1.本发明的实施例涉及一种显示装置的制造装置，更详细而言，涉及一种提高显示装置的制造品质的显示装置的制造装置。
背景技术：
：：2.以移动性为基础的电子设备得到广泛的应用。作为移动型电子设备，除移动电话等的小型电子设备以外，最近还广泛使用平板电脑。3.为了将多种功能即如图像或视频等的视觉信息提供给用户，这种移动型电子设备包括显示装置。最近，显示装置在电子设备中所占的比重呈逐渐增加趋势，并且还正在开发从平坦的状态可弯曲规定角度的结构。4.另外，显示装置可包括通过多种工艺形成的多种层。例如，显示装置可包括由有机物构成的层，可通过向基板上吐出有机物油墨的工艺例如喷墨印刷(inkjetprinting)工艺来形成所述由有机物构成的层。为了实现显示装置的精密图像，需要向基板上的精确位置吐出精确体积的油墨。5.利用喷墨印刷工艺来制造显示装置的装置可具备用于吐出油墨的喷嘴部，在喷嘴部内形成油墨的弯液面(meniscus)。若油墨的弯液面不良或形成于多个喷嘴部中的每一个喷嘴部的油墨的弯液面之间的偏差较大，则存在难以向精确位置吐出精确体积的油墨的问题。技术实现要素：6.本发明是为了解决包含如上所述问题在内的各种问题而提出的，其目的是提供一种显示装置的制造装置，所述显示装置的制造装置通过精确地测量喷嘴部内油墨的形状，并且将测量结果反映到显示装置的制造工艺来提高显示装置的制造品质及产率。但是，这种课题是示例性的，并不由此来限定本发明的范围。7.根据本发明的一方面，提供一种显示装置的制造装置，所述显示装置的制造装置包括：具备用于吐出油墨的喷嘴部的油墨吐出部；以及与所述油墨吐出部的第一面相隔配设的测量部，所述喷嘴部配设在所述油墨吐出部的所述第一面上，所述测量部通过沿第一方向扫描所述油墨吐出部的所述第一面来获得所述喷嘴部内的所述油墨的表面形状。8.根据本实施例的显示装置的制造装置，所述油墨吐出部可具备多个喷嘴部，所述多个喷嘴部在所述油墨吐出部的所述第一面上沿所述第一方向排列。9.根据本实施例，可进一步包括用于沿所述第一方向移送所述测量部的第一移动部。10.根据本实施例，可进一步包括用于沿与所述第一方向交叉的第二方向移送所述测量部的第二移动部。11.根据本实施例，所述测量部可以沿与所述第一方向交叉的第三方向朝所述油墨吐出部的所述第一面照射点波束(spotbeam)。12.根据本实施例，所述测量部可通过所述点波束获得所述油墨的二维轮廓，并且根据所述二维轮廓获得所述油墨的二维表面形状。13.根据本实施例，所述测量部可以沿与所述第一方向交叉的第三方向朝所述油墨吐出部的所述第一面照射线波束(linebeam)，所述线波束可以沿与所述第一方向及所述第三方向交叉的第二方向延伸。14.根据本实施例，所述测量部可通过所述线波束获得所述油墨的多个二维轮廓，并且根据所述多个二维轮廓获得所述油墨的三维表面形状。15.根据本实施例，所述测量部的扫描区域可包括配设有所述喷嘴部的区域及所述喷嘴部的周边区域。16.根据本实施例，可进一步包括控制部，所述控制部与所述测量部电连接，并且根据由所述测量部测量的所述油墨的所述表面形状来判断所述油墨的形状是否有异常。17.从以下的用于实施发明的具体实施方式、权利要求书及附图，将会明确除前述内容以外的其他方面、特征及优点。18.这种普遍而具体的方面可通过系统、方法、计算机程序、或者系统、方法、计算机程序的任何组合来实施。19.根据如上构成的本发明的一实施例，可通过精密地测量喷嘴部内油墨的形状，并且将测量结果反映到喷墨印刷工艺来提高油墨吐出的精确性及稳定性，并能提高工艺品质。由此，能够实现提高显示装置的制造品质及产率的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。当然，本发明的范围并不受到这种效果的限制。附图说明20.图1是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的立体图。21.图2是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视立体图。22.图3是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视图。23.图4是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的局部的剖视图。24.图5是示意地图示本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视立体图。25.图6是示意地图示本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视图。26.图7是示意地图示本发明的另一实施例的显示装置的制造装置所测量的油墨表面形状的立体图。27.图8是示意地图示本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视图。28.图9a及图9b分别是示意地图示本发明的实施例的显示装置的制造装置的局部的剖视图。29.图10是示意地图示根据本发明的一实施例制造出的显示装置的俯视图。30.图11是示意地图示根据本发明的一实施例制造出的显示装置的剖视图。31.附图标记说明[0032]1ꢀꢀꢀ显示装置的制造装置[0033]10ꢀꢀ支撑部[0034]20ꢀꢀ第一移动部[0035]30ꢀꢀ第二移动部[0036]40ꢀꢀ第三移动部[0037]50ꢀꢀ油墨吐出部[0038]60ꢀꢀ第四移动部[0039]70ꢀꢀ第五移动部[0040]80ꢀꢀ测量部[0041]90ꢀꢀ控制部[0042]npꢀꢀ喷嘴部[0043]ink油墨[0044]sbꢀꢀ点波束[0045]lbꢀꢀ线波束具体实施方式[0046]本发明可进行多种变更，可具有多种实施例，在附图中示意地图示特定实施例，并在详细说明中进行详细的说明。