一种用于激光输出的万向式微调耦合装置的制作方法

1.本发明涉及准分子激光器技术领域，特别是涉及一种用于激光输出的万向式微调耦合装置。


背景技术：

2.在高重频准分子激光器系统中，光学输出会遇到诸多问题。首先遇到的便是从放电腔发出的激光不能满足窄线宽和大能量需求。对此，一般采用增加具有一定反射率和透过率的输出耦合镜对输出激光进行折返振荡，使其增大能量并进行线宽压窄后输出。传统输出耦合装置采用三点式调节方式，其角度调节范围较为局限，无法满足所有工况，而且传统输出耦合装置无负角度调节能力，在一些工况下，可能造成输出耦合装置功能失效。而且，传统输出耦合装置的调节过程中，调试人员需要将谐振腔开启，过程复杂繁琐。此外，传统输出耦合装置在调节过程中容易由于摩擦力而产生旋转不畅现象，同时传统输出耦合装置在调节过程中无法回弹。综上，传统输出耦合装置存在诸多缺陷，无法满足高重频准分子激光器的光学输出的调节需求。


技术实现要素：

3.本发明的一目的是，提供一种用于激光输出的万向式微调耦合装置，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置采用套环式旋转方式连接，能够获得在x轴方向和y轴方向的全角度旋转，调节角度范围广，调节方便、顺滑且精密度高，能够满足高重频准分子激光器的光学输出的调节需求。
4.本发明在一方面提供了一种用于激光输出的万向式微调耦合装置，包括：
5.输出耦合镜调谐机构，所述输出耦合镜调谐机构包括输出耦合镜组件和一端刚性连接于所述输出耦合镜组件的镜片偏转单元；
6.调节销组件，所述调节销组件支撑于所述镜片偏转单元的另一端之下；以及
7.调节杆组件，所述调节杆组件联动于所述调节销组件，在所述调节杆组件伸缩时，所述调节销组件被联动驱动而推动所述镜片偏转单元转动，以使得所述镜片偏转单元带动所述输出耦合镜组件以x轴或y轴为旋转中心转动，从而获得所述输出耦合镜组件在x轴方向和y轴方向的全角度旋转。
8.在本发明的一实施例中，所述输出耦合镜组件包括沿x轴方向设置的第一转轴和沿y轴方向设置的第二转轴，所述镜片偏转单元包括第一镜片偏转杆和第二镜片偏转杆，所述第一镜片偏转杆和所述第二镜片偏转杆分别具有连接部和延伸自所述连接部的旋转臂，所述第一镜片偏转杆的连接部和所述第一转轴之间通过方块部和方形槽相配对的结构形成刚性连接，所述第二镜片偏转杆的连接部和所述第二转轴之间通过方块部和方形槽相配对的结构形成刚性连接。
9.在本发明的一实施例中，所述旋转臂为弧形长臂。
10.在本发明的一实施例中，所述输出耦合镜调谐机构还包括固定座，所述固定座界
定形成有容纳槽，所述输出耦合镜组件被设置于所述容纳槽并形成所述第一转轴的末端突出于所述固定座的第一凹槽的状态，和所述第二转轴的末端突出于所述固定座的第二凹槽的状态。
11.在本发明的一实施例中，所述固定座延伸形成有第一限位件和第二限位件，所述第一限位件位于所述第一镜片偏转杆的旋转臂之上，用于限制所述第一镜片偏转杆的旋转位置，所述第二限位件位于所述第二镜片偏转杆的旋转臂之上，用于限制所述第二镜片偏转杆的旋转位置。
12.在本发明的一实施例中，所述输出耦合镜调谐机构还包括两个复位件，其中一个所述复位件位于所述第一限位件和所述第一镜片偏转杆的旋转臂之间，另一个所述复位件位于所述第二限位件和所述第二镜片偏转杆的旋转臂之间。
13.在本发明的一实施例中，所述输出耦合镜组件包括镜片偏转环和设置在所述镜片偏转环内的镜片固定支架组件，所述镜片固定支架组件包括镜片固定支架和依次设置于所述镜片固定支架的镜片、镜片垫以及镜片固定环，所述镜片固定支架延伸形成有所述第一转轴，所述镜片偏转环延伸形成有所述第二转轴。
14.在本发明的一实施例中，所述输出耦合镜调谐机构还包括第一转轴压盖件和第二转轴压盖件，所述第一转轴压盖件包括第一压盖片和第二压盖片，所述第一压盖片一体延伸形成于所述镜片偏转环上，所述第一压盖片和所述第二压盖片相扣合以将所述第一转轴夹持于其间，所述固定座于所述第二凹槽上延伸形成有压盖部，所述第二转轴压盖件和所述压盖部相扣合以将所述第二转轴夹持于其间。
