显示基板及显示装置的制作方法

文档序号:26271155发布日期:2021-08-13 19:25阅读:71来源:国知局
显示基板及显示装置的制作方法

本公开涉及显示技术领域,特别涉及一种显示基板及显示装置。



背景技术:

有机发光二极管(organiclight-emittingdiode,oled)显示基板因其自发光、厚度小、重量轻和发光效率高等优点被广泛应用于各类显示装置中。

相关技术中,oled显示基板一般包括:衬底基板,以及位于衬底基板一侧且依次层叠的第一导电层、绝缘层和第二导电层,第一导电层通过贯穿绝缘层的过孔与第二导电层搭接。且,该过孔的横截面一般呈矩形。

但是,因相关技术中过孔的横截面呈矩形,故导致过孔的侧壁的坡度较陡,不利于第一导电层和第二导电层的搭接,从而影响产品良率。



技术实现要素:

本公开实施例提供了一种显示基板及显示装置,可以解决相关技术中因过孔的侧壁的坡度较陡,不利于第一导电层和第二导电层搭接,从而影响产品良率的问题。所述技术方案如下。

一方面,提供了一种显示基板,所述显示基板包括:

衬底基板;

位于所述衬底基板一侧且依次层叠的第一导电层、绝缘层和第二导电层;

以及,贯穿所述绝缘层的过孔,所述第二导电层通过所述过孔与所述第一导电层电连接;

其中,所述过孔的侧壁沿远离所述衬底基板的方向呈台阶式延伸,且所述过孔的侧壁至少部分为弧面,所述弧面的切线与所述衬底基板相交,所述过孔靠近所述衬底基板一侧的开口在所述衬底基板上的正投影,位于所述过孔远离所述衬底基板一侧的开口在所述衬底基板上的正投影内。

可选的,所述弧面朝靠近所述第二导电层的方向凸起。

可选的,所述绝缘层包括:沿远离所述衬底基板的方向依次层叠的至少两层子绝缘层;

所述过孔包括:相互连通且贯穿各层所述子绝缘层的子过孔。

可选的,所述绝缘层包括:沿远离所述衬底基板的方向依次层叠的第一子绝缘层、第二子绝缘层和第三子绝缘层;

所述过孔包括:相互连通且贯穿所述第一子绝缘层的第一子过孔,贯穿所述第二子绝缘层的第二子过孔,以及贯穿所述第三子绝缘层的第三子过孔。

可选的,所述第一子过孔的孔径、所述第二子过孔的孔径和所述第三子过孔的孔径依次增大。

可选的,所述第二子过孔的侧壁和所述第三子过孔中,至少一个子过孔的侧壁呈弧面。

可选的,所述第一子过孔的任一截面均呈矩形。

可选的,所述第一子过孔的第一截面呈矩形,所述第一子过孔的第二截面呈多边形,所述第一截面与所述第二截面垂直;

其中,所述多边形包括相对的第一边和第二边,以及相对的第三边和第四边;所述第一边与所述第三边连接,所述第二边与所述第四边连接,且所述第一边和所述第二边均垂直于所述衬底基板,所述第三边与所述衬底基板的夹角,以及所述第四边与所述衬底基板的夹角均为锐角。

可选的,所述第三边在所述衬底基板上的正投影的长度,和所述第四边在所述衬底基板上的正投影的长度,均大于等于1微米,所述第一方向平行于所述第二截面;

所述第三边和所述第一边的连接点与所述第一导电层之间的间距,和所述第四边和所述第二边的连接点与所述第一导电层之间的间距,均小于等于1微米;

且,所述第三边与所述第一导电层的夹角,和所述第四边与所述第一导电层的夹角均小于30度。

可选的,所述第三边在所述衬底基板上的正投影的长度,和所述第四边在所述衬底基板上的正投影的长度,均大于等于1.5微米,所述第一方向平行于所述第二截面;

所述第三边和所述第一边的连接点与所述第一导电层之间的间距,和所述第四边和所述第二边的连接点与所述第一导电层之间的间距,均小于等于0.5微米;

且,所述第三边与所述第一导电层的夹角,和所述第四边与所述第一导电层的夹角均小于20度。

可选的,所述第三边在所述衬底基板上的正投影的长度,和所述第四边在所述衬底基板上的正投影的长度,均小于等于2微米,所述第一方向平行于所述第二截面;

所述第三边和所述第一边的连接点与所述第一导电层之间的间距,和所述第四边和所述第二边的连接点与所述第一导电层之间的间距,均小于等于0.4微米;

且,所述第三边与所述第一导电层的夹角,和所述第四边与所述第一导电层的夹角均小于15度。

可选的,所述显示基板还包括:位于所述第一导电层远离所述衬底基板一侧的第三导电层,所述第三导电层覆盖所述过孔的部分或全部侧壁。

可选的,所述过孔的侧壁包括在第一方向上相对设置的第一部分和第二部分,以及在第二方向上相对设置的第三部分和第四部分,所述第一方向与所述第二方向垂直;