参照附图及详细后述的实施例，将会明确本发明的效果和特征以及实现这些效果和特征的方法。但本发明并不限于以下公开的实施例，而是可以以多种形态实现。[0047]下面，参照附图对本发明的实施例进行详细说明，当参照附图进行说明时，对相同或对应的结构要素使用相同的附图标记，并省略对该结构要素的重复说明。[0048]在以下实施例中，第一、第二等用语并不具有限定性的含义，而是出于将一个结构要素与其他结构要素区别的目的而使用。[0049]在以下实施例中，关于单数形式的表述，除非在上下文中明确地表示不同的含义，[0050]则该单数形式的表述包括复数形式的表述。[0051]在以下实施例中，“包括”或“具有”等用语表示说明书中记载的特征或结构要素的存在，并不是用来事先排除一个以上的其他特征或结构要素附加的可能性。[0052]在以下实施例中，当提到膜、区域、结构要素等部分位于另一部分的“上方”或“上”时，这不仅包括“直接”位于另一部分的上方的情况，还包括在其中间存在其他膜、区域、结构要素等的情况。[0053]在附图中为了方便说明，可夸大或缩小结构要素的大小。例如，为了方便说明，任意示出图中所示的各结构的大小及厚度，因此本发明并不必须限定于图示内容。[0054]在某个实施例可由不同的形式实现的情况下，特定的工艺顺序还可以与所说明的顺序不同的顺序实施。例如，连续说明的两个工序可以实质上同时执行，也可以以与所说明的顺序相反的顺序执行。[0055]在本说明书中，“a和/或b”表示a或b、或者a和b的情况。并且，“a及b中的至少一个”表示a或b、或者a和b的情况。[0056]在以下实施例中，当提到膜、区域、结构要素等相连时，还包括膜、区域、结构要素直接相连的情况、或者/和在膜、区域、结构要素的中间设有其他膜、区域、结构要素而间接相连的情况。例如，在本说明书中，当提到膜、区域、结构要素等电连接时，表示膜、区域、结构要素等直接电连接的情况、和/或在其中间设有其他膜、区域、结构要素等而间接电连接的情况。[0057]x轴、y轴及z轴并不限定于直角坐标系上的三个轴，可以用包括该三个轴的广义来解释。例如，x轴、y轴及z轴可彼此正交，但也可以指彼此不正交的不同的方向。[0058]图1是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的立体图。[0059]参照图1，显示装置的制造装置1可包括支撑部10、第一移动部20、第二移动部30、第三移动部40、油墨吐出部50、第四移动部60、第五移动部70、测量部80及控制部90。[0060]第一移动部20、第二移动部30、第三移动部40、油墨吐出部50、第四移动部60、第五移动部70、测量部80及控制部90可配设在支撑部10上。支撑部10可具有由第一方向dr1及与第一方向dr1交叉的第二方向dr2限定的平面。支撑部10可包括工作台11、第一导向部12和第二导向部13。[0061]工作台11配设在支撑部10上，可具有由第一方向dr1及第二方向dr2限定的平面。在工作台11上可放置显示基板ds，工作台11可包括用于对准显示基板ds的对准标记(未图示)。在此，显示基板ds可以是正在制造中的显示装置的局部，可以是油墨吐出部50吐出油墨的目标(target)。[0062]第一导向部12可配设在支撑部10上，并且隔着工作台11相隔配设在两侧。例如，可具备两个第一导向部12，该两个第一导向部12可沿第一方向dr1相隔配设。第一导向部12分别可以沿第二方向dr2延伸，各个第一导向部12的沿第二方向dr2的延伸长度可以至少长于显示基板ds的边长。此时，显示基板ds的所述边长为在第二方向dr2上测量的长度。[0063]第一导向部12可以引导(guiding)第一移动部20使之可沿第一导向部12的延伸方向进行线性运动。第一导向部12例如可包括直线运动轨道(linearmotionrail)。[0064]第二导向部13可配设在支撑部10上，并且配设在第一导向部12之间。例如，可具备两个第二导向部13，该两个第二导向部13可以沿第一方向dr1相隔。此时，为了使第二导向部13配设在第一导向部12之间，第二导向部13之间的相隔距离可以小于第一导向部12之间的相隔距离。第二导向部13可以沿第二方向dr2延伸，各个第二导向部13的沿第二方向dr2的延伸长度可以至少长于油墨吐出部50的边长。此时，油墨吐出部50的所述边长为在第二方向dr2上测量的长度。[0065]第二导向部13可以引导(guiding)第四移动部60使之可沿第二导向部13的延伸方向进行线性运动。第二导向部13例如可包括直线运动轨道(linearmotionrail)。[0066]第一移动部20可以沿第二方向dr2进行线性往复移动。第一移动部20可包括支柱部件20a及水平部件20b。在图1中示出支柱部件20a及水平部件20b具有长方体杆形状，但支柱部件20a及水平部件20b的形状并不限于此。[0067]第一移动部20的支柱部件20a可以沿与第一方向dr1及第二方向dr2分别交叉的第三方向dr3延伸。例如，可具备两个支柱部件20a，该两个支柱部件20a可以隔着工作台11配设在两侧。支柱部件20a分别可以沿第一导向部12的延伸方向即第二方向dr2移动。在一实施例中，支柱部件20a可进行手动线性运动，或者可具备电动机、气缸等而进行自动线性运动。例如，支柱部件20a可包括沿直线运动轨道移动的直线运动块(linearmotionblock)而进行自动线性运动。[0068]第一移动部20的水平部件20b可以在支柱部件20a之间沿第一方向dr1延伸。水平部件20b的两侧端部可连接到各个支柱部件20a的上部。