一种仓夹偏差式夹紧装置及其使用方法与流程

本发明涉及半导体芯片技术领域，尤其是指一种仓夹偏差式夹紧装置及其使用方法。

背景技术：

半导体芯片在加工和生产过程中的搬运，一般使用统一制式的仓夹，该仓夹为多层、开放式设计，两侧内壁上为卡槽式设计，上方为完整壁并设计有把手，下方也为完整壁并连接左右侧板，前后方向有单独可上下插取式门板设计；半导体芯片一般在仓夹前门板取下后，从此方向沿侧内壁两边卡槽插入仓夹内，当仓夹内卡槽数量达到工作数量时，安装前门板，并使用仓夹上把手将产品流入下一工序。

目前在半导体行业内，在进行半导体芯片在转运到下一工序加工时，一般依次使用单个仓夹安装，或依次将数个仓夹分别锁紧在工作位上进行使用，或一次夹紧数个仓夹使用的，上述使用方式一般都需要选择仓夹尺寸一致的仓夹，但由于加工精度与各个仓夹尺寸存在差异，存在夹紧后仓夹松紧不一致的问题，影响下一道工序的进行。

技术实现要素：

为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中由于加工精度与各个仓夹尺寸存在差异，存在夹紧后仓夹松紧不一致的问题，影响下一道工序的进行的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种仓夹偏差式夹紧装置，包括工作台，所述工作台上设有：沿工作台直线布置的多组用于夹紧仓夹的夹紧单元，所述夹紧单元包括仓夹固定基板、仓夹固定活动板、直线连接机构；所述仓夹固定基板固定于工作台，所述仓夹固定活动板限位移动地设于工作台；所述直线连接机构连接相邻两个仓夹固定活动板并穿过相邻两个仓夹固定活动板之间的仓夹固定基板，所述相邻两个仓夹固定活动板中的一个固定于直线连接机构一端，另一个可滑动地连接于直线连接机构另一端；调节机构，所述调节机构用于调节多组夹紧单元中位于首个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板之间的距离；通过调节机构调节首个的夹紧单元中的仓夹固定基板、仓夹固定活动板之间的距离，带动其余夹紧单元中的仓夹固定活动板移动，从而调整各个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的夹紧距离来进行夹紧或松开仓夹。

在本发明的一个实施例中，所述直线连接机构包括连接轴、第一固定螺丝、第二固定螺丝、弹簧，在相邻的两个仓夹固定活动板中，所述第一连接轴端通过第一固定螺丝固定于其中一个仓夹固定活动板上，所述连接轴另一端过通过第二固定螺丝、套设于所述第二固定螺丝上的弹簧连接于另一个仓夹固定活动板。

在本发明的一个实施例中，各个夹紧单元中的仓夹固定基板上设有安装座，所述安装座上安装有用于支撑连接轴的导套。

在本发明的一个实施例中，各个夹紧单元中的仓夹固定基板顶部设有用于锁付于工作台的锁紧孔。

在本发明的一个实施例中，所述弹簧通过第二固定螺丝拧紧受力并留有预设的压缩余量。

在本发明的一个实施例中，所述调节机构包括：调节把手、丝杆、调节支座，所述调节支座设于位于首个夹紧单元中仓夹固定基板，所述丝杆穿过调节支座且丝杆一端连接于调节把手，丝杆的另一端连接于位于首个夹紧单元中仓夹固定活动板。

在本发明的一个实施例中，各个夹紧单元中的仓夹固定基板、仓夹固定活动板均设有用于仓夹夹紧的卡槽。

在本发明的一个实施例中，所述工作台上等间距地设有用于仓夹固定活动板限位的凹槽。

在本发明的一个实施例中，所述首个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离大于其后个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离，且多组夹紧单元仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离依次呈等差分布。

本发明还提供所述仓夹偏差式夹紧装置的使用方法，包括：

步骤一：将n(n＝1,2,3…)个夹紧单元中的仓夹固定基板依次分别按固定间距锁在工作平台上；

步骤二：将n个夹紧单元中的仓夹固定活动板通过连接轴连接，第一连接轴端与相邻两个仓夹固定活动板中的一个通过第一固定螺丝锁在一起，连接轴另一端与相邻两个仓夹固定活动板中的一个通过第二螺丝固定，且在第二螺丝固定方向加装弹簧，使弹簧受力留有压缩余量时固定第二螺丝，连接轴通过导套被支撑起来；