其中,所述第三导电层覆盖所述过孔的侧壁的第一部分和第二部分。

可选的,所述第三导电层还覆盖所述过孔的侧壁的第三部分和第四部分。

可选的,所述第三导电层覆盖所述过孔包括的第二子过孔的侧壁和第三子过孔的部分侧壁。

可选的,所述第三导电层还覆盖所述第一导电层。

可选的,所述绝缘层包括:沿远离所述衬底基板的方向依次层叠的第一子绝缘层、第二子绝缘层和第三子绝缘层;

所述第三导电层包括第一导电图案和第二导电图案,所述第一导电图案与所述第二导电图案连接,且所述第一导电图案位于所述第二子绝缘层与所述第三子绝缘层之间,所述第二导电图案未被所述第三子绝缘层覆盖。

可选的,所述第三子绝缘层覆盖所述第二子绝缘层。

可选的,所述第三导电层的侧壁还具有至少一个凹槽,所述凹槽的凹陷方向平行于所述衬底基板。

可选的,所述第三导电层的侧壁具有四个所述凹槽。

可选的,所述第三导电层的侧壁包括在第一方向上相对设置的第一部分和第二部分,所述第一部分具有两个所述凹槽,所述第二部分具有两个所述凹槽,且所述第一部分具有的两个所述凹槽与所述第二部分具有的两个所述凹槽两两相对。

可选的,在所述第一方向上,所述凹槽的长度与贯穿所述第一子绝缘层的第一子过孔的最大孔径之比大于0.1,且小于0.2,且所述凹槽的长度与所述第三导电层未被所述第三子绝缘层覆盖的第二导电图案的长度之比小于0.3;

且,在所述第二方向上,所述凹槽的长度与所述第一子过孔的最大孔径之比小于0.3。

可选的,在所述第一方向上,所述凹槽的长度与贯穿所述第一子绝缘层的第一子过孔的最大孔径之比大于0.05,且小于0.15,且所述凹槽的长度与所述第三导电层未被所述第三子绝缘层覆盖的第二导电图案的长度之比小于0.25;

且,在所述第二方向上,所述凹槽的长度与所述第一子过孔的最大孔径之比小于0.25。

可选的,在所述第一方向上,所述凹槽的长度与贯穿所述第一子绝缘层的第一子过孔的最大孔径之比大于0.05,且小于0.1,且所述凹槽的长度与所述第三导电层未被所述第三子绝缘层覆盖的第二导电图案的长度之比小于0.2;

且,在所述第二方向上,所述凹槽的长度与所述第一子过孔的最大孔径之比小于0.2。

可选的,所述显示基板还包括:位于所述衬底基板上的多个像素电路和多个发光元件;所述像素电路包括:开关电路、驱动电路和存储电路;

其中,所述开关电路分别与栅线、数据线和所述驱动电路的控制端电连接,所述开关电路用于响应于所述栅线提供的栅极驱动信号,向所述驱动电路传输所述数据线提供的数据信号;

所述驱动电路的输入端与驱动电源线电连接,所述驱动电路的输出端与一个发光元件的第一极电连接,所述发光元件的第二极与下拉电源线电连接,所述驱动电路用于响应于所述驱动电源线提供的驱动电源信号和所述数据信号,向所述发光元件传输驱动电流;

所述存储电路分别与所述发光元件的第一极和所述驱动电路的控制端电连接,所述存储电路用于调节所述发光元件的第一极的电位和所述驱动电路的控制端的电位。

可选的,所述开关电路包括:开关晶体管;所述驱动电路包括:驱动晶体管;所述存储电路包括:存储电容;

所述开关晶体管的栅极与栅线电连接,所述开关晶体管的第一极与数据线电连接,所述开关晶体管的第二极与所述驱动晶体管的栅极电连接;

所述驱动晶体管的第一极与驱动电源线电连接,所述驱动晶体管的第二极与一个发光元件的第一极电连接,所述发光元件的第二极与下拉电源线电连接;

所述存储电容的一端与所述发光元件的第一极电连接,所述存储电容的另一端与所述驱动晶体管的栅极电连接。

可选的,所述第一导电层包括所述下拉电源线,所述第二导电层包括所述发光元件的第二极。

可选的,所述第一导电层与所述驱动电源线和所述驱动晶体管的源漏极位于同层。

可选的,所述第一导电层包括:沿远离所述衬底基板的方向依次层叠的第一导电块和第二导电块;

其中,所述第一导电块与所述第二导电块电连接,所述第二导电块与所述第二导电层电连接;所述第二导电块与所述驱动电源线和所述驱动晶体管的源漏极位于同层。

可选的,所述显示基板还包括:位于所述第一导电块和所述第二导电块之间的第三导电块;

其中,所述第三导电块分别与所述第一导电块和所述第二导电块电连接。

可选的,所述显示基板还包括:与所述第一导电块位于同层的遮光层;

其中,所述遮光层在所述衬底基板上的正投影与所述驱动晶体管在所述衬底基板上的正投影重叠。

可选的,所述遮光层在所述衬底基板上的正投影还与所述发光元件的第一极在所述衬底基板上的正投影重叠。

可选的,所述遮光层与所述第一导电块为一体结构。

可选的,所述遮光层包括所述数据线。

可选的,所述显示基板还包括:与所述第二导电块位于同层的反光层;

