一种OLED的IMITO结构及OLED消影镀膜方法与流程

文档序号:25727977发布日期:2021-07-02 21:14阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种oled的imito结构,其特征在于:包括玻璃基板(1)、消影层(2)和导电层(3),所述消影层(2)设置在导电层(3)与玻璃基板(1)之间,消影层(2)设置在玻璃基板(1)上,导电层(3)设置在消影层(2)上。

2.如权利要求1所述的一种oled的imito结构,其特征在于:所述消影层(2)包括tio2膜层(21)和sio2膜层(22),tio2膜层(21)设置在玻璃基板(1)上,sio2膜层(22)设置在tio2膜层(21)上,导电层(3)设置在sio2膜层(22)上。

3.如权利要求2所述的一种oled的imito结构,其特征在于:所述导电层(3)为透明导电层,导电层(3)包括ito膜层,ito膜层设置在sio2膜层(22)上。

4.如权利要求2或3所述的一种oled的imito结构,其特征在于:所述tio2膜层(21)采用的tio2材料的折射率为2.0-2.6,sio2膜层(22)采用的sio2材料的折射率为1.4-1.6。

5.如权利要求3所述的一种oled的imito结构,其特征在于:所述ito膜层采用的ito材料的折射率为1.8-2.2。

6.一种oled消影镀膜方法,其特征在于:包括原材料清洗、tio2镀膜、sio2镀膜、ito镀膜、膜层抛光、清洗检验和包装出货,玻璃基板(1)在运输辊道上依次经过原材料清洗、tio2镀膜、sio2镀膜、ito镀膜、膜层抛光、清洗检验和包装出货工序。

7.如权利要求6所述的一种oled消影镀膜方法,其特征在于:所述原材料清洗的具体操作为:通过镀膜清洗机清洗玻璃基板(1),玻璃基板(1)在运输辊道上运行,在清洗段设有毛刷、高压喷淋和风刀,高压喷淋位于玻璃基板(1)的上方和/或下方,毛刷和风刀与玻璃基板(1)的表面接触,且毛刷和风刀能自行旋转,使用碱水和纯水对玻璃基板(1)进行清洗;所述镀膜清洗机速度为4±2m/min,碱水的ph值为11±1,毛刷转速为300±50r/min,喷淋压力为35±5psi,风刀压力为5±2kpa。

8.如权利要求7所述的一种oled消影镀膜方法,其特征在于:所述tio2镀膜、sio2镀膜和ito镀膜具体操作为:采用磁控溅射镀膜,在真空条件下实现等离子体放电,利用电磁场控制带电粒子的运动,轰击被镀材料,从而在基片上沉积所需要的薄膜,镀膜靶材选用旋转ti靶、旋转si靶、旋转ito靶,靶位配置为三对旋转ti靶、三对旋转si靶、四支旋转ito靶来进行im+ito连续镀膜。

9.如权利要求8所述的一种oled消影镀膜方法,其特征在于:所述tio2镀膜、sio2镀膜和ito镀膜的镀膜过程中真空度控制在1pa以下,温度控制在300±50℃,并在ti、si、ito靶位通入250±50sccm的溅射气体ar和在ti、si靶位通入150±50sccm的反应气体o2,形成折射率为2.0-2.6的tio2膜层,折射率为1.4-1.6的sio2膜层(22),折射率为1.8-2.2的ito膜层。

10.如权利要求9所述的一种oled消影镀膜方法,其特征在于:所述膜层抛光时间控制在25±5s,抛光时用的下抛光垫的硬度为45ha。


技术总结
本发明公开了一种OLED的IMITO结构,包括玻璃基板、消影层和导电层,所述消影层设置在导电层与玻璃基板之间,消影层设置在玻璃基板上,导电层设置在消影层上。消影层包括TiO2膜层和SiO2膜层,TiO2膜层设置在玻璃基板上,SiO2膜层设置在TiO2膜层上,导电层设置在SiO2膜层上。本发明通过在ITO膜层下镀TiO2、SiO2材料达到消影的目的,即通过消影(IMITO)技术提升OELD的显影和视觉效果。本发明还公开了一种OLED消影镀膜方法,包括原材料清洗、TiO2镀膜、SiO2镀膜、ITO镀膜、膜层抛光、清洗检验和包装出货,玻璃基板在运输辊道上依次经过原材料清洗、TiO2镀膜、SiO2镀膜、ITO镀膜、膜层抛光、清洗检验和包装出货工序。

技术研发人员:秦家春;郑建军;何晏兵;许沭华;吕如军;朱常青
受保护的技术使用者:芜湖长信科技股份有限公司
技术研发日:2021.03.19
技术公布日:2021.07.02
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