水平部件20b可包括沿水平部件20b的延伸方向即第一方向dr1延伸的第一槽部21。第一槽部21可配设在水平部件20b的一侧面上。例如，第一槽部21可配设在第一移动部20的侧面中的向第二方向dr2的一侧面上。第一槽部21可以引导第二移动部30使之可沿第一槽部21的延伸方向进行线性往复运动。[0069]第二移动部30可以沿第一方向dr1进行线性移动。第二移动部30可连接到第一移动部20的水平部件20b的一侧面，例如可配设在第一移动部20的配设有第一槽部21的侧面上。第二移动部30连接到第一槽部21，可沿第一槽部21在第一方向dr1上进行线性往复移动。作为一实施例，第二移动部30可包括线性电动机等。[0070]第三移动部40可配设在第二移动部30的一侧面，并且可沿第三方向dr3进行线性往复移动。例如，第三移动部40可配设在第二移动部30的下表面。在此，第二移动部30的下表面可以是第二移动部30的向工作台11的表面。作为一实施例，第三移动部40可包括空压气缸等。[0071]油墨吐出部50可配设在第三移动部40的下表面。油墨吐出部50可以随着第一移动部20、第二移动部30及第三移动部40的移动而一同移动。即，油墨吐出部50可以沿第一至第三方向dr1、dr2、dr3移动。[0072]油墨吐出部50可向显示基板ds沿第三方向dr3吐出油墨ink的液滴。此时，油墨ink可以是与有机发光显示装置的发光层相应的高分子或低分子有机物。作为另一实施例，油墨ink可以是液晶(liquidcrystal)、取向液或在溶剂中混合有颜料颗粒的红色、绿色或蓝色液体。作为又一实施例，油墨ink可包括含有如量子点物质等那样的无机物颗粒的溶液。油墨吐出部50可包括喷嘴部(未图示)，可通过喷嘴部吐出油墨ink的液滴。喷嘴部可配设在油墨吐出部50的一面上，例如可配设在油墨吐出部50的下表面。[0073]第四移动部60可以沿第二方向dr2进行线性往复移动。在一实施例中，第四移动部60可进行手动线性运动，或者可具备电动机、气缸等而进行自动线性运动。例如，第四移动部60可包括沿直线运动轨道移动的直线运动块(linearmotionblock)而进行自动线性运动。[0074]第四移动部60可包括沿第一方向dr1延伸的第二槽部61。第二槽部61可配设在第四移动部60的上表面。第二槽部61可以引导(guiding)第五移动部70使之可沿第二槽部61的延伸方向进行线性往复运动。[0075]第五移动部70可以沿第一方向dr1进行线性往复移动。第五移动部70可连接到第四移动部60的上表面。第五移动部70可连接到第四移动部60的第二槽部61，并且可沿第二槽部61在第一方向dr1上进行线性移动。作为一实施例，第五移动部70可包括线性电动机等。[0076]测量部80可配设在第五移动部70上。测量部80可通过扫描配设有喷嘴部的油墨吐出部50的一面(例如，下表面)来测量该一面的表面形状。在此，表面形状可以是二维表面形状或三维表面形状。[0077]作为一实施例，测量部80可以是利用波束(beam)的非接触式位移传感器。波束可以是激光束(laserbeam)。测量部80可通过向目标发出波束并且接收从目标表面反射的波束来获得目标表面的位置信息。例如，目标表面的位置信息可包括关于测量部80与目标表面之间距离的信息。在此，目标表面可以是油墨吐出部50的下表面。测量部80可利用上述位置信息来获得油墨吐出部50的下表面的轮廓。进一步，测量部80可根据上述轮廓来获得油墨吐出部50的下表面的表面形状。与此相关的内容，将在后面参照图2至图7进行描述。[0078]作为选择性的实施例，在第五移动部70上可配设有摄像部cmr。摄像部cmr可以与测量部80一起由第四移动部60及第五移动部70沿第一方向dr1及第二方向dr2被移送。摄像部cmr可通过拍摄油墨吐出部50的下表面来获得视频图像。所述视频图像可在控制测量部80的位置时使用，使得从测量部80发出的波束可以照射到目标上所需位置而扫描所需区域。[0079]控制部90与第一移动部20、第二移动部30及第三移动部40电连接，可以控制第一至第三移动部20、30、40的位置及移动。此外，控制部90与第四移动部60及第五移动部70电连接，可以控制第四及第五移动部60、70的位置及移动。控制部90与油墨吐出部50电连接，可以控制油墨吐出部50的油墨吐出时间及油墨吐出量等。[0080]此外，控制部90与测量部80电连接，可以获得并分析与由测量部80测量的油墨吐出部50的下表面的表面形状相关的信息。控制部90可根据上述与表面形状相关的信息来判断位于油墨吐出部50的喷嘴部内的油墨ink的形状是否有异常。在此，油墨ink的形状可包括形态、位置、体积、大小等。若判断为油墨ink的形状有异常，则可以告知用户中止油墨吐出部50的油墨吐出，或者可以调节喷嘴部内油墨ink的量。由此，可在油墨吐出工艺中提高工艺品质，进而提高显示装置的制造品质及产率。[0081]此外，控制部90与摄像部cmr电连接，可以获得并分析由摄像部cmr拍摄到的油墨吐出部50的下表面的视频图像。控制部90可根据上述视频图像来控制第四及第五移动部60、70的移动，从而控制测量部80的位置，使得测量部80扫描油墨吐出部50的下表面的所需区域。[0082]图2是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视立体图，图3是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视图。[0083]在图2中，以油墨吐出部50及测量部80为中心一同图示其周围的结构要素，在图3中图示油墨吐出部50的第一面s1及喷嘴部np内的油墨ink。