其中,所述反光层在所述衬底基板上的正投影与所述发光元件的第一极在所述衬底基板上的正投影重叠。

可选的,所述反光层与所述驱动晶体管的第二极为一体结构。

可选的,所述显示基板还包括:位于每相邻两层金属层之间的层间绝缘层。

可选的,所述开关晶体管和所述驱动晶体管均为顶栅结构的晶体管。

可选的,所述开关晶体管和所述驱动晶体管均为底栅结构的晶体管。

可选的,所述第一导电层的材料包括低碳合结钢,所述第一导电层的厚度为500埃;

或,所述第一导电层的材料包括铜,所述第一导电层的厚度为4500埃。

可选的,所述第二导电层的材料包括银或氧化硅或氧化铟锡,所述第二导电层的厚度为500埃。

可选的,所述第一子绝缘层的材料包括氧化硅或氮化硅,所述第一子绝缘层的厚度为4000埃。

可选的,所述第二子绝缘层的材料包括聚酰亚胺、丙烯酸塑料或树脂,所述第二子绝缘层的厚度为21000埃。

可选的,所述第三子绝缘层的材料包括聚酰亚胺、丙烯酸塑料或树脂,所述第三子绝缘层的厚度为7000埃。

另一方面,提供了一种显示装置,所述显示装置包括:供电组件,以及如上述方面所述的显示基板;

其中,所述供电组件与所述显示基板电连接,用于为所述显示基板供电。

可选的,所述显示装置为有源矩阵发光二极管amoled显示装置。

本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少可以包括:

提供了一种显示基板及显示装置。其中,该显示基板包括依次层叠的衬底基板、第一导电层、绝缘层和第二导电层,第一导电层与第二导电层可以通过贯穿绝缘层的过孔搭接。由于该过孔的侧壁沿远离衬底基板的方向呈台阶式延伸,至少部分为切线与衬底基板相交的弧面,且该过孔靠近衬底基板侧的开口的尺寸小于远离衬底基板侧的开口的尺寸,因此该过孔的侧壁的坡度较缓。进而,有利于第一导电层和第二导电层的搭接,确保了产品良率较好。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本公开实施例提供的一种显示基板的结构示意图;

图2是本公开实施例提供的一种显示基板的俯视图;

图3是图2所示俯视图在第一方向上的截面图;

图4是图2所示俯视图在第二方向上的截面图;

图5是本公开实施例提供的另一种显示基板的俯视图;

图6是图5所示俯视图在第一方向上的截面图;

图7是本公开实施例提供的又一种显示基板的俯视图;

图8是图7所示俯视图在第一方向上的一种截面图;

图9是图7所示俯视图在第一方向上的另一种截面图;

图10是本公开实施例提供的再一种显示基板的俯视图;

图11是图10所示俯视图在一个方向上的截面图;

图12是图10所示俯视图在另一个方向上的截面图;

图13是图10所示俯视图在一个方向上的投影图;

图14是本公开实施例提供的再一种显示基板的俯视图;

图15是图14所示俯视图在第一方向上的截面图;

图16是本公开实施例提供的一种像素电路的结构示意图;

图17是本公开实施例提供的一种像素电路的结构版图;

图18是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图19是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图20是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图21是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图22是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图23是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图24是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图25是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图26是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图27是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图28是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图29是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图30是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图31是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图32是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图33是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图;

图34是本公开实施例提供的一种显示装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本公开的目的.技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。

本公开的实施方式部分使用的术语仅用于对本公开的实施例进行解释,而非旨在限定本公开。除非另作定义,本公开的实施方式使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”、“第三”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同,并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则所述相对位置关系也可能相应地改变。在本公开实施例中提及的“和/或”,表示可以存在三种关系,例如,a和/或b,可以表示:单独存在a,同时存在a和b,单独存在b这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

图1是本公开实施例提供的一种显示基板的结构示意图。如图1所示,该显示基板包括:衬底基板01,位于衬底基板01一侧且依次层叠的第一导电层02、绝缘层03和第二导电层04,以及贯穿绝缘层03的过孔k0。该过孔k0可以是在制造显示基板时,对绝缘层03进行刻蚀而形成的。

其中,第二导电层04通过该过孔k0与第一导电层02电连接,即如图1所示,该第二导电层04可以搭接于过孔k0的侧壁上,并一直延伸至第一导电层02上,与第一导电层02接触,即电连接。如此,该具有过孔k0的绝缘层03也可以称为导电连接结构,以供位于不同层的两个导电层有效电连接。

继续参考图1,本公开实施例记载的过孔k0的侧壁沿远离衬底基板01的方向x1呈台阶式延伸,且该过孔k0的侧壁至少部分为弧面(也可以称为具有连续变化斜率的曲面),该弧面的切线与衬底基板01相交。并且,该过孔k0靠近衬底基板01一侧的开口在衬底基板01上的正投影,位于过孔k0远离衬底基板01一侧的开口在衬底基板01上的正投影内。即,该过孔k0靠近衬底基板01一侧的开口的直径小于该过孔k0远离衬底基板01一侧的开口的直径。

如此,结合图1可以看出,该过孔k0的侧壁的坡度整体较缓。相应的,即便该过孔k0的孔深较大,其上搭接的第二导电层04也不易发生断线或断层现象。如此,确保了第二导电层04与第一导电层02的稳定可靠接触。其中,结合图1,过孔k0的孔深可以是指过孔k0在x1方向上的高度。

