技术特征：
1.一种静电夹具的操作方法，其特征在于，包含：施加电压于静电夹具的电极层，所述电极层包含第一电极、围绕所述第一电极的第二电极、围绕所述第二电极的第三电极、和围绕所述第三电极的第四电极，其中所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、所述第四电极为第一极化状态；切换所述第二电极和所述第三电极的电性变为与所述第一极化状态相反的第二极化状态；以及切换所述第一电极和所述第四电极的电性变为与所述第一极化状态相反的所述第二极化状态。2.根据权利要求1所述的静电夹具的操作方法，其特征在于，还包含：切换所述第二电极和所述第三电极的电性，使所述第二电极和所述第三电极的电性从所述第二极化状态变为所述第一极化状态；以及切换所述第一电极和所述第四电极的电性，使所述第一电极和所述第四电极的电性从所述第二极化状态变为所述第一极化状态。3.根据权利要求1所述的静电夹具的操作方法，其特征在于，在所述第一极化状态时，所述第一电极和所述第二电极为第一电性，并且所述第三电极和所述第四电极为与所述第一电性电性相反的第二电性。4.根据权利要求1所述的静电夹具的操作方法，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、和所述第四电极各者包含多个子电极，并且当所述施加电压于所述静电夹具的所述电极层时，所述子电极的电性设置为第一电性和第二电性交错排列，其中所述第一电性的电性与所述第二电性的电性相反。5.一种静电夹具的操作方法，其特征在于，包含：施加电压于静电夹具的电极层且提供第一吸附力；执行第一去极化处理，使所电极层的一部分电极去极化且所述静电夹具具有呈环状分布的第二吸附力；执行第一再极化处理，使所述电极层的所述部分电极再极化且具有与所述第一去极化处理之前相反的电性；执行第二去极化处理，使所述电极层的另一部分电极去极化且所述静电夹具具有呈环状分布的第三吸附力；以及执行第二再极化处理，使所述静电夹具的所述另一部分电极再极化且具有与所述第二去极化处理之前相反的电性。6.根据权利要求5所述的静电夹具的操作方法，其特征在于，所述电极层包含第一电极、围绕所述第一电极的第二电极、围绕所述第二电极的第三电极、和围绕所述第三电极的第四电极，其中所述部分电极为所述第二电极和所述第三电极，所述另一部分电极为所述第一电极和所述第四电极。7.根据权利要求6所述的静电夹具的操作方法，其特征在于，在所述施加电压于所述静电夹具的所述电极层且提供所述第一吸附力期间，所述第一电极和所述第二电极具有相同的电性，且所述第三电极和所述第四电极具有相同的电性。8.一种静电夹具，其特征在于，包含：电极层，包含：
第一电极；第二电极，围绕所述第一电极；第三电极，围绕所述第二电极；和第四电极，围绕所述第三电极，其中所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、和所述第四电极彼此电性隔离；以及电源控制模块，电性连接所述电极层，配置为使所述第二电极和所述第三电极同时切换电性、和使所述第一电极所述第四电极同时切换电性。9.根据权利要求8所述的静电夹具，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的面积的总和等于所述第三电极和所述第四电极的面积的总和。10.根据权利要求8所述的静电夹具，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、或所述第四电极包含彼此电性隔离的多个子电极。
技术总结
一种静电夹具的操作方法和静电夹具，静电夹具的操作方法包含：施加电压于静电夹具的电极层，电极层包含：第一电极、围绕第一电极的第二电极、围绕第二电极的第三电极、和围绕第三电极的第四电极，其中第一电极、第二电极、第三电极、和第四电极为第一极化状态；切换第二电极和第三电极的电性变为与第一极化状态相反的第二极化状态；以及切换第一电极和第四电极的电性变为与第一极化状态相反的第二极化状态。态。态。
技术研发人员：廖啟宏 施柏铭
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2021.03.08
技术公布日：2022/9/13