步骤三：控制首个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离大于其后个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离，其距离差值x；各个夹紧单元中的连接轴尺寸一致，并使得在后的夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离都比在后的夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离大x；

步骤四：将调节支座连接在首个夹紧单元中仓夹固定基板，将丝杆连接在调节支座和首个夹紧单元中仓夹固定活动板，将调节把手连接于丝杆；

步骤五：调节调节把手将首个夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离调节为a+n*x，a±b为仓夹宽度，b＜x，其后夹紧单元中仓夹固定基板、仓夹固定活动板的距离依次为a+(n-1)*x、a+(n-2)*x、a+(n-3)*x、…a+x；

步骤六：将n个仓夹分别放在夹紧单元上，通过调节把手带动各个夹紧单元中的仓夹固定活动板移动，实现仓夹的夹紧或松开。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本发明所述的一种仓夹偏差式夹紧装置及其使用方法，能避免由于加工精度与各个仓夹尺寸存在的差异产生对仓夹夹紧不一致的问题，通过多个夹紧单元对多个仓夹进行夹紧，操作简单且方便可靠。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1是本发明仓夹偏差式夹紧装置示意图。

图2是本发明实施例2中仓夹偏差式夹紧装置使用示意图。

说明书附图标记说明：1、工作台；2、夹紧单元；21、仓夹固定基板；22、仓夹固定活动板；3、直线连接机构；31、连接轴；32、第一固定螺丝；33、第二固定螺丝；34、弹簧；211、安装座；212、导套；213、锁紧孔；4、调节机构；41、调节把手；42、丝杆；43、调节支座；5、卡槽；

61、第一仓夹固定基板；62、第二仓夹固定基板；63、第三仓夹固定基板；64、第四仓夹固定基板；65、第五仓夹固定基板；71、第一仓夹固定活动板；72、第二仓夹固定活动板；73、第三仓夹固定活动板；74、第四仓夹固定活动板；75、第五仓夹固定活动板；81、第一连接轴；82、第二连接轴；83、第三连接轴；84、第四连接轴；91、仓夹一；92、仓夹二；93、仓夹三；94、仓夹四；95、仓夹五。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

实施例1

如图1所示，本实施例提供一种仓夹偏差式夹紧装置，包括工作台1，所述工作台1上设有：沿工作台1直线布置的多组用于夹紧仓夹的夹紧单元2，所述夹紧单元2包括仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22、直线连接机构3；所述仓夹固定基板21固定于工作台1，所述仓夹固定活动板22限位移动地设于工作台1；所述直线连接机构3连接相邻两个仓夹固定活动板22并穿过相邻两个仓夹固定活动板22之间的仓夹固定基板21，所述相邻两个仓夹固定活动板22中的一个固定于直线连接机构3一端，另一个可滑动地连接于直线连接机构3另一端；以及调节机构4，所述调节机构4用于调节多组夹紧单元2中位于首个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22之间的距离；通过调节机构4调节首个的夹紧单元2中的仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22之间的距离，带动其余仓夹固定活动板22移动，从而调整各个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的夹紧距离来夹紧或松开仓夹。通过上述设置，本发明能避免由于加工精度与各个仓夹尺寸存在的差异产生对仓夹夹紧不一致的问题，通过多个夹紧单元2对多个仓夹进行夹紧，操作简单且方便可靠。

具体地，所述直线连接机构3包括连接轴31、第一固定螺丝32、第二固定螺丝33、弹簧34，在相邻的两个仓夹固定活动板22中，所述第一连接轴31端通过第一固定螺丝32固定于其中一个仓夹固定活动板22上，所述连接轴31另一端过通过第二固定螺丝33、套设于所述第二固定螺丝33上的弹簧34连接于另一个仓夹固定活动板22。所述弹簧34受力并留有预设的压缩余量。通过上述结构设置，使得弹簧34压缩时产生弹性力作为仓夹固定活动板22移动补偿的余量，能保证各个仓夹固定活动板22之间的柔性连接。

具体地，所述仓夹固定基板21上设有安装座211，所述安装座211上安装有用于支撑连接轴31的导套212，方便连接轴31与仓夹固定基板21之间的安装与拆卸。

具体地，所述仓夹固定基板21顶部设有用于锁付于工作台1的锁紧孔213，方便仓夹固定基板21与工作台1之间的安装与拆卸。

具体地，所述调节机构4包括：调节把手41、丝杆42、调节支座43，所述调节支座43设于位于首个夹紧单元2中仓夹固定基板21，所述丝杆42穿过调节支座43且丝杆42一端连接于调节把手41，丝杆42的另一端连接于位于首个夹紧单元2中仓夹固定活动板22。通过转动调节把手41转动丝杆42，能时首个夹紧单元2中仓夹固定活动板22进行微调移动，从而调节首个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离。