对与先前参照图1说明的结构要素相同或对应的结构要素使用相同的附图标记，并省略与此相关的重复说明。[0084]参照图2及图3，油墨吐出部50可具备用于吐出油墨ink的至少一个喷嘴部np。在各个喷嘴部np内可存在将向显示基板ds(参照图1)吐出的油墨ink。[0085]喷嘴部np可配设在油墨吐出部50的第一面s1上。油墨吐出部50的第一面s1可以是油墨吐出部50的向测量部80的表面，例如第一面s1可以是油墨吐出部50的下表面。可以理解油墨吐出部50的第一面s1包括喷嘴部np内的油墨ink的表面。[0086]作为一实施例，油墨吐出部50可具备在第一面s1上沿第一方向dr1排列的多个喷嘴部np。在图3中图示油墨吐出部50具备第一至第五喷嘴部np1、np2、np3、np4、np5，但本发明并不限于喷嘴部np的特定数量。[0087]测量部80可以与油墨吐出部50的第一面s1相隔配设。例如，测量部80可以沿第三方向dr3与油墨吐出部50的第一面s1相隔。测量部80可以沿第三方向dr3向油墨吐出部50的第一面s1照射波束(beam)。[0088]测量部80可以沿第一方向dr1扫描油墨吐出部50的第一面s1。即，第一方向dr1可被限定为扫描方向。为了在第一方向dr1上的扫描，油墨吐出部50或测量部80可沿第一方向dr1移动。如前所述，可通过第二移动部30(参照图1)沿第一方向dr1移送油墨吐出部50，可通过第五移动部70沿第一方向dr1移送测量部80。下面，为了方便说明，对通过第五移动部70沿第一方向dr1移送测量部80的情况进行说明。[0089]作为一实施例，为了扫描油墨吐出部50的第一面s1，测量部80可向油墨吐出部50的第一面s1沿第三方向dr3照射点波束(spotbeam)sb。点波束sb可以是点状的波束。点波束sb可在油墨吐出部50的第一面s1上反射，并且再向测量部80前进。测量部80可以接收所反射的点波束sb来获得油墨吐出部50的第一面s1的位置信息。作为一实施例，测量部80可包括点位移传感器，例如可包括激光位移传感器(laserdisplacementsensor)或共焦位移传感器(confocaldisplacementsensor)。[0090]作为一实施例，测量部80可通过沿第一方向dr1扫描油墨吐出部50的第一面s1来测量喷嘴部np内油墨ink的表面形状。具体而言，测量部80沿第一方向dr1移动，并且通过点波束sb获得第一面s1的位置信息，由此可以获得第一面s1的二维轮廓。在此，二维轮廓可以指在第一方向dr1上的沿第三方向dr3的位置信息。第一面s1的二维轮廓可包含油墨ink的二维轮廓，因此测量部80可根据上述油墨ink的二维轮廓来获得油墨ink的二维表面形状。[0091]具体而言，点波束sb可在第一面s1上沿扫描方向即第一方向dr1移动来形成点波束sb的扫描路径。扫描路径可以横穿喷嘴部np，并且可以与喷嘴部np内的油墨ink重叠。因此，由测量部80扫描油墨吐出部50的第一面s1来获得的第一面s1的位置信息可进一步包含喷嘴部np内的油墨ink的表面位置信息。其结果，测量部80可获得包含油墨ink的二维轮廓在内的第一面s1的二维轮廓，并且可根据上述油墨ink的二维轮廓来获得油墨ink的二维表面形状。[0092]作为选择性的实施例，可具备配设在第五移动部70上且配设在测量部80的一侧的摄像部cmr。例如，摄像部cmr和测量部80可以沿第一方向dr1排列。摄像部cmr可通过拍摄油墨吐出部50的第一面s1来获得视频图像。上述视频图像不仅可包含第一面s1上的喷嘴部np的位置，还可包含与点波束sb所照射到的位置相关的信息。因此，上述视频图像可以在以点波束sb的扫描路径横穿喷嘴部np的方式将测量部80和油墨吐出部50对准时使用。例如，上述视频图像被传送到控制部90(参照图1)，控制部90可以控制测量部80的位置，使得点波束sb的扫描路径与喷嘴部np内的油墨ink重叠。[0093]图4是示意地图示本发明的一实施例的显示装置的制造装置的局部的剖视图。在图4中图示具备喷嘴部np的油墨吐出部50和喷嘴部np内的油墨ink的剖面。[0094]参照图4，测量部80所测量的油墨吐出部50的第一面s1的二维表面形状ss可包含油墨ink的二维表面形状is。如参照图2及图3在前面所进行的描述，可根据通过点波束sb沿第一方向dr1扫描第一面s1来获得的第一面s1的二维轮廓，来获得第一面s1的二维表面形状ss。在图4中用粗线表示第一面s1的二维表面形状ss。[0095]在喷嘴部np的内部可填满油墨ink，喷嘴部np内的油墨ink可形成弯液面(meniscus)。在向毛细管内注入液体时，因毛细管现象而毛细管内的液体表面比自由表面高或低，形成凸出或凹陷的曲面，将该状态称为弯液面。喷嘴部np内的油墨ink的表面因油墨ink的凝集力及比重、油墨ink与喷嘴部np之间的亲和性以及喷嘴部np内的油墨ink与喷嘴部np外部之间的压力差等而形成凸出或凹陷的曲面。若油墨ink的弯液面不良或每个喷嘴部np的弯液面的偏差较大，则可能会降低油墨吐出部50的吐出精度。因此，可能会要求判断喷嘴部np内的油墨ink的形状是否有异常。[0096]根据本发明的一实施例，通过由测量部80获得的油墨ink的二维表面形状is，控制部90(参照图1)可以判断喷嘴部np内的油墨ink的形状是否有异常。控制部90基于上述判断结果，可以告知用户中止油墨吐出部50的油墨吐出，或者可以调节喷嘴部np内的油墨量。由此，可在油墨吐出工艺中提高工艺品质，进而提高显示装置的制造品质及产率。[0097]图5是示意地图示本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视立体图，图6是示意地图示本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视图。