15.在本发明的一实施例中，所述调节销组件包括第一调节销和第二调节销，所述第一镜片偏转杆的一端刚性连接于所述第一转轴且其另一端支撑于所述第一调节销之上，所述第二镜片偏转杆的一端刚性连接于所述第二转轴且其另一端支撑于所述第二调节销之上。
16.在本发明的一实施例中，所述第一调节销和所述第二调节销的底部被设置为斜面结构，所述斜面结构为v形斜面结构、梯形斜面结构以及半球形斜面结构中的任一种。
17.在本发明的一实施例中，所述调节杆组件包括联动于所述第一调节销的第一调节杆和联动于所述第二调节销的第二调节杆，其中在所述第一调节杆伸缩时，所述第一调节销被所述第一调节杆联动驱动而推动所述第一镜片偏转杆转动，以使得所述第一镜片偏转杆带动所述输出耦合镜组件以x轴为旋转中心转动，其中在所述第二调节杆伸缩时，所述第二调节销被所述第二调节杆联动驱动而推动所述第二镜片偏转杆转动，以使得所述第二镜片偏转杆带动所述输出耦合镜组件以y轴为旋转中心转动。
18.在本发明的一实施例中，所述第一调节杆包括调节杆、设置于所述调节杆内的调节顶柱以及设置于所述调节杆的末端的堵头，所述调节杆具有第一内螺纹部和第二内螺纹部，所述第一内螺纹部用于调整所述调节顶柱的伸缩，所述第二内螺纹用于安装所述堵头，所述第二调节杆和所述第一调节杆为结构相同但长度不同的两个调节杆。
19.在本发明的一实施例中，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置还包括安装板、设置于所述安装板的方槽的狭缝片以及分别安装于所述安装板两侧的挡片和外接盖，其中所述输出耦合镜调谐机构和所述调节销组件设置于所述外接盖和所述安装板之间。
20.在本发明的一实施例中，所述外接盖设置有两个调节孔，所述调节杆组件设置于
所述调节孔中。
21.在本发明的一实施例中，所述安装板设置有两个通孔，所述调节销组件的所述第一调节销和所述第二调节销分别于设置于对应的所述通孔。
22.本发明在另一方面还提供了一种用于激光输出的万向式微调耦合装置的组装方法，包括以下步骤：
23.s200、将调节销组件的第一调节销和第二调节销分别设置于安装板的对应通孔；
24.s210、将狭缝片安装于所述安装板的方槽内；
25.s220、将输出耦合镜调谐机构固定安装于所述安装板的圆形槽内；
26.s230、将外接盖以罩住所述输出耦合镜调谐机构的的方式安装于所述安装板；
27.s240、将调节杆组件插入所述外接盖的调节孔，并采用螺钉固定；以及
28.s250、将挡片安装于所述安装板的与安装有所述外接盖的一侧相对的一侧。
29.在本发明的一实施例中，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的组装方法还包括组装所述输出耦合镜调谐机构的步骤：
30.s300、将镜片、镜片垫以及镜片固定环依次安装于镜片固定支架内，形成镜片固定支架组件；
31.s310、将所述镜片固定支架组件安装于镜片偏转环内，并采用第一转轴压盖件将所述镜片固定支架组件的第一转轴夹持固定，以形成输出耦合镜组件；
32.s320、将所述输出耦合镜组件安装于固定座的容纳槽，以形成所述第一转轴位于所述固定座的第一凹槽且所述镜片偏转环的第二转轴位于所述固定座的第二凹槽的状态，并采用第二转轴压盖件将所述镜片偏转环的所述第二转轴夹持固定；以及
33.s330、将第一镜片偏转杆的连接部安装于所述第一转轴的末端，将第二镜片偏转杆的连接部安装于所述第二转轴的末端，并分别采用顶丝压紧固定。
34.在本发明的一实施例中，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的组装方法还包括步骤：s340、将一复位件的两端分别装入所述第一镜片偏转杆的旋转臂和所述固定座的第一限位件底部的圆槽中，将另一复位件的两端分别装入所述第二镜片偏转杆的旋转臂和所述固定座的第二限位件底部的圆槽中。
35.与现有技术相比，本发明的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置能够实现以下有益效果：
36.(1)所述用于激光输出的万向式微调耦合装置利用陀螺仪原理获得x轴方向和y轴方向的全角度旋转，增大了调节角度范围，能够满足多种工况的调节需求。
