技术特征：
1.一种制备腔室的确定方法，其特征在于，包括：获取当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数，以及获取下一个工艺步骤中待选取的制备腔室的当前射频功率时数；根据所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数、所述待选取的制备腔室的当前射频功率时数、以及设定的连续多个使用阶段，确定所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，以及确定所述待选取的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段；其中，所述连续多个使用阶段基于所述制备腔室的使用周期划分，所述使用周期为所述制备腔室在当前清洗结束至下一次清洗开始之间的工作时长；根据所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，以及所述待选取的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，从所述待选取的制备腔室中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室；其中，所述目标物体为经过所述当前工艺步骤的制备腔室处理完的物体。2.如权利要求1所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述连续多个使用阶段包括顺序出现的第1个使用阶段至第n个使用阶段；n为大于1的整数；所述从所述待选取的制备腔室中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室，包括：根据每一个所述制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，将所述当前工艺步骤对应的制备腔室分为多个第一制备腔室单元，将所述下一个工艺步骤待选取的制备腔室分为多个第二制备腔室单元；其中，所述多个第一制备腔室单元与使用阶段一一对应，所述多个第二制备腔室单元与使用阶段一一对应；将所述多个第一制备腔室单元和所述多个第二制备腔室单元进行组合；其中，第1个使用阶段对应的第一制备腔室单元与除第1个使用阶段之外的使用阶段对应的第二制备腔室单元进行组合；基于所述目标物体，从所述组合中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室。3.如权利要求2所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，在所述确定所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段之后，在所述从所述组合中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室之前，还包括：将经过所述当前工艺步骤对应的制备腔室处理的目标物体携带上识别标签；其中，所述识别标签携带有所述目标物体所在的制备腔室对应的使用阶段的信息；所述从所述组合中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室，包括：基于所述目标物体携带的识别标签，从所述组合中确定出所述目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室。4.如权利要求3所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述将所述多个第一制备腔室单元和所述多个第二制备腔室单元进行组合，包括：对应所述第1个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第2个使用阶段至第n个使用阶段中的至少一个的第二制备腔室单元进行组合；对应所述第2个使用阶段至第n个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第1个使用阶段至第n个使用阶段的至少一个的第二制备腔室单元进行组合，且对应所述第1个使用阶段的
第一制备腔室单元与对应所述第2个使用阶段至第n个使用阶段的第一制备腔室单元组合的第二制备腔室单元不同。5.如权利要求4所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述基于所述目标物体携带的识别标签，从所述组合中确定出所述目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室，包括：基于目标物体携带的第1个使用阶段的信息，从所述组合中选取第一组合，确定出携带有所述第1个使用阶段信息的目标物体对应于对应第2个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第一组合为对应所述第1个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第2个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；基于目标物体携带的第k个使用阶段的信息，从所述组合中选取第二组合，确定出携带有所述第k个使用阶段信息的目标物体对应于对应第k+1个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第二组合为对应所述第k个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第k+1个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；k为整数，且1<k<n；基于目标物体携带的第n个使用阶段的信息，从所述组合中选取第三组合，确定出携带有所述第n个使用阶段信息的目标物体对应于对应第1个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第三组合为对应所述第n个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第1个使用阶段的第二制备腔室单元的组合。6.如权利要求4所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述基于所述目标物体携带的识别标签，从所述组合中确定出所述目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室，包括：基于目标物体携带的第p个使用阶段的信息，从所述组合中选取第四组合，确定出携带有所述第p个使用阶段信息的目标物体对应于对应第n
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p+1个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第四组合为对应所述第p个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第n