[0098]在图5中，以油墨吐出部50及测量部80为中心一同图示其周围的结构要素，在图6中图示油墨吐出部50的第一面s1及喷嘴部np内的油墨ink。省略与先前参照图2及图3说明的内容重复的内容，下面以不同点为主进行说明。[0099]参照图5及图6，测量部80为了扫描油墨吐出部50的第一面s1，可向油墨吐出部50的第一面s1沿第三方向dr3照射线波束(linebeam)lb。线波束lb可以是沿第二方向dr2延伸的线(line)状的波束。线波束lb的延伸长度可以至少大于喷嘴部np的直径。[0100]可通过聚集多个点波束sb来形成上述线波束lb。例如，可由几百个至几千个点波束sb聚集来形成一个线波束lb。虽然在图6中图示八个点波束sb排列成一列而形成一个线波束lb，但本发明并不限于这种点波束sb的数量及列数。[0101]从测量部80发出的线波束lb可在油墨吐出部50的第一面s1上反射，并且再向测量部80前进。测量部80可以接收所反射的线波束lb来获得油墨吐出部50的第一面s1的位置信息。[0102]测量部80可通过线波束lb沿第一方向dr1扫描油墨吐出部50的第一面s1。在此，可将沿第二方向dr2延伸的线波束lb沿第一方向扫描的区域限定为扫描区域sa。测量部80的扫描区域sa可包括油墨吐出部50的第一面s1的局部区域。例如，扫描区域sa可包括配设有喷嘴部np的区域及喷嘴部np的周边区域。由此，可以测量喷嘴部np内的油墨ink的表面形状及喷嘴部np的周围区域中的第一面s1的表面形状。与此相关的具体方法将在后面参照图7进行描述。[0103]作为一实施例，在测量部80扫描油墨吐出部50的第一面s1时，根据扫描位置，测量部80的移动速度可以不同。例如，在扫描配设有喷嘴部np的区域时，测量部80可以以第一速度移动，在扫描未配设喷嘴部np的区域时，测量部80可以以第二速度移动。在此，未配设喷嘴部np的区域例如可以是多个喷嘴部np之间的区域。第一速度和第二速度可以彼此不同。例如，第一速度可以小于第二速度。即，在扫描配设有喷嘴部np的区域时，测量部80可以用更慢的速度移动，从而更精密地测量喷嘴部np内油墨ink的表面形状。相反，在扫描未配设喷嘴部np的区域时，测量部80可以用更快的速度移动，从而缩短总体扫描时间。[0104]作为一实施例，测量部80可包括线性位移传感器，例如可包括共焦线性传感器(chromaticconfocallinesensor)、激光共焦位移传感器(laserconfocaldisplacementsensor)或二维激光位移传感器(2dlaserdisplacementsensor)。[0105]作为另一实施例，测量部80可包括共焦显微镜(confocalmicroscope)或干涉显微镜(interferometricmicroscope)。共焦显微镜为可以对目标获得多个二维图像，并且以此为基础重构目标三维结构的显微镜。共焦显微镜例如可以是色共焦显微镜(chromaticconfocalmicroscope)、色线共焦显微镜(chromaticlineconfocalmicroscope)、倒置共焦显微镜(invertedconfocalmicroscope)等。干涉显微镜(interferometricmicroscope)为通过观察对象物的微细结构凹凸的变化或相位的变化等来进行定量测量的显微镜。干涉显微镜例如可以是激光干涉显微镜(laserinterferometricmicroscope)、白光干涉显微镜(whitelightinterferometricmicroscope)等。[0106]图7是示意地图示本发明的另一实施例的显示装置的制造装置所测量的油墨表面形状的立体图。在图7中用虚线表示油墨吐出部、喷嘴部及油墨，并且用实线表示由测量部测量的第一面的三维表面形状ss'。[0107]参照图7，测量部80(参照图5)可通过线波束lb沿第一方向dr1扫描油墨吐出部50(参照图5)的第一面s1(参照图5)的同时，测量第一面s1的三维表面形状ss'，并且由此可以获得油墨ink(参照图5)的三维表面形状is'。[0108]具体而言，在由测量部80发出的线波束lb位于第一位置p1时，可以获得与第一位置p1上的线波束lb对应的第一面s1的位置信息。如前所述，由于线波束lb沿第二方向dr2延伸，因此上述第一面s1的位置信息可以是沿第二方向dr2的位置信息，并且由此可以获得第一面s1的第一轮廓。在此，轮廓为二维轮廓，可以指在第二方向dr2上的沿第三方向dr3的位置信息。[0109]接下来，随着测量部80沿第一方向dr1扫描第一面s1，线波束lb可以位于第二位置p2。测量部80可以获得与第二位置p2上的线波束lb对应的第一面s1的位置信息，并且由此可以获得第一面s1的第二轮廓。由于第二位置p2上的线波束lb与油墨ink重叠，因此上述第一面s1的第二轮廓可包含油墨ink的第一轮廓。[0110]同样，随着测量部80沿第一方向dr1扫描第一面s1，线波束lb可以位于第三位置p3。测量部80可以获得与第三位置p3上的线波束lb对应的第一面s1的位置信息，并且由此可以获得第一面s1的第三轮廓。由于第三位置p3上的线波束lb也与油墨ink重叠，因此上述第一面s1的第三轮廓可包含油墨ink的第二轮廓。[0111]如此，测量部80可通过线波束lb来获得第一面s1的多个二维轮廓，并且可通过合成及组合这些二维轮廓来获得第一面s1的三维表面形状ss'。第一面s1的三维表面形状ss'可包含油墨ink的三维表面形状is'。结果，测量部80可获得油墨ink的三维表面形状is'。[0112]根据本发明的一实施例，通过由测量部80获得的油墨ink的三维表面形状is'，控制部90(参照图1)可以判断喷嘴部np内的油墨ink的形状是否有异常。