具体地，所述仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22均设有用于仓夹夹紧的卡槽5，通过卡槽5能对仓夹进行夹紧。

具体地，所述工作台1上等间距地设有用于仓夹固定活动板22限位的凹槽。凹槽能对仓夹固定活动板22进行移动限位，且无需设置其余限位结构。

具体地，所述首个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离大于其后个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离，且多组夹紧单元2仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离依次呈等差分布。通过上述设置，在转动调节把手41使得仓夹固定活动板22往增大或减小夹紧距离方向调节时，能使得位于最后位置的夹紧单元2最先夹紧或松开，再依次使得往前排布置的夹紧单元2夹紧或松开。

此外，本实施例还提供一种上述仓夹偏差式夹紧装置的使用方法，包括：

步骤一：将n(n＝1,2,3…)个夹紧单元2中的仓夹固定基板21依次分别按固定间距锁在工作平台上；

步骤二：将n个夹紧单元2中的仓夹固定活动板22通过连接轴31连接，第一连接轴31端与相邻两个仓夹固定活动板22中的一个通过第一固定螺丝32锁在一起，连接轴31另一端与相邻两个仓夹固定活动板22中的一个通过第二固定螺丝33固定，且在第二固定螺丝33固定方向加装弹簧34，使弹簧34受力留有压缩余量时固定第二固定螺丝33，连接轴31通过导套212被支撑起来；

步骤三：控制首个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离大于其后个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离，其距离差值x；各个夹紧单元2中的连接轴31尺寸一致，并使得在后的夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离都比在后的夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离大x，其中设计仓夹误差最大为t(mm)，弹簧的压缩余量为y(mm)，有t(mm)＜x(mm)、t(mm)＜y(mm)；

步骤四：将调节支座43连接在首个夹紧单元2中仓夹固定基板21，将丝杆42连接在调节支座43和首个夹紧单元2中仓夹固定活动板22，将调节把手41连接于丝杆42；

步骤五：调节调节把手41将首个夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离调节为a+n*x，a±b为仓夹宽度，b＜x，其后夹紧单元2中仓夹固定基板21、仓夹固定活动板22的距离依次为a+(n-1)*x、a+(n-2)*x、a+(n-3)*x、…a+x；

步骤六：将n个仓夹分别放在夹紧单元2上，通过调节把手41带动各个夹紧单元2中的仓夹固定活动板22移动，实现仓夹的夹紧或松开。

实施例2

参照图2所示，本实施例以五个夹紧单元为例，进行装置的使用说明。

具体过程如下：

s1：在固定的工作平台上，然后将第一仓夹固定基板61、第二仓夹固定基板62、第三仓夹固定基板63、第四仓夹固定基板64、第五仓夹固定基板65依次分别按固定间距锁付在工作平台上。

s2：固定第一仓夹固定活动板71和第二仓夹固定活动板72通过第一连接轴81连接，第一连接轴81一端与第二仓夹固定活动板72螺丝锁在一起，第一连接轴81另一端与第一仓夹固定活动板71用螺丝固定，且在螺丝固定方向加装弹簧，使其受力留有压缩余量时固定螺丝，其中第一连接轴81通过第二仓夹固定基板62上固定的导套被支撑起来。

s3：控制第一连接轴81尺寸保证第一仓夹固定基板61与第一仓夹固定活动板71的间距大于第二仓夹固定基板62和第二仓夹固定活动板72之间的尺寸差为x(mm)；且第一连接轴81、第二连接轴82、第三连接轴83、第四连接轴84尺寸一致；实际安装后左侧仓夹开口都会比右侧仓夹开口大x(mm)。

s4：固定第三仓夹固定活动板73用第二连接轴82与第二仓夹固定活动板72连接在一起，第二连接轴82一端与第三仓夹固定活动板73螺丝锁在一起，第二连接轴82另一端与第二仓夹固定活动板72用螺丝固定，且在螺丝固定方向加装弹簧，使其受力留有压缩余量时固定螺丝，其中第二连接轴82通过第三仓夹固定基板63上固定的导套被支撑起来。