综上所述,本公开实施例提供了一种显示基板,该显示基板包括依次层叠的衬底基板、第一导电层、绝缘层和第二导电层,第一导电层与第二导电层可以通过贯穿绝缘层的过孔搭接。由于该过孔的侧壁沿远离衬底基板的方向呈台阶式延伸,至少部分为切线与衬底基板相交的弧面,且该过孔靠近衬底基板侧的开口的尺寸小于远离衬底基板侧的开口的尺寸,因此该过孔的侧壁的坡度较缓。进而,有利于第一导电层和第二导电层的搭接,确保了产品良率较好。

可选的,参考图1,本公开实施例记载的弧面朝靠近第二导电层04的方向凸起。当然,在一些实施例中,弧面也可以朝远离第二导电层04的方向凸起。

可选的,在本公开实施例中,绝缘层03包括沿远离衬底基板01的方向依次层叠的至少两层子绝缘层。相应的,贯穿绝缘层03的过孔包括:相互连通且贯穿各层子绝缘层的子过孔。

示例的,图2示出了本公开实施例提供的一种显示基板的俯视图。图3示出了图2所示俯视图在第一方向aa'的截面图。图4是图2所示俯视图在第二方向bb'的截面图。该第一方向aa'与第二方向bb'相互垂直。结合图2至图4可以看出,本公开实施例记载的绝缘层03包括:沿远离衬底基板01的方向依次层叠的第一子绝缘层031、第二子绝缘层032和第三子绝缘层033。

相应的,本公开实施例记载的过孔k0包括:相互连通且贯穿第一子绝缘层031的第一子过孔k01,贯穿第二子绝缘层032的第二子过孔k02,以及贯穿第三子绝缘层033的第三子过孔k03(仅图3示出)。

其中,第一子过孔k01可以是在制造显示基板时,对第一子绝缘层031进行刻蚀而形成的。第二子过孔k02可以是在制造显示基板时,对第二子绝缘层032进行刻蚀而形成的。第三子过孔k03可以是在制造显示基板时,对第三子绝缘层033进行刻蚀而形成的。

此外,参考图3和图4可以看出,图2所示俯视图对应的第一方向aa'的截面图与第二方向bb'的截面图结构相同。图3还示出了包括第一导电层02、第一子绝缘层031和第二子绝缘层032的局部放大图,第一子过孔k01在第一方向aa'上的孔径d1,以及第一子过孔k01远离衬底基板01一侧中未被第二子绝缘层032遮挡的部分在第一方向aa'上的长度d2。图4还示出了包括第一导电层02和第一子绝缘层031的局部放大图,以及第一子过孔k01在第二方向bb'上的孔径d3。d1和d3可以相同,也可以不同,d2一般小于d1,且小于d2。

可选的,在本公开实施例中,第一子绝缘层031远离衬底基板01一侧,且未被第二子绝缘层032遮挡的平坦表面的长度,在第一方向aa'上的长度d2,以及在第二方向bb'上的长度可以大于等于20微米,且小于等于60微米。

继续参考图3和图4可以看出,本公开实施例记载的第二子过孔k02的侧壁和第三子过孔k03的侧壁均呈弧面。且,在任一方向上,第一子过孔k01的孔径、第二子过孔k02的孔径和第三子过孔k03的孔径依次增大。如,结合图4,其用d3标识第一子过孔k01的孔径,用d4标识第二子过孔k02的孔径,用d5标识第三子过孔k03的孔径。从图中可以看出,d3,d4和d5的大小关系满足:d3<d4<d5。

上述仅示意性说明了第二子过孔k02的侧壁和第三子过孔k03的侧壁的形状。对于第一子过孔k01而言,结合图3和图4可以看出,其在任一方向的截面,即其任一截面均呈矩形。

对于该结构而言,可以认为:第三子绝缘层033在导电连接结构处形成有多个具有连续变化斜率的第一曲面(即,图中所示的弧面),第二子绝缘层032在导电连接结构处形成有多个具有连续变化斜率的第二曲面(即,图中所示的弧面),每个第一曲面与一个第二曲面连接,且在连接处斜率发生突变。第一子绝缘层031在导电连接结构处形成多个平坦表面,每个平坦表面与一个第二曲面连接,且在连接处斜率发生突变。第一曲面距衬底基板01的最小高度大于或等于第二曲面距衬底基板01的最大高度。第二曲面距衬底基板01的最小高度大于或等于平坦表面距衬底基板01的最大高度。各个方向上的平坦表面暴露出第一导电层02。

或者,第一子过孔k01的第一截面呈矩形,第一子过孔k01的第二截面呈多边形,第一截面与第二截面垂直。其中,第二截面可以与第一方向aa'平行,即,第二截面可以为在第一方向aa'上的截面。相应的,第一截面可以与第二方向bb'平行,即,第一截面可以为在第二方向bb'上的截面。

示例的,图5示出了另一种显示基板的俯视图,图6示出了图5所示俯视图在第一方向aa'上的截面图,即示出了第一子过孔k01的第二截面。且,结合图5所示俯视图可以看出,其在第二方向bb'上的截面,即第一子过孔k01的第一截面可以参考图4,不再赘述。

