技术特征：
1.一种基于孔径耦合石墨烯谐振器的太赫兹通带可开关频率选择表面，其特征在于，包括：由内而外对称设置于金属结构层两侧的介质层和金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列层；所述的金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列层为若干采用金属
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石墨烯混合结构加工工艺得到的基本单元排列组成，具体为末端加载石墨烯矩形片的金属
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石墨烯混合十字形结构；所述的金属结构层上周期性设置圆孔组，该圆孔组包括四个圆孔且圆孔的位置与金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列层中石墨烯矩形片的位置对应，当电磁波进入一侧金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列层后激发电磁谐振，电场分布在沿着极化方向的金属
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石墨烯混合十字形结构谐振器的两端，十字形谐振器通过末端的石墨烯片产生耦合，电磁波透过中间层结构上的圆形孔径、上层和介质层到达另一侧金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列层，十字形谐振器辐射出电磁波。2.根据权利要求1所述的基于孔径耦合石墨烯谐振器的太赫兹通带可开关频率选择表面，其特征是，所述的基本单元具体为末端加载石墨烯矩形片的金属
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石墨烯混合十字形结构，包括：金属图案以及石墨烯图案。3.根据权利要求2所述的基于孔径耦合石墨烯谐振器的太赫兹通带可开关频率选择表面，其特征是，所述的金属图案为十字形结构，金属十字的长度为90μm，宽度为10μm；所述的石墨烯矩形片分别位于金属图案的四个末端，石墨烯矩形片长为20μm，宽为5μm。4.根据权利要求1所述的基于孔径耦合石墨烯谐振器的太赫兹通带可开关频率选择表面，其特征是，所述的介质层为低介电常数低损耗的介质薄膜，其材质为苯并环丁烯，相对介电常数为2.65，厚度为10μm。5.根据权利要求1所述的基于孔径耦合石墨烯谐振器的太赫兹通带可开关频率选择表面，其特征是，所述的圆孔组的间隔为140μm，圆孔的直径为13μm。6.根据权利要求1～5中任一所述的基于孔径耦合石墨烯谐振器的太赫兹通带可开关频率选择表面，其特征是，所述的基于孔径耦合石墨烯谐振器的通带可开关频率选择表面，通过金属
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石墨烯混合结构加工工艺实现，包括以下步骤：步骤1、在作为临时载片的基片上旋涂临时键合胶并烘烤得到均匀涂层；步骤2、在带有涂层上表面完成底层金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列中金属图案的加工；步骤3、旋涂填充介质并烘烤，抛光打磨至露出金属图案表面；步骤4、转移整层石墨烯，并完成底层金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列中石墨烯图案的加工；步骤5、旋涂介质层薄膜并烘烤，从而得到介质层；步骤6、在介质层上表面制备均匀的金属，并完成中间金属结构的图形化；步骤7、旋涂介质层薄膜并烘烤，从而得到介质层；步骤8、在介质层上表面完成顶层金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列中金属图案的加工；步骤9、旋涂填充介质并烘烤，抛光打磨至露出金属图案表面；
步骤10、转移整层石墨烯，并完成顶层金属
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石墨烯混合结构谐振器阵列中石墨烯图案的加工；步骤11、旋涂介质薄膜并烘烤，作为石墨烯图案保护层；对临时键合胶进行解键合，将制备的频率选择表面从临时载片上取下。
技术总结
一种基于石墨烯的通带可开关频率选择表面及其实现方法，包括：由内而外对称设置于金属结构层两侧的介质层和金属
技术研发人员：吴林晟 陈谢鹏 冯金龙 黄一 毛军发
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2021.06.10
技术公布日：2021/9/16