s5：固定第四仓夹固定活动板74用第三连接轴83与第三仓夹固定活动板73连接在一起，第三连接轴83一端与第四仓夹固定活动板74螺丝锁在一起，第三连接轴83另一端与第三仓夹固定活动板73用螺丝固定，且在螺丝固定方向加装弹簧，使其受力留有压缩余量时固定螺丝，其中第三连接轴83通过第四仓夹固定基板64上固定的导套被支撑起来；

s6：固定第五仓夹固定活动板75用第四连接轴84与第四仓夹固定活动板74连接在一起，第四连接轴84一端与第五仓夹固定活动板75螺丝锁在一起，第四连接轴84另一端与第四仓夹固定活动板74用螺丝固定，且在螺丝固定方向加装弹簧，使其受力留有压缩余量时固定螺丝，其中第四连接轴84通过第五仓夹固定基板65上固定的导套被支撑起来。

s7：将调节支座固定在第一仓夹固定基板61，将丝杆固定在调节支座和第一仓夹固定活动板71上，将调节把手固定于丝杆。

s8：通过调节把手将第一仓夹固定基板61和第一仓夹固定活动板71的间距调节为a+5x(mm)，则其余第二仓夹固定基板62和第二仓夹固定活动板72间距则为a+4x(mm)，第三仓夹固定基板63和第三仓夹固定活动板73间距则为a+3x(mm)，第四仓夹固定基板64和第四仓夹固定活动板74间距则为a+2x(mm)，第五仓夹固定基板65和第五仓夹固定活动板75间距则为a+x(mm)；将宽度为a±0.5x(mm)的仓夹一91、仓夹二92、仓夹三93、仓夹四94、仓夹五95分别放在第一仓夹固定基板61和第一仓夹固定活动板71，第二仓夹固定基板62和第二仓夹固定活动板72，第三仓夹固定基板63和第三仓夹固定活动板73，第四仓夹固定基板64和第四仓夹固定活动板74，第五仓夹固定基板65和第五仓夹固定活动板75上。

s9：往减小间隙的方向拧调节把手带动第一仓夹固定活动板71、第二仓夹固定活动板72、第三仓夹固定活动板73、第四仓夹固定活动板74、第五仓夹固定活动板75移动夹紧，夹紧过程中由于第五仓夹固定基板65和第五仓夹固定活动板75间距则为a+x(mm)内空最小，最先夹紧仓夹五95，夹紧仓夹四94还需要第四仓夹固定活动板74再移动x(mm)，而此时第五仓夹固定活动板75已无法移动，此时由第四连接轴84与第四仓夹固定活动板74固定处的弹簧压缩x(mm)，使仓夹四94夹紧；此时夹紧仓夹三93还需要第三仓夹固定活动板73再移动x(mm)，而此时第四仓夹固定活动板74已无法移动，此时由第三连接轴83与第三仓夹固定活动板73固定处的弹簧压缩x(mm)，使仓夹三93夹紧；此时夹紧仓夹二92还需要(6)第二仓夹固定活动板72再移动x(mm)，而此时第三仓夹固定活动板73已无法移动，此时由第二连接轴82与第二仓夹固定活动板72固定处的弹簧压缩x(mm)，使(21)仓夹二92夹紧；此时夹紧仓夹一91还需要第一仓夹固定活动板71再移动x(mm)，而此时第二仓夹固定活动板72已无法移动，此时由第一连接轴81与第一仓夹固定活动板71固定处的弹簧压缩x(mm)，使仓夹一91夹紧；

松开则往增大间隙的方向拧微调把手带动第一仓夹固定活动板71、第二仓夹固定活动板72、第三仓夹固定活动板73、第四仓夹固定活动板74、第五仓夹固定活动板75移动松开仓夹一91、仓夹二92、仓夹三93、仓夹四94、仓夹五95；其中第一仓夹固定活动板71与第一仓夹固定基板61最先大于a±0.5x(mm)，仓夹一91最先松开，然后弹簧恢复，其次第二仓夹固定活动板72移动大于a±0.5x(mm)仓夹二92被松开，然后弹簧恢复，其次第三仓夹固定活动板73移动大于a±0.5x(mm)仓夹三93被松开，然后弹簧恢复，其次第四仓夹固定活动板74移动大于a±0.5x(mm)仓夹四94被松开，然后弹簧恢复，其次第五仓夹固定活动板75移动大于a±0.5x(mm)，仓夹五95被松开，然后弹簧恢复，最后个内空空间会恢复到放置仓夹一91、仓夹二92、仓夹三93、仓夹四94、仓夹五95的尺寸，现在可以执行拿去或放置动作，依次往复操作。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。