控制部90基于上述判断结果，可以告知用户中止油墨吐出部50的油墨吐出，或者可以调节喷嘴部np内的油墨ink的量。由此，可在油墨吐出工艺中提高工艺品质，进而提高显示装置的制造品质及产率。[0113]此外，第一面s1的三维表面形状ss'可进一步包含喷嘴部np的周围区域的表面形状。因此，可进一步判断喷嘴部np的周围区域是否因油墨ink或杂质等的附着而被污染。[0114]图8是示意地图示本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的局部的仰视图。对与先前参照图6说明的结构要素相同或对应的结构要素使用相同的附图标记，并省略与此相关的重复说明。[0115]参照图8，由测量部80的扫描方向和线波束lb的延伸方向所构成的角度θ可以大于0°且小于90°。在该情况下，构成线波束lb的点波束sb之间的垂直距离v可以减小。在此，垂直距离v是指与扫描方向(例如，图8的第一方向dr1)垂直的方向(例如，图8的第二方向dr2)上的点波束sb之间的距离。[0116]随着垂直距离v的减小，可以获得更精密的三维表面形状。线波束lb沿第一方向dr1扫描来获得的第一面s1的三维表面形状可理解为构成线波束lb的各个点波束sb沿第一方向dr1扫描来获得的第一面s1的二维表面形状之和。此时，若垂直距离v减小，则可以产生通过各个点波束sb获得的第一面s1的二维表面形状之间的间隔减小的效果。即，可以获得更紧凑的二维表面形状，并由此而可以获得精密的三维表面形状。[0117]图9a及图9b分别是示意地图示本发明的实施例的显示装置的制造装置的局部的剖视图。图9a及图9b图示第二喷嘴部np2内的油墨ink的形状不良的情况，并且图示第一喷嘴部np1及第三至第五喷嘴部np3、np4、np5内的油墨ink的形状良好的情况。[0118]参照图9a及图9b，可根据油墨ink的二维表面形状is来判断油墨ink的形状是否有异常。当然，也可以根据油墨ink的三维表面形状is'(参照图7)来判断，以下为了方便说明，以油墨ink的二维表面形状is的情况为中心进行说明。[0119]控制部90(参照图1)可以接收测量部80(参照图1)传递的第一面s1的二维表面形状ss，并且可以分析第一面s1的二维表面形状ss中的油墨ink的二维表面形状is。首先，控制部90可以对第一至第五喷嘴部np1、np2、np3、np4、np5内的油墨ink的表面形状is和预先规定的油墨ink的基准表面形状r进行比较。然后，若油墨ink的表面形状is与基准表面形状r之间的在第三方向dr3上的位置差大于设定值，则可判断为异常状态。[0120]例如，第一喷嘴部np1内的油墨ink的第一表面形状is1可能与基准表面形状r实质上一致，在该情况下，可判断为第一表面形状is1良好。相反，第二喷嘴部np2内的油墨ink的第二表面形状is2可能与基准表面形状r不同。具体而言，第二表面形状is2与基准表面形状r之间可能在第三方向dr3上存在位置差e。此时，若上述位置差e大于预先规定的设定值，则控制部90可判断为第二表面形状is2处于异常状态。[0121]如此，可根据油墨ink的二维表面形状is来判断油墨ink的形状是否有异常。控制部92基于上述判断结果，可以告知用户中止油墨吐出部50的油墨吐出，或者可以调节喷嘴部np内的油墨量。由此，可在油墨吐出工艺中提高工艺品质，进而提高显示装置的制造品质及产率。[0122]图10是示意地图示根据本发明的一实施例制造出的显示装置的俯视图。[0123]参照图10，根据本发明的一实施例制造出的显示装置dp可包括显示区域da及位于显示区域da的外侧的周边区域pa。显示装置dp可通过二维排列在显示区域da上的多个像素px的阵列来提供图像。[0124]周边区域pa为不提供图像的区域，可以整体上或局部地包围显示区域da。在周边区域pa上可配设有驱动器等，该驱动器用于向与各个像素px对应的像素电路提供电信号或电源。在周边区域pa上可配设有焊盘，该焊盘为可以与电子元件或印刷电路基板等电连接的区域。[0125]下面，虽然说明显示装置dp将有机发光二极管(organiclightemittingdiode，oled)作为发光元件(lightemittingelement)包括的情况，但本发明的显示装置dp并不限于此。作为另一实施例，显示装置dp可以是包括无机发光二极管的发光显示装置即无机发光显示装置(inorganiclightemittingdisplay)。无机发光二极管可包括pn二极管，该pn二极管含有以无机物半导体为基础的材料。若对pn结二极管施加正向电压，则该pn结二极管可被注入空穴和电子，并且通过将由该空穴和电子的再结合生成的能量转换成光能而发出规定颜色的光。前述的无机发光二极管可具有几微米至几百微米的宽度，在一些实施例中，无机发光二极管可称为微发光二极管(microled)。在又一实施例中，显示装置dp可以是量子点发光显示装置(quantumdotlightemittingdisplay)。[0126]另外，显示装置dp不仅可用作如移动电话(mobilephone)、智能手机(smartphone)、平板电脑(tabletpersonalcomputer)、移动通信终端、电子笔记本、电子书、便携式多媒体播放器(portablemultimediaplayer，pmp)、导航仪、超移动个人计算机(ultramobilepc，umpc)等那样的便携式电子设备的显示屏幕，还可用作电视机、笔记本电脑、监视器、广告板、物联网(internetofthings，iot)等的多种产品的显示屏幕。