37.(2)所述用于激光输出的万向式微调耦合装置采用全角度调节的方式，实现了负角度调节，使得产品的适应性更强。
38.(3)所述用于激光输出的万向式微调耦合装置采用所述调节组件在外部进行调节的方式，无需开启谐振腔，能够简化调节步骤和节省调节时间，使得调节方便可靠，而且在调节过程中能够降低调试人员的危险性。
39.(4)所述用于激光输出的万向式微调耦合装置采用了长旋转臂的调节方式，使得所述第一偏转杆和所述第二偏转杆的转动更加顺滑，能够有效解决调谐时由于摩擦力带来的旋转不畅现象，而且还能够提高微调的精密度。
40.(5)所述用于激光输出的万向式微调耦合装置通过在旋转臂和限位件之间设置复
位件的方式，使得在调节过程中可以实现回弹，方便所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的调谐。
41.通过对随后的描述和附图的理解，本发明进一步的目的和优势将得以充分体现。
附图说明
42.图1为根据本发明的一优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的立体结构图。
43.图2为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置在另一视角下的立体结构图。
44.图3为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的部分立体结构图。
45.图4为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的输出耦合镜调谐机构的爆炸图。
46.图5为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的调节杆组件的剖视示意图。
47.图6为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的组装示意图。
48.图7为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的组装流程框图。
49.图8为根据本发明的上述优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置的输出耦合镜调谐机构的组装流程框图。
50.附图标号说明：用于激光输出的万向式微调耦合装置100；输出耦合镜调谐机构10；输出耦合镜组件11；镜片偏转环111；第二转轴1111；镜片固定支架组件112；镜片固定支架1121；镜片1122；镜片垫1123；镜片固定环1124；第一转轴1125；固定座12；容纳槽120；第一凹槽121；第二凹槽122；压盖部123；第一限位件124；第二限位件125；镜片偏转单元13；第一镜片偏转杆131；第二镜片偏转杆132；连接部133；旋转臂134；方块部101；方形槽102；复位件14；第一转轴压盖件15；第一压盖片151；第二压盖片152；第二转轴压盖件16；调节销组件20；第一调节销21；第二调节销22；斜面结构201；调节杆组件30；第一调节杆31；第二调节杆32；调节杆301；调节顶柱302；堵头303；安装板40；通孔41；狭缝片50；挡片60；外接盖70。
具体实施方式
51.以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、形变方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
52.本领域技术人员应理解的是，在本发明的揭露中，术语“竖向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术
语不能理解为对本发明的限制。
53.可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
54.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