结合图5和图6可以看出,多边形包括相对的第一边l1和/或第二边l2,以及相对的第三边l3和/或第四边l4。

其中,第一边l1与第三边l3连接,第二边l2与第四边l4连接,且第一边l1和第二边l2均垂直于衬底基板01,第三边l3与第一导电层02的夹角α,以及第四边l4与第一导电层02的夹角α均为锐角。

此外,图6还示出了包括第二导电层02和第一子绝缘层031的局部放大图,第三边l3在衬底基板01上的正投影的长度l1,第四边l4与第二边l2的连接点与第一导电层02之间的间距h2,以及第三边l3与第一导电层02的夹角α。

可选的,结合图3,第三边l3在衬底基板01上的正投影的长度l1,和/或第四边l4在衬底基板01上的正投影的长度均大于等于1微米,且小于等于3微米。如,第三边l3在衬底基板01上的正投影的长度l1,和/或第四边l4在衬底基板01上的正投影的长度均大于等于1.5微米,且小于等于2微米。通过设置上限为2微米,可以确保第一导电层02被有效暴露,进而确保第二导电层04和第一导电层02的充分接触,降低电阻。通过设置下限为1.5微米,可以确保侧壁的坡度较长,利于第二导电层04在侧壁上沉积的连续性。

可选的,继续结合图3,第三边l3和第一边l1的连接点与第一导电层02之间的间距,和/或第四边l4和第二边l2的连接点与第一导电层02之间的间距h1,均小于等于1微米。或者,第三边l3和第一边l1的连接点与第一导电层02之间的间距,和/或第四边l4和第二边l2的连接点与第一导电层02之间的间距h1,均小于等于0.5微米。或者,第三边l3和第一边l1的连接点与第一导电层02之间的间距,和/或第四边l4和第二边l2的连接点与第一导电层02之间的间距h1,均小于等于0.4微米。间距越小则侧壁的坡度越平缓,由此越利于第二导电层04在侧壁上沉积的连续性。

且,可选的,继续结合图3,第三边l3与第一导电层02的夹角α,以及第四边l4与第一导电层02的夹角均小于30度。或者,第三边l3与第一导电层02的夹角α,以及第四边l4与第一导电层02的夹角均小于20度。或者,第三边l3与第一导电层02的夹角α,以及第四边l4与第一导电层02的夹角均小于15度。角度越小则侧壁的坡度越平缓,由此越利于第二导电层04在侧壁上沉积的连续性。

此外,继续结合图3,第三边l3在衬底基板01上的正投影的长度l1与第一子过孔k01在第一方向aa'上的最大孔径d1之比(即,l1/d1)小于0.1。第三边l3和第一边l1的连接点与第一导电层02之间的间距h1与第三边l3在衬底基板01上的正投影的长度l1之比,即h1/l1小于0.4。

结合图5和图6可以看出,该第三边l3和第四边l4也可以称为凸起斜坡,该凸起斜坡可以对搭接于该过孔k0上的第二导电层04起到缓冲的作用,故也可以称为缓冲坡。能够进一步利于第一导电层02与第二导电层04的搭接。

当然,在一些实施例中,第一子过孔k01的第一截面也可以呈图6所示的多边形。或者,第一子过孔k01的侧壁也可以呈弧面。

图7是本公开实施例提供的又一种显示基板的俯视图。图8是图7所示俯视图在第一方向aa'的截面图。且,结合图7所示俯视图可以看出,其在第二方向bb'上的截面可以参考图4,不再赘述。

参考图7和图8可以看出,本公开实施例记载的显示基板00还包括:位于第一导电层02远离衬底基板01一侧的第三导电层05,该第三导电层05覆盖过孔k0的部分或全部侧壁。

例如,结合图7和图8可知,过孔k0的侧壁包括在第一方向aa'上相对设置的第一部分和第二部分,以及在第二方向bb'上相对设置的第三部分和第四部分。其中,第三导电层05覆盖过孔k0的侧壁的第一部分和第二部分。且,覆盖过孔k0包括的第二子过孔k02的侧壁和第三子过孔k03的部分侧壁。

如此,结合图1可知,搭接于过孔k0上的第二导电层02还可以与该第三导电层05接触,增大了导电层的接触面积,进而有利于降低电阻。基于此,在一些实施例中,第三导电层05还覆盖过孔k0的侧壁的第三部分和第四部分,即第三导电层05可以覆盖于过孔k0的侧壁的大部分区域。此外,在一些实施例中,第三导电层05还覆盖第一导电层02。

可选的,结合图4对应的实施例记载,第三子绝缘层033的第一曲面距衬底基板01的最小高度与第二子绝缘层032的第二曲面距衬底基板01的最小高度之间的差值,可以小于第三导电层05的厚度的1.2倍。第一曲面距衬底基板01的最小高度和其连接的第二曲面距衬底基板01的最小高度的差值,可以大于第三导电层05的厚度的10倍。

或者,结合图9示出的另一种图7所示俯视图在第二方向bb'上的截面,第三导电层05包括:第一导电图案051和第二导电图案052,第一导电图案051与第二导电图案052连接。并且,第一导电图案051位于第二子绝缘层032与第三子绝缘层033之间,第二导电图案052未被第三子绝缘层033覆盖。

