1.一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
s1、以醋酸锌zn(chcoo)2作为锌源，氟化铵nh4f作为掺杂的氟源，硝酸铝al(no3)3作为掺杂的铝源，氯化镓gacl3分别作为掺杂的氯源和掺杂的镓源，以水和无水乙醇混合之后作为溶剂，将醋酸锌配制成锌源溶液，氟源配制氟源溶液，铝源配制成铝源溶液，镓源和氯源也分别配制成镓源溶液和氯源溶液；
s2、将s1中制备的锌源溶液和氟源溶液、铝源溶液以及镓源溶液按照一定的质量比例混合，混合后再加入冰乙酸，制成混合溶液；
s3、用蠕动泵将s2中制备的混合溶液以推进到超声雾化喷头；
s4、用高压载气把经过超声雾化喷头后的混合溶液输送至清洁的衬底表面，完成zno透明导电薄膜的制备。
2.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s1中，水和无水乙醇的混合体积比例为0：1～5：1的体积混合比；
配制的锌源溶液浓度小于92g/l，配制成的氟源溶液浓度小于0.37g/l，配制成的铝源浓度小于2.13g/l，配制成的镓源溶液和氯源溶液浓度小于0.18g/l。
3.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s2中，锌源溶液和氟源溶液、铝源溶液以及镓源溶液按照zn：f：al：ga＝100％：0～0.55％：0.58％：0.96％的质量比例混合。
4.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s2中，锌源溶液和氟源溶液、铝源溶液以及镓源溶液按照zn：f：al：ga＝100％：0.20％：0～0.29％：0.96％的质量比例混合。
5.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s2中，锌源溶液和氟源溶液、铝源溶液以及镓源溶液按照zn：f：al：ga＝100％：0.20％：0.58％：0～1.69％的质量比例混合。
6.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s2中，锌源溶液和氟源溶液、铝源溶液以及镓源溶液按照比例混合后加入体积比为0～30％的冰乙酸。
7.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s3中，所述蠕动泵推进混合溶液的速度为1～10ml/min，超声雾化喷头的功率为0.1～4w。
8.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s4中，高压载气为高压空气、高压氮气或者高压氩气，且高压载气的压力低于0.3mpa。
9.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s4中，所述衬底为玻璃、蓝宝石或石英。
10.根据权利要求1所述的一种低成本zno透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在s4中，在制备时对所述衬底进行加热处理，且加热温度为350-550℃。