55.如图1至图8所示，根据本发明的一优选实施例的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100的具体结构和具体组装方法被阐明。
56.如图1至图5所示，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100包括输出耦合镜调谐机构10、调节销组件20以及调节杆组件30，所述输出耦合镜调谐机构10包括输出耦合镜组件11和一端刚性连接于所述输出耦合镜组件11的镜片偏转单元13；所述调节销组件20支撑于所述镜片偏转单元13的另一端之下；所述调节杆组件30联动于所述调节销组件20，在所述调节杆组件30伸缩时，所述调节销组件20被联动驱动而推动所述镜片偏转单元13转动，以使得所述镜片偏转单元13带动所述输出耦合镜组件11以x轴或y轴为旋转中心转动，从而获得所述输出耦合镜组件11在x轴方向和y轴方向的全角度旋转。
57.可以理解的是，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100利用陀螺仪原理获得x轴方向和y轴方向的全角度旋转，增大了调节角度范围，因此能够满足多种工况的调节需求。而且，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100采用全角度调节的方式，实现了负角度调节，使得产品的适应性更强。
58.具体地，所述输出耦合镜组件11包括沿x轴方向设置的第一转轴1125、沿y轴方向设置的第二转轴1111，所述镜片偏转单元13包括第一镜片偏转杆131和第二镜片偏转杆132，所述调节销组件20包括第一调节销21和第二调节销22，所述第一镜片偏转杆131的一端刚性连接于所述第一转轴1125且其另一端支撑于所述第一调节销21之上，所述第二镜片偏转杆132的一端刚性连接于所述第二转轴1111且其另一端支撑于所述第二调节销22之上；所述调节杆组件30包括联动于所述第一调节销21的第一调节杆31和联动于所述第二调节销22的第二调节杆32，其中在所述第一调节杆31伸缩时，所述第一调节销21被所述第一调节杆31联动驱动而推动所述第一镜片偏转杆131转动，以使得所述第一镜片偏转杆131带动所述输出耦合镜组件11以x轴为旋转中心转动，其中在所述第二调节杆32伸缩时，所述第二调节销22被所述第二调节杆32联动驱动而推动所述第二镜片偏转杆132转动，以使得所述第二镜片偏转杆132带动所述输出耦合镜组件11以y轴为旋转中心转动。由此，通过所述输出耦合镜组件11在x轴方向和y轴方向的调节的相互配合，能够获得全角度旋转。
59.值得一提的是，所述第一调节销21和所述第二调节销22的底部被设置为斜面结构201，以此在所述第一调节杆31或所述第二调节杆32转动时，所述第一调节销21或所述第二调节销22能够被驱动移动。可选地，所述斜面结构201为v形斜面结构、梯形斜面结构以及半球形斜面结构中的任一种。
60.进一步地，如图3和图4所示，所述第一镜片偏转杆131和所述第二镜片偏转杆132
分别具有连接部133和延伸自所述连接部133的旋转臂134，即所述第一镜片偏转杆131和所述第二镜片偏转杆132的结构相同。所述第一镜片偏转杆131的连接部133和所述第一转轴1125之间通过方块部101和方形槽102相配对的结构形成刚性连接，以此在所述第一镜片偏转杆131被所述第一调节销21推动时，所述第一镜片偏转杆131能够带动所述第一转轴1125转动，从而实现所述输出耦合镜调谐机构10以x轴为旋转中心的偏转。同样地，所述第二镜片偏转杆132的连接部133和所述第二转轴1111之间通过方块部101和方形槽102相配对的结构形成刚性连接，以此在所述第二镜片偏转杆132被所述第二调节销22推动时，所述第二镜片偏转杆132能够带动所述第二转轴1111转动，从而实现所述输出耦合镜调谐机构10以y轴为旋转中心的偏转。
61.值得一提的是，在本发明的这一优选实施例中，所述第一转轴1125的末端被设置为方块部101，所述第一镜片偏转杆131的连接部133具有方形槽102，所述第一镜片偏转杆131通过所述方形槽102套接于所述第一转轴1125的方块部101而形成所述第一镜片偏转杆131刚性连接于所述第一转轴1125的状态。相同地，所述第二转轴1111的末端被设置为方块部101，所述第二镜片偏转杆132的连接部133具有方形槽102，所述第二镜片偏转杆132通过所述方形槽102套接于所述第二转轴1111的方块部101而形成所述第二镜片偏转杆132刚性连接于所述第二转轴1111的状态。