此外,参考图9还可以看出,其示出的第三子绝缘层033还覆盖第二子绝缘层032。即,结合图4对应的实施例记载,在第一方向aa'上,第三子绝缘层033形成的第一曲面覆盖第二子绝缘层032形成的第二曲面。第三导电层05覆盖第二子绝缘层032形成的第二曲面,以及第一子绝缘层031远离衬底基板01一侧且未被第二子绝缘层032遮挡的平坦表面。

可选的,可以通过构图工艺形成上述实施例记载的各层结构,构图工艺包括:曝光、显影或刻蚀(如,光刻)。基于此,若第二子绝缘层032的斜坡部分(即,远离衬底基板01的一侧)不设置第二导电图案052,则光刻工艺的曝光景深和光刻胶在该斜坡或两层交界处存在厚度变化,相应的,第二子绝缘层032的斜坡上方可能产生第三导电层05的残留。

故,图9所示结构相对于图8所示结构而言,可以有效降低形成第三导电层05的光刻工艺与形成绝缘层(包括第二子绝缘层032和第三子绝缘层033)的光刻工艺的对位精度,减少因工艺误差而导致第三导电层05在第二子绝缘层032的边缘形成的残留,以及减少因工艺误差而导致第三子绝缘层033在第二导电图案052的边缘形成的残留。进而,可以有效确保形成各层结构的精度较好。

当然,在一些实施例中,第二方向bb'上的截面可以与图9相同,即在第二方向bb'上的截面,第三导电层05也可以包括:第一导电图案051和第二导电图案052,第一导电图案051与第二导电图案052连接。并且,第一导电图案051位于第二子绝缘层032与第三子绝缘层033之间,第二导电图案052未被第三子绝缘层033覆盖。

图10示出了本公开实施例提供的再一种显示基板的俯视图。图11示出了图10所示俯视图在cc'方向的截面。图12示出了图10所示俯视图在dd'方向的截面。图13示出了图10所示俯视图在第一方向aa'上的投影图。并且,结合图10所示俯视图可以看出,其在第一方向aa'上的截面可以参考图9,其在第二方向bb'上的截面可以参考图4,均不再赘述。

参考图10和图13可以看出,本公开实施例记载的第三导电层05的侧壁还具有至少一个凹槽c0,且该凹槽c0的凹陷方向平行于衬底基板01。其中,图10中共示出4个凹槽c0。该四个凹槽c0位于侧壁的第一部分和第二部分,且两两相对设置。通过设置凹槽c0,可以增大第三导电层05的侧面积。如此,可以进一步增大第三导电层05与后续沉积于第三导电层05上方的导电层(如,第二导电层04)的接触面积,有效降低接触电阻。

此外,图10还标识出了凹槽c0在第一方向aa'上的长度w,以及在第二方向bb'上的长度l。

可选的,结合图3,在第一方向aa'上,凹槽c0的长度w与第一子过孔k01的最大孔径d1之比(即,w/d1)大于0.1,且小于0.2,且凹槽c0的长度w与第一子过孔k01未被第二子绝缘层032遮挡的平坦表面的长度d2之比(即,w/d2)小于0.3。结合图4,在第二方向bb'上,凹槽c0的长度l与贯穿第一子绝缘层031的第一子过孔k01的最大孔径d3之比(即,l/d3)小于0.3。

或者,在第一方向aa'上,凹槽c0的长度w与第一子过孔k01的最大孔径d1之比(即,w/d1)大于0.05,且小于0.15,且凹槽c0的长度w与第一子过孔k01未被第二子绝缘层032遮挡的平坦表面的长度d2之比(即,w/d2)小于0.25。结合图4,在第二方向bb'上,凹槽c0的长度l与贯穿第一子绝缘层031的第一子过孔k01的最大孔径d3之比(即,l/d3)小于0.25。

或者,在第一方向aa'上,凹槽c0的长度w与第一子过孔k01的最大孔径d1之比(即,w/d1)大于0.05,且小于0.1,且凹槽c0的长度w与第一子过孔k01未被第二子绝缘层032遮挡的平坦表面的长度d2之比(即,w/d2)小于0.2。结合图4,在第二方向bb'上,凹槽c0的长度l与贯穿第一子绝缘层031的第一子过孔k01的最大孔径d3之比(即,l/d3)小于0.2。

设置上述实施例记载的比值越小,凹槽c1的长度就越接近第三导电层05的厚度。因凹槽c1的侧面积与第三导电层05的厚度正相关,故凹槽c1处被挖掉的第三导电层05的表面积与凹槽c1的长度近似正相关。如此,可以使得凹槽c1的侧面积大于被挖掉的第三导电层05的表面积,由此可以利于改善导电层之间的接触电阻。

结合图13,对具有凹槽结构的显示基板做以如下说明:第三导电层05在垂直于衬底基板01的方向上可以具有图13标识的第一侧面和第二侧面,第一侧面不超出第一子绝缘层031的平坦表面,且与第一子绝缘层031的平坦表面基本平行。第二侧面与第一子绝缘层031的平坦表面不平行,且包括至少一个斜率连续变化的凹槽。图13共示出2个凹槽c0。

