一种用于可见光通信的LED器件的制作方法

文档序号:27546593发布日期:2021-11-24 20:48阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于可见光通信的led器件,其特征在于,包括衬底、若干个并联的并设置在所述衬底的芯粒、以及设置在若干个芯粒顶部的p电极,所述芯粒在所述衬底自下而上依次生长有非掺杂的gan缓冲层、n

gan层、ingan/gan多量子阱层、p

algan电子阻挡层和p

gan层;所述p电极设置在每个芯粒的p

gan层的上层;n电极环形设置在所述n

gan层的外侧面,若干个芯粒的n电极通过导线连接,所述导线还连接有焊点。2.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述n电极的材料为ti、al、ni或au中的一种或两种以上。3.如权利要求1或2所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述若干个芯粒的n电极所用材料均相同。4.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述p电极为石墨烯材料。5.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述用于可见光通信的led器件还包括连接桥和保护层,所述连接桥设置于并联的芯粒的n

gan层之间并与两个芯粒的n电极连接,导线设置在连接桥的上层并互连,导线的上层设有保护层;连接桥和保护层的材质均为sio2。6.如权利要求5所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述连接桥和保护层的制备方法为:刻蚀出mesa台面,得到n

gan层后,在n

gan层的上层沉积sio2层,然后在sio2层的上层光刻连接桥,在连接桥的上层蒸镀金属,并光刻出导线、n电极和焊点,在导线的上层沉积sio2层,得到保护层;所述金属为ti、al、ni或au中的一种或两种以上。7.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述衬底的材料为蓝宝石、硅、碳化硅或氮化镓中的一种。8.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述芯粒的数量为3n个,n≥1且n为整数。9.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述衬底的长度为5~20cm。10.如权利要求1所述的用于可见光通信的led器件,其特征在于,所述芯粒的直径为10~200μm。

技术总结
本发明公开了一种用于可见光通信的LED器件,包括衬底、若干个并联的并设置在所述衬底的芯粒、以及设置在若干个芯粒顶部的P电极,所述芯粒在所述衬底自下而上依次生长有非掺杂的GaN缓冲层、N


技术研发人员:李国强
受保护的技术使用者:河源市众拓光电科技有限公司
技术研发日:2021.06.29
技术公布日:2021/11/23
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