62.应该理解的是，在本发明的一些实施例中，所述第一转轴1125的末端也可以被设置有方形槽102，所述第一镜片偏转杆131的连接部133也可以延伸形成有方块部101，本发明对此不作限制。而且，在本发明的一些实施例中，所述第二转轴1111的末端也可以被设置有方形槽102，所述第二镜片偏转杆132的连接部133可以延伸形成有方块部101，本发明对此也不作限制。也就是说，本发明对所述第一转轴1125与所述第一镜片偏转杆131以及所述第二转轴1111与所述第二镜片偏转杆132之间的刚性连接结构和刚性连接方式不作限制。
63.值得一提的是，在本发明的这一优选实施例中，所述第一转轴1125的方块部101和所述第一镜片偏转杆131的连接部133套接后进一步通过顶丝进行固定，以确保所述第一转轴1125和所述第一镜片偏转杆131连接的稳定性。同样地，所述第二转轴1111的方块部101和所述第二镜片偏转杆132的连接部133套接后进一步通过顶丝进行固定，以确保所述第二转轴1111和所述第二镜片偏转杆132连接的稳定性。也就是说，本发明通过方块部101和方形槽102相适配的结构和顶丝的配合，实现镜片偏转杆和所述输出耦合镜调谐机构10的刚性连接。
64.特别地，所述第一镜片偏转杆131和所述第二镜片偏转杆132的旋转臂134为弧形长臂，也就是说，所述输出耦合镜调谐机构10采用较长的旋转臂134实现以x轴为旋转中心和以y轴为旋转中心的偏转，一方面使得调节更加顺滑，能够解决在调节时由于摩擦力带来的旋转不顺畅现象；另一方面较长的旋转臂134能够使得微调更加精密，有利于提高产品的稳定性和可靠性。
65.进一步地，所述输出耦合镜调谐机构10还包括固定座12，所述固定座12界定形成有容纳槽120，所述输出耦合镜组件11被设置于所述容纳槽120并形成所述第一转轴1125的末端突出于所述固定座12的第一凹槽121的状态，和所述第二转轴1111的末端突出于所述固定座12的第二凹槽122的状态。即形成所述第一转轴1125末端的方块部101突出于所述固定座12的第一凹槽121的状态，以供所述第一镜片偏转杆131能够套接于所述第一转轴1125
的方块部101；并形成所述第二转轴1111末端的方块部101突出于所述固定座12的第二凹槽122的状态，以供所述第二镜片偏转杆132能够套接于所述第二转轴1111的方块部101。
66.更进一步地，所述固定座12延伸形成有第一限位件124和第二限位件125，所述第一限位件124位于所述第一镜片偏转杆131的旋转臂134之上，用于限制所述第一镜片偏转杆131的旋转位置，所述第二限位件125位于所述第二镜片偏转杆132的旋转臂134之上，用于限制所述第二镜片偏转杆132的旋转位置。
67.也就是说，所述第一镜片偏转杆131的旋转路径位于所述第一调节销21和所述第一限位件124之间，所述第二镜片偏转杆132的旋转路径位于所述第二调节销22和所述第二限位件125之间。
68.特别地，所述输出耦合镜调谐机构10还包括两个复位件14，其中一个所述复位件14位于所述第一限位件124和所述第一镜片偏转杆131的旋转臂134之间，另一个所述复位件14位于所述第二限位件125和所述第二镜片偏转杆132的旋转臂134之间。
69.可以理解的是，在顺时针转动所述第一调节杆31时，所述第一镜片偏转杆131被所述第一调节销21推动而使得所述复位件14被压缩而储蓄势能，此时所述第一镜片偏转杆131带动所述输出耦合镜组件11以x轴为旋转中心偏转，在完成该方向的调节后，如通过逆时针方向旋转所述第一调节销21时，在所述复位件14的势能释放下，所述输出耦合镜组件11则以x轴为旋转中心向反方向偏转，以此完成以x轴为旋转中心向反方向偏转调节。
