底112，如硅中介层)上。vc存储器装置可以类似于上文针对裸片描述的方式附接。例如，vc存储器装置中的底部裸片(例如，控制器裸片)可以通过焊料、熔合金属、粘合剂、导线等附接到封装衬底上。

在框524处，可以将其它装置附接到封装衬底上。例如，可以将图1b的逻辑装置122和/或图1b的存储器装置124附接到封装衬底上。其它装置可以附接到共同表面上作为vc存储器装置，使得其它装置和vc存储器装置彼此横向邻近。

在一些实施例中，vc存储器装置、其它装置和/或封装衬底可以进行包封以形成封装。在一些实施例中，vc存储器装置可以分开进行包封(例如，作为形成vc存储器装置的部分)。

在框506处，方法可包含形成半导体组合件(例如，图1的组合件100)。例如，可以提供组合件衬底(例如，图1a的组合件衬底104)。在框532处，可以将所提供的封装附接到组合件衬底上。在框534处，可以将其它组件/装置附接到组合件衬底上以形成半导体组合件。

上文参考图1a-5所描述的半导体装置中的任一个可并入到大量更大和/或更复杂的系统中的任一个中，其代表性实例是在图6中示意性示出的系统690。系统690可包含半导体装置600(“装置600”)(例如，半导体装置、封装和/或组合件)、电源692、驱动器694、处理器696和/或其它子系统或组件698。装置600可包含大体上类似于上文所描述的那些装置的特征。所得系统690可执行各种功能中的任一个，例如存储器存储、数据处理和/或其它合适的功能。因此，代表性系统690可包含但不限于手持式装置(例如，移动电话、平板电脑、数字阅读器和数字音频播放器)、计算机和电器。系统690的组件可以容纳于单个单元中或分布在多个互连的单元中(例如，通过通信网络)。系统690的组件还可包含远程装置和各种计算机可读媒体中的任一个。

本公开并非旨在是穷尽性的或将本发明技术限于本文所公开的精确形式。相关领域的技术人员将认识到，虽然出于说明性目的而在本文中公开特定实施例，但是在不偏离本发明技术的情况下各种等效修改是可能的。在一些情况下，未详细示出或描述公知的结构和功能，以避免不必要地模糊本发明技术的实施例的描述。虽然在本文中以特定次序呈现方法的步骤，但是替代性实施例可按不同次序执行所述步骤。类似地，在特定实施例的上下文中公开的本发明技术的某些方面可以在其它实施例中组合或去除。此外，虽然可能已在那些实施例的上下文中公开与本发明技术的某些实施例相关联的优点，但是其它实施例也可展现此类优点，且并非所有实施例都必须展现本文中所公开的此类优点或其它优点来落入本发明技术的范围内。因此，本公开和相关联的技术可涵盖本文未明确示出或描述的其它实施例，并且本发明仅由所附权利要求书限制。

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