此外，一实施例的显示装置dp可在如智能手表(smartwatch)、手表手机(watchphone)、眼镜式显示器和头戴式显示器(headmounteddisplay，hmd)那样的可穿戴装置(wearabledevice)上使用。此外，一实施例的显示装置dp可用作汽车的仪表盘、配设在汽车的中控台(centerfascia)或前围板上的中央信息显示器(centerinformationdisplay，cid)、代替汽车侧镜的室内后视镜显示器(roommirrordisplay)以及作为汽车后座用娱乐装置而配设在前座后面的显示屏幕。[0127]图11是示意地图示根据本发明的一实施例制造出的显示装置的剖视图，可对应沿图10的xi-xi'线截取的显示装置的剖面。[0128]参照图11，显示装置dp可包括基板100、像素电路层pcl、显示要素层del及封装层300的层压结构。[0129]基板100可以是包括基底层和无机层的多层结构，所述基底层含有高分子树脂。例如，基板100可包括含有高分子树脂的基底层和无机绝缘层的阻挡层。例如，基板100可包括依次层压的第一基底层101、第一阻挡层102、第二基底层103及第二阻挡层104。第一基底层101和第二基底层103可包含聚酰亚胺(polyimide：pi)、聚醚砜(pes，polyethersulfone)、聚芳酯(polyarylate)、聚醚酰亚胺(pei，polyetherimide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen，polyethylenenaphthalate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet，polyethyleneterephthalate)、聚苯硫醚(polyphenylenesulfide：pps)、聚碳酸酯(pc)、三乙酸纤维素(tac)或/和乙酸丙酸纤维素(celluloseacetatepropionate：cap)等。第一阻挡层102和第二阻挡层104可包含如氧化硅、氮氧化硅和/或氮化硅那样的无机绝缘物，基板100可具有柔软特性。[0130]在基板100上配设有像素电路层pcl。在图11中图示像素电路层pcl包括薄膜晶体管tft、配设在薄膜晶体管tft的结构要素的下方和/或上方的缓冲层111、第一栅极绝缘层112、第二栅极绝缘层113、层间绝缘层114、第一平坦化绝缘层115及第二平坦化绝缘层116。[0131]缓冲层111可以减少或阻断杂质、湿气或外部空气从基板100的下部渗透，并且可在基板100上提供平坦面。缓冲层111可包含如氧化硅、氮氧化硅、氮化硅那样的无机绝缘物，可由包含前述物质的单层或多层结构形成。[0132]缓冲层111上的薄膜晶体管tft包括半导体层act，半导体层act可包含多晶硅。或者，半导体层act可包含非晶(amorphous)硅，或者可包含氧化物半导体，或者可包含有机半导体等。半导体层act可包括沟道区域c及在沟道区域c的两侧分别配设的漏极区域d和源极区域s。栅极电极ge可以与沟道区域c重叠。[0133]栅极电极ge可包含低电阻金属物质。栅极电极ge可包含含有钼(mo)、铝(al)、铜(cu)、钛(ti)等的导电物质，并且可形成为包含上述材料的多层或单层结构。[0134]半导体层act与栅极电极ge之间的第一栅极绝缘层112可包含如硅氧化物(sio2)、硅氮化物(sinx)、硅氮氧化物(sion)、铝氧化物(al2o3)、钛氧化物(tio2)、钽氧化物(ta2o5)、铪氧化物(hfo2)或锌氧化物(zno2)等那样的无机绝缘物。[0135]第二栅极绝缘层113可设置为覆盖上述栅极电极ge。与上述第一栅极绝缘层112类似地，第二栅极绝缘层113可包含如硅氧化物(sio2)、硅氮化物(sinx)、硅氮氧化物(sion)、铝氧化物(al2o3)、钛氧化物(tio2)、钽氧化物(ta2o5)、铪氧化物(hfo2)或锌氧化物(zno2)等那样的无机绝缘物。[0136]在第二栅极绝缘层113的上部可配设有储能电容器cst的上部电极cst2。上部电极cst2可以与其下方的栅极电极ge重叠。此时，隔着第二栅极绝缘层113重叠的栅极电极ge及上部电极cst2可形成储能电容器cst。即，栅极电极ge可以作为储能电容器cst的下部电极cst1发挥功能。[0137]如此，储能电容器cst可形成为与薄膜晶体管tft重叠。在一些实施例中，储能电容器cst还可以形成为与薄膜晶体管tft不重叠。[0138]上部电极cst2可包含铝(al)、铂(pt)、钯(pd)、银(ag)、镁(mg)、金(au)、镍(ni)、钕(nd)、铱(ir)、铬(cr)、钙(ca)、钼(mo)、钛(ti)、钨(w)和/或铜(cu)，并且可以是前述物质的单层或多层结构。[0139]层间绝缘层114可覆盖上部电极cst2。层间绝缘层114可包含硅氧化物(sio2)、硅氮化物(sinx)、硅氮氧化物(sion)、铝氧化物(al2o3)、钛氧化物(tio2)、钽氧化物(ta2o5)、铪氧化物(hfo2)或锌氧化物(zno2)等。层间绝缘层114可以是包含前述无机绝缘物的单层或多层结构。[0140]漏极电极de及源极电极se可分别位于层间绝缘层114上。漏极电极de及源极电极se可分别通过形成于其下部的绝缘层上的接触孔与漏极区域d及源极区域s连接。漏极电极de及源极电极se可包含导电性良好的材料。漏极电极de及源极电极se可包含含有钼(mo)、铝(al)、铜(cu)、钛(ti)等的导电物质，并且可形成为包含上述材料的多层或单层结构。作为一实施例，漏极电极de及源极电极se可具有ti/al/ti的多层结构。[0141]第一平坦化绝缘层115可覆盖漏极电极de及源极电极se。