结合图5、图7和图10,图14示出了再一种显示基板的俯视图,图15示出了图14所示俯视图在cc'方向的截面。并且,结合图14所示俯视图可以看出,其在第一方向aa'上的截面可以参考图6和图9,其在第二方向bb'上的截面可以参考图4,均不再赘述。

可选的,本公开实施例记载的显示基板00还包括:位于衬底基板01上的多个像素电路06和多个发光元件07。可选的,参考图16可以看出,像素电路06包括:开关电路061、驱动电路062和存储电路063。

其中,开关电路061分别与栅线scan、数据线data和驱动电路062的控制端电连接,开关电路061用于响应于栅线scan提供的栅极驱动信号,向驱动电路传输数据线data提供的数据信号。

驱动电路062的输入端与驱动电源线vdd电连接,驱动电路062的输出端与一个发光元件07的第一极电连接,发光元件07的第二极与下拉电源线vss电连接,驱动电路062用于响应于驱动电源线vdd提供的驱动电源信号和数据信号,向发光元件07传输驱动电流。

存储电路063分别与发光元件07的第一极和驱动电路062的控制端电连接,存储电路063用于调节发光元件07的第一极的电位和驱动电路062的控制端的电位。

可选的,继续参考图16可以看出,开关电路061包括:开关晶体管t1、驱动电路062驱动晶体管t2,存储电路063包括存储电容c1。驱动晶体管t2的栅极即为驱动电路062的控制端,驱动晶体管t2的第一极可以为驱动电路062的输入端,驱动晶体管t2的第二极可以为驱动电路062的输出端。

其中,开关晶体管t1的栅极与栅线scan电连接,开关晶体管t1的第一极与数据线data电连接,开关晶体管t1的第二极与驱动晶体管t2的栅极电连接。

驱动晶体管t2的第一极与驱动电源线vdd电连接,驱动晶体管t2的第二极与一个发光元件07的第一极电连接,发光元件07的第二极与下拉电源线vss电连接。

可选的,发光元件07的第一极可以为阳极,相应的,发光元件07的第二极为阴极。当然,在一些实施例中,发光元件07的第一极还可以为阴极,相应的,发光元件07的第二极可以为阳极。

存储电容c1的一端与发光元件07的第一极电连接,存储电容c1的另一端与驱动晶体管t2的栅极电连接。

可选的,以图16所示结构为例,图17示出了图16所示电路图的结构版图。参考图17可以看出,显示基板还包括位于衬底基板01上,且沿第一方向aa'延伸的信号线(如,数据线data和下拉电源线vss),以及沿第二方向bb'延伸的信号线(如,栅线scan)。

可选的,上述实施例记载的第三导电层05的第一侧面距沿第一方向aa'延伸的信号线的最小距离大于或等于60微米,距沿第二方向bb'延伸的信号线的最小距离大于或等于20微米。

图18是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图。参考图18可以看出,上述实施例记载的第一导电层02包括下拉电源线vss,第二导电层04包括发光元件07的第二极(即,阴极)。并且,第一导电层02与驱动电源线vdd,以及晶体管(如,图18所示的驱动晶体管t2)的源漏极位于同层。

位于同层可以是指:采用同一成膜工艺形成用于形成特定图形的膜层,然后利用同一掩模板通过一次构图工艺对该膜层图案化所形成的层结构。根据特定图形的不同,一次构图工艺可能包括多次曝光、显影或刻蚀工艺,而形成的层结构中的特定图形可以是连续的也可以是不连续的。即,位于“同层”的多个元件、部件、结构和/或部分由相同的材料构成,并通过同一次构图工艺形成。如此,可以简化制造工艺,节省制造成本。

此外,图18还示出了驱动晶体管t2包括的栅极,第一极,第二极,与第一极和第二极电连接的有源层,位于栅极和有源层之间的层间绝缘层,位于有源层与第一极和第二极之间的层间绝缘层,第一子绝缘层031,第二子绝缘层032,第三子绝缘层033,发光元件07的阳极,以及位于发光元件07的阳极和阴极之间的发光层。

图19是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图。相对于图18所示结构而言,参考图19可以看出,本公开实施例记载的第一导电层02包括:沿远离衬底基板01的方向依次层叠的第一导电块021和第二导电块022。即,下拉电源线vss可以由双层金属并联形成。

其中,第一导电块021与第二导电块022电连接,第二导电块022与第二导电层04电连接。可选的,结合图18和图19可以看出,第一导电块021与第二导电块022可以通过贯穿两层层间绝缘层的过孔电连接。

需要说明的是,图18和图19所示显示基板中,晶体管均为底栅结构。

图20是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图。参考图20可以看出,本公开实施例记载的显示基板还包括:与第一导电块021位于同层的遮光层08。

可选的,该遮光层08在衬底基板01上的正投影与驱动晶体管t2在衬底基板01上的正投影重叠。或者,参考图21示出的再一种显示基板,该遮光层08在衬底基板01上的正投影还与发光元件07的第一极(即,阳极)在衬底基板01上的正投影重叠。如此,可以实现有效遮光。