70.同样地，在顺时针转动所述第二调节杆32时，所述第二镜片偏转杆132被所述第二调节销22推动而使得所述复位件14被压缩而储蓄势能，此时所述第二镜片偏转杆132带动所述输出耦合镜组件11以y轴为旋转中心偏转，在完成该方向的调节后，如通过逆时针方向旋转所述第二调节销22时，在所述复位件14的势能释放下，所述输出耦合镜组件11则以y轴为旋转中心向反方向偏转，以此完成以y轴为旋转中心向反方向偏转调节。
71.因此，通过x轴和y轴配合偏转调节，可实现镜片偏转的全角度调节。所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100采用全角度调节的方式，实现了负角度调节，使得产品的适应性更强。而且，通过在旋转臂134和限位件之间设置复位件14的方式，使得在调节过程中可以实现回弹，方便所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100的调谐。
72.值得一提的是，所述复位件14为复位弹簧或复位弹片，在本发明的这一优选实施例中，所述复位件14采用复位弹簧。
73.进一步地，所述输出耦合镜组件11包括镜片偏转环111和设置在所述镜片偏转环111内的镜片固定支架组件112，所述镜片固定支架组件112包括镜片固定支架1121和依次设置于所述镜片固定支架1121的镜片1122、镜片垫1123以及镜片固定环1124，所述镜片固定支架1121延伸形成有所述第一转轴1125，所述镜片偏转环111延伸形成有所述第二转轴1111。
74.具体地，所述镜片固定支架组件112的具体结构为，所述镜片1122设置于所述镜片固定支架1121的环形槽内，所述镜片垫1123压在所述镜片1122之上，所述镜片固定环1124螺纹连接于所述镜片固定支架1121，以将所述镜片1122和所述镜片垫1123锁紧固定于所述镜片固定支架的环形槽内。
75.更进一步地，所述输出耦合镜调谐机构10还包括第一转轴压盖件15和第二转轴压盖件16，所述第一转轴压盖件15包括第一压盖片151和第二压盖片152，所述第一压盖片151
延伸形成于所述镜片偏转环111上，所述第一压盖片151和所述第二压盖片152相扣合以将所述第一转轴1125夹持于其间，所述固定座12于所述第二凹槽122上延伸形成有压盖部123，所述第二转轴压盖件16和所述压盖部123相扣合以将所述第二转轴1111夹持于其间。
76.值得一提的是，如图5所示，所述第一调节杆31包括调节杆301、设置于所述调节杆301内的调节顶柱302以及设置于所述调节杆301的末端的堵头303，所述调节杆301具有第一内螺纹部和第二内螺纹部，所述第一内螺纹部用于调整所述调节顶柱302的伸缩，所述第二内螺纹用于安装所述堵头303，所述第二调节杆32和所述第一调节杆31为结构相同但长度不同的两个调节杆。
77.应该理解的是，所述调节组件30通过所述调节顶柱302于所述调节杆301内伸缩的方式驱动所述镜片偏转单元13转动。
78.进一步地，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100还包括安装板40、设置于所述安装板40的方槽的狭缝片50以及分别安装于所述安装板40两侧的挡片60和外接盖70，其中所述输出耦合镜调谐机构10和所述调节销组件20设置于所述外接盖70和所述安装板40之间。
79.值得一提的是，所述外接盖70设置有两个调节孔，所述调节杆组件30设置于所述调节孔中，所述调节杆组件30通过插入所述调节孔的方式对所述输出耦合镜调谐机构10进行调节。
80.此外，还值得一提的是，所述安装板40设置有两个通孔41，所述调节销组件20的所述第一调节销21和所述第二调节销22分别设置于对应的所述通孔41。
81.如图6至图8所示，本发明在另一方面还提供了一种用于激光输出的万向式微调耦合装置100的组装方法，包括以下步骤：
82.s200、将调节销组件20的第一调节销21和第二调节销22分别设置于安装板40的对应通孔41；
83.s210、将狭缝片50安装于所述安装板40的方槽内；
84.s220、将输出耦合镜调谐机构10固定安装于所述安装板40的圆形槽内；
85.s230、将外接盖70以罩住所述输出耦合镜调谐机构10的的方式安装于所述安装板40；