第一平坦化绝缘层115可包含有机绝缘物，该有机绝缘物诸如为如聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate，pmma)或聚苯乙烯(polystyrene，ps)那样的普通通用高分子、具有酚类基团的高分子衍生物、丙烯酸类高分子、酰亚胺类高分子、芳基醚类高分子、酰胺类高分子、氟类高分子、对二甲苯类高分子、乙烯醇类高分子及它们的混合物。[0142]第二平坦化绝缘层116可配设在第一平坦化绝缘层115上。第二平坦化绝缘层116可包含与第一平坦化绝缘层115相同的物质，可包含有机绝缘物，该有机绝缘物诸如为如聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate，pmma)或聚苯乙烯(polystyrene，ps)那样的普通通用高分子、具有酚类基团的高分子衍生物、丙烯酸类高分子、酰亚胺类高分子、芳基醚类高分子、酰胺类高分子、氟类高分子、对二甲苯类高分子、乙烯醇类高分子及它们的混合物。[0143]在前述结构的像素电路层pcl上可配设有显示要素层del，显示要素层del可包括作为显示要素(即，发光元件)的有机发光二极管oled，有机发光二极管oled可包括像素电极210、中间层220及公共电极230的层压结构。有机发光二极管oled例如可发出红色、绿色或蓝色的光，或者可发出红色、绿色、蓝色或白色的光。有机发光二极管oled可通过发光区域发出光，可将发光区域限定为像素px。[0144]有机发光二极管oled的像素电极210可通过形成于第二平坦化绝缘层116及第一平坦化绝缘层115上的接触孔和配设在第一平坦化绝缘层115上的接触金属cm来与薄膜晶体管tft电连接。[0145]像素电极210可包括如铟锡氧化物(ito；indiumtinoxide)、铟锌氧化物(izo；indiumzincoxide)、锌氧化物(zno；zincoxide)，铟氧化物(in2o3；indiumoxide)、铟镓氧化物(igo；indiumgalliumoxide)或铝锌氧化物(azo；aluminumzincoxide)那样的导电性氧化物。作为另一实施例，像素电极210可包括反射膜，该反射膜包含银(ag)、镁(mg)、铝(al)、铂(pt)、钯(pd)、金(au)、镍(ni)、钕(nd)、铱(ir)、铬(cr)或它们的化合物。作为另一实施例，像素电极210可进一步包括由ito、izo、zno或in2o3形成在前述反射膜的上方/下方的膜。[0146]在像素电极210上配设有像素限定膜117，该像素限定膜117具有供像素电极210的中央部露出的开口117op。像素限定膜117可包含有机绝缘物和/或无机绝缘物。开口117op可以限定由有机发光二极管oled发出的光的发光区域。例如，开口117op的大小/宽度可相当于发光区域的大小/宽度。因此，像素px的大小和/或宽度可以依赖于相应的像素限定膜117的开口117op的大小和/或宽度。[0147]中间层220可包括被形成为与像素电极210对应的发光层222。发光层222可包含发出规定颜色的光的高分子或低分子有机物。或者，发光层222可包含无机发光物质，或者可包含量子点。[0148]作为一实施例，中间层220可包括分别配设在发光层222的下方和上方的第一功能层221及第二功能层223。第一功能层221例如可包括空穴传输层(htl：holetransportlayer)，或者可包括空穴传输层及空穴注入层(hil：holeinjectionlayer)。第二功能层223为配设在发光层222上方的结构要素，可包括电子传输层(etl：electrontransportlayer)和/或电子注入层(eil：electroninjectionlayer)。第一功能层221和/或第二功能层223可以是与后述的公共电极230同样地形成为全面覆盖基板110的公共层。[0149]公共电极230可配设在像素电极210上并与像素电极210重叠。公共电极230可由功函数低的导电性物质形成。例如，公共电极230可包括含有银(ag)、镁(mg)、铝(al)、铂(pt)、钯(pd)、金(au)、镍(ni)、钕(nd)、铱(ir)、铬(cr)、锂(li)、钙(ca)或它们的合金等的(半)透明层。或者，公共电极230在包含前述物质的(半)透明层上可进一步包括如ito、izo、zno或in2o3那样的层。公共电极230可以以全面覆盖基板100的方式一体形成。[0150]封装层300可配设在显示要素层del上并覆盖显示要素层del。封装层300包括至少一个无机封装层及至少一个有机封装层，作为一实施例，在图11中图示封装层300包括依次层压的第一无机封装层310、有机封装层320及第二无机封装层330。[0151]第一无机封装层310及第二无机封装层330可包含铝氧化物、钛氧化物、钽氧化物、铪氧化物、锌氧化物、硅氧化物、硅氮化物及硅氮氧化物中的一种以上的无机物。有机封装层320可包含聚合物(polymer)系列的物质。聚合物系列的材料可包含丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酰亚胺及聚乙烯等。作为一实施例，有机封装层320可包含丙烯酸酯(acrylate)。可通过使单体固化或涂布聚合物来形成有机封装层320。有机封装层320可具有透明性。[0152]本发明参照在附图中图示的实施例进行了说明，但这只不过是本发明的示例，本发明所属
技术领域：
：的技术人员应能理解，基于上述实施例可进行多种变形以及获得其他等同的实施例。因此，本发明真正的技术保护范围应由所附的权利要求书的技术思想来确定。当前第1页12当前第1页12