可选的,图22是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图。参考图22可以看出,遮光层08与第一导电块021为一体结构,即通过一次构图工艺形成。如此,可以进一步简化制造工艺,节省制造成本。

需要说明的是,结合图20至图22可知,因于第一导电块021的同层位置设置了遮光层08,故可以将驱动晶体管t2的栅极调整至有源层上方,该结构也可以称为顶栅结构。此外,为避免相邻的金属层之间信号相互干扰,对于该结构而言,相对于图18和图19所示结构,还额外增加了一层层间绝缘层。

图23是公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图。参考图23以看出,本公开实施例记载的显示基板还包括:与第二导电块022位于同层的反光层09。该反光层09在衬底基板01上的正投影与发光元件07的第一极(即,阳极)在衬底基板01上的正投影重叠。

此外,参考图23还可以看出,反光层09与驱动晶体管t2的第二极为一体结构,即可以通过一次构图工艺形成。如此,可以进一步简化制造工艺,节省制造成本。

图24是本公开实施例提供的再一种显示基板的结构示意图。参考图24可以看出,本公开实施例记载的显示基板还包括:位于第一导电块021和第二导电块022之间的第三导电块023。

该第三导电块023分别与第一导电块021和第二导电块022电连接。换言之,下拉电源线vss可以由三层金属并联形成。

需要说明的是,图20至图24所示的显示基板中,驱动晶体管t2的栅极均位于有源层与第一极之间。当然,在一些实施例中,参考图25至图28可以看出,顶栅结构的驱动晶体管t2的栅极与第一极和第二极同层。相应的,遮光层08用作数据线data。相对于图25和图26,图27和图28还示出了存储电容c1的结构。其中,图25和图27示出的截面图为相同区域的截面图,图26和图28示出的截面图为相同区域的截面图。

以图9所示截面为例,图29示出了在第一方向aa'上,还包括第二导电层04的局部截面图。图30示出了在第一方向aa'上,还包括第二导电层04的局部截面图。图30相对于图29而言,第三导电层05还覆盖第一导电层02。图31至图33分别示出了在第一方向aa'上,还包括发光层的局部截面图。图32相对于图31而言,发光层还覆盖第三导电层05远离衬底基板01一侧的平坦表面。图33相对于图32而言,第三导电层05未覆盖第一导电层02。

可选的,本公开实施例记载的导电层的材料可以包括下述金属材料中的至少一种:低碳合结钢moti,即不锈钢材料,铜cu,钼mo,银ag,氧化硅sio,氧化铟锡(indium-tinoxide,ito),铟锌氧化物izo。如,第一导电层02的材料为moti或cu,材料为moti的第一导电层02的厚度为500埃(a),材料为cu的第一导电层02的厚度为4500a。第三导电层05的材料为mo或ito,材料为mo的第三导电层05的厚度为500a,材料为ito的第三导电层05的厚度为1100a。第二导电层04的材料为ag或ito或izo,厚度可以为500a。第一导电块021的材料可以为sio,厚度为1500a。第二导电块022的材料为mo或cu,材料为mo的第二导电块022的厚度为500a,材料为cu的第二导电块022的厚度为4100a。

可选的,本公开实施例记载的有源层的材料为铟镓锌氧化物igzo或低温多晶硅ltps,厚度为300a。

可选的,本公开实施例记载的绝缘层的材料可以包括下述材料中的至少一种:聚酰亚胺(polyimide,pi),丙烯酸塑料(acrylic),树脂(resin),氧化硅sio,氮化硅sin。如,第一子绝缘层031的材料为sio或sin,厚度为4000a。第二子绝缘层032的材料为pi或acrylic或resin,厚度为21000a。第三子绝缘层033的材料为pi或acrylic或resin,厚度为7000a。其余绝缘层的材料为sio或sin,厚度为1200a,4000a或5300a。

可选的,本公开实施例记载的发光层的厚度可以为2500a。需要说明的是,以上对于厚度和材料的限定仅是示意性说明。

综上所述,本公开实施例提供了一种显示基板,该显示基板包括依次层叠的衬底基板、第一导电层、绝缘层和第二导电层,第一导电层与第二导电层可以通过贯穿绝缘层的过孔搭接。由于该过孔的侧壁沿远离衬底基板的方向呈台阶式延伸,至少部分为切线与衬底基板相交的弧面,且该过孔靠近衬底基板侧的开口的尺寸小于远离衬底基板侧的开口的尺寸,因此该过孔的侧壁的坡度较缓。进而,有利于第一导电层和第二导电层的搭接,确保了产品良率较好。

图34是本公开实施例提供的一种显示装置的结构示意图。如图34所示,该显示装置包括:供电组件10,以及如上述附图所示的显示基板00。供电组件10与显示基板00电连接,该供电组件10用于为显示基板00供电。

可选的,该显示装置为:oled显示装置、有源矩阵发光二极管(active-matrixorganiclight-emittingdiode,amoled)显示装置、液晶显示(liquidcrystaldisplay,lcd)装置、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑或导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。其中,amoled显示装置具有使用寿命长、显示亮度高、对比度大和色域广等优点。

以上所述仅为本公开的可选实施例,并不用以限制本公开,凡在本公开的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本公开的保护范围之内。

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