86.s240、将调节杆组件30插入所述外接盖70的调节孔，并采用螺钉固定；以及
87.s250、将挡片60安装于所述安装板40的与安装有所述外接盖70的一侧相对的一侧。
88.如图8所示，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100的组装方法还包括组装所述输出耦合镜调谐机构10的步骤：
89.s300、将镜片、镜片垫1123以及镜片固定环1124依次安装于镜片固定支架1121内，形成镜片固定支架组件112；
90.s310、将所述镜片固定支架组件112安装于镜片偏转环111内，并采用第一转轴压盖件15将所述镜片固定支架组件112的第一转轴1125夹持固定，以形成输出耦合镜组件11；
91.s320、将所述输出耦合镜组件11安装于固定座12的容纳槽120，以形成所述第一转轴1125位于所述固定座12的第一凹槽121且所述镜片偏转环111的第二转轴1111位于所述固定座12的第二凹槽122的状态，并采用第二转轴压盖件16将所述镜片偏转环111的所述第
二转轴1111夹持固定；以及
92.s330、将第一镜片偏转杆131的连接部133安装于所述第一转轴1125的末端，将第二镜片偏转杆132的连接部133安装于所述第二转轴1111的末端，并分别采用顶丝压紧固定。
93.具体地，所述镜片固定支架组件112的具体组装过程即所述步骤s300的具体步骤为：先将所述镜片放入所述镜片固定支架1121的环形槽内，将所述镜片垫1123压在所述镜片上；然后用所述镜片固定环1124通过螺纹连接方式将所述镜片和所述镜片垫1123锁在所述镜片固定架的环形槽内形成所述镜片固定支架组件112。
94.进一步地，所述步骤s310的具体步骤为:将所述镜片固定支架组件112的所述第一转轴1125放入所述镜片偏转环111的半圆槽内，并将所述镜片固定支架组件112的除所述第一转轴1125之外的部分安装在所述镜片偏转环111的环形槽内；将所述镜片偏转环111的第一压盖片151和第二压盖片152扣合并用螺钉锁紧，从而形成输出耦合镜组件11。
95.具体地，在所述步骤s330中，将第一镜片偏转杆131的方形槽102套在所述第一转轴1125的方块部101上，以形成所述第一镜片偏转杆131和所述第一转轴1125的刚性连接状态，并将所述第二镜片偏转杆132的方形槽102套在所述第二转轴1111的方块部101上，以形成所述第二镜片偏转杆132和所述第二转轴1111的刚性连接状态。
96.更进一步地，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100的组装方法还包括步骤：s340、将一复位件14的两端分别装入所述第一镜片偏转杆131的旋转臂134和所述固定座12的第一限位件124底部的圆槽中，将另一复位件14的两端分别装入所述第二镜片偏转杆132的旋转臂134和所述固定座12的第二限位件125底部的圆槽中。
97.可以理解的是，本发明的所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100打破了传统三点式固定的输出耦合装置结构，采用了套环式旋转方式连接，通过所述第一调节销21推动所述第一镜片偏转杆131和通过所述第二调节销22推动所述第二镜片偏转杆132的方式，分别实现了所述耦合镜组件在x轴方向和y轴方向的偏转，达到了全角度旋转调节的目的，增大了调节角度范围，实现了负角度调节，提高了产品适应性。而且，所述用于激光输出的万向式微调耦合装置100采用所述调节杆组件30进行调节，能够实现在谐振腔之外对所述耦合镜组件进行微调，能够降低调试人员的危险性，而且通过转动所述调节杆组件30的方式进行调节，调节简单、方便。另外，所述第一镜片偏转杆131和所述第二镜片偏转杆132均采用较长的旋转臂134，使得调节更加顺滑，同时微调更精密，有利提高产品的稳定性和可靠性。
98.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
99.以上实施例仅表达了本发明的优选的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。