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p+1个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；p为整数，且1≤p≤n。7.如权利要求4所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，n为奇数；所述基于所述目标物体携带的识别标签，从所述组合中确定出所述目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室，包括：基于目标物体携带的第m个使用阶段的信息，从所述组合中选取第五组合，确定出携带有所述第m个使用阶段信息的目标物体对应于对应第个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第五组合为对应所述第m个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；m为整数，且基于目标物体携带的第q个使用阶段的信息，从所述组合中选取第六组合，确定出携带有所述第q个使用阶段信息的目标物体对应于对应第个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第六组合为对应所述第q个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；q为整数，且
8.如权利要求4所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，n为偶数；所述基于所述目标物体携带的识别标签，从所述组合中确定出所述目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室，包括：基于目标物体携带的第g个使用阶段的信息，从所述组合中选取第七组合，确定出携带有所述第g个使用阶段信息的目标物体对应于对应第个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第七组合为对应所述第g个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；g为整数，且基于目标物体携带的第h个使用阶段的信息，从所述组合中选取第八组合，确定出携带有所述第h个使用阶段信息的目标物体对应于对应第个使用阶段的第二制备腔室单元；其中，所述第八组合为对应所述第h个使用阶段的第一制备腔室单元与对应第个使用阶段的第二制备腔室单元的组合；h为整数，且9.如权利要求1
‑
8任一项所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述连续多个使用阶段中的各使用阶段的时长相同；或者，所述连续多个使用阶段中，前一个使用阶段的时长大于后一个使用阶段的时长；或者，所述连续多个使用阶段中，处于中间的使用阶段的时长大于处于两端的使用阶段的时长。10.如权利要求1
‑
8任一项所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，各所述制备腔室对应的使用阶段的数量相同。11.如权利要求10所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，针对所述当前工艺步骤对应的各制备腔室，各所述制备腔室对应的同一顺序出现的使用阶段的范围相同；和/或，针对所述下一个工艺步骤对应的各制备腔室，各所述制备腔室对应的同一顺序出现的使用阶段的范围相同。12.如权利要求11所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所有制备腔室对应的同一顺序出现的使用阶段的范围相同。13.如权利要求1
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8任一项所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述工艺步骤包括刻蚀步骤；所述当前工艺步骤包括：形成电容孔过程中的掩膜刻蚀工艺步骤；所述下一个工艺步骤包括：形成所述电容孔过程中的支撑层刻蚀工艺步骤；所述获取当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数，包括：在所述当前刻蚀步骤对应的制备腔室完成刻蚀工艺时，获取所述当前刻蚀步骤的制备腔室对应的当前射频功率时数；所述获取下一个工艺步骤中待选取的制备腔室的当前射频功率时数，包括：在所述下一个刻蚀步骤对应的制备腔室开始刻蚀工艺前，获取所述下一个刻蚀步骤中
待选取的制备腔室对应的当前射频功率时数。14.如权利要求1
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8任一项所述的制备腔室的确定方法，其特征在于，所述从所述待选取的制备腔室中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室之后，还包括：将所述目标物体送入所述下一个工艺步骤对应的制备腔室中。15.一种制备腔室的确定装置，其特征在于，包括：获取单元，被配置为获取当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数，以及获取下一个工艺步骤中待选取的制备腔室的当前射频功率时数；阶段确定单元，被配置为根据所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数、所述待选取的制备腔室的当前射频功率时数、以及设定的连续多个使用阶段，确定所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，以及确定所述待选取的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段；其中，所述连续多个使用阶段基于所述制备腔室的使用周期划分，所述使用周期为所述制备腔室在当前清洗结束至下一次清洗开始之间的工作时长；腔室确定单元，被配置为根据所述当前工艺步骤的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，以及所述待选取的制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，从所述待选取的制备腔室中确定出目标物体在下一个工艺步骤将要进入的制备腔室；其中，所述目标物体为经过所述当前工艺步骤的制备腔室处理完的物体。
技术总结
本公开实施例公开了制备腔室的确定方法及装置，可以根据相邻工艺步骤对应的制备腔室的当前射频功率时数以及基于制备腔室的使用周期划分出的使用阶段，确定出每一个制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段。并针对过当前工艺步骤的制备腔室处理完的目标物体，可以根据每一个制备腔室的当前射频功率时数所在的使用阶段，直接确定出目标物体所能进入的下一个工艺步骤的制备腔室。从而可以直接控制目标物体进入已确定出的制备腔室内，以进行下一个工艺步骤的制备过程，进而可以节省人力，提高自动化程度。提高自动化程度。提高自动化程度。
技术研发人员：李振兴 汪玉明 王芳 陈三城 沈振华
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2021.08.12
技术公布日：2021/11/16