技术特征：
1.一种金属连线电性测试结构，其特征在于，包括：测试主体，包括：至少一个第一金属连线，沿第一方向依次排列，所述第一金属连线的两端表面形成有第一通孔；至少一个第二金属连线，沿第二方向依次排列，所述第二金属连线的两端表面形成有第二通孔，所述至少一个第二金属连线与所述至少一个第一金属连线对应设置；第一焊垫，位于所述测试主体的一侧，通过第一金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接；第二焊垫，位于所述测试主体的另一侧，通过第二金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接。2.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，测试相邻的所述第一金属连线的漏电情况时，所述第一焊垫通过所述第一通孔与第一金属连线电连接，所述第二焊垫通过所述第一通孔与第一金属连线电连接，与所述第一焊垫电连接的第一金属连线和与所述第二焊垫电连接的第一金属连线交替间隔分布。3.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，测试相邻的所述第二金属连线的漏电情况时，所述第一焊垫通过所述第二通孔与第二金属连线电连接，所述第二焊垫通过所述第二通孔与第二金属连线电连接，与所述第一焊垫电连接的第二金属连线和与所述第二焊垫电连接的第二金属连线交替间隔分布。4.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，测试所述第一金属连线和所述第二金属连线之间的漏电情况时，所述第一焊垫通过所述第一通孔与第一金属连线电连接，所述第二焊垫通过所述第二通孔与第二金属连线电连接。5.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，所述至少一个第一金属连线的两侧还设置有第一伪金属连线，所述至少一个第二金属连线的两侧还设置有第二伪金属连线。6.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，所述至少一个第一金属连线的数量与所述至少一个第二金属连线的数量相同。7.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，所述至少一个第一金属连线与所述至少一个第二金属连线呈类l型排布。8.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。9.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，还包括：第三焊垫和第四焊垫，所述第二焊垫与第三焊垫之间和所述第三焊垫与第四焊垫之间均设置有所述测试主体，其中，所述第一焊垫和所述第二焊垫与位于所述第一焊垫和所述第二焊垫之间的测试主体的第一金属连线电连接，与所述第一焊垫电连接的第一金属连线和与所述第二焊垫电连接的第一金属连线交替间隔分布；所述第二焊垫和所述第三焊垫与位于所述第二焊垫和所述第三焊垫之间的测试主体的第二金属连线电连接，与所述第二焊垫电连接的第二金属连线和与所述第三焊垫电连接的第二金属连线交替间隔分布；所述第三焊垫与位于所述第三焊垫和所述第四焊垫之间的测试主体的第一金属连线
电连接，所述第四焊垫与位于所述第三焊垫和所述第四焊垫之间的测试主体的第二通孔金属连线电连接。10.如权利要求9所述的电性测试结构，其特征在于，所述第一焊垫、所述第二焊垫、所述第三焊垫、所述第四焊垫沿同一条直线排列。
技术总结
本申请提供一种金属连线电性测试结构，包括：测试主体，包括：至少一个第一金属连线，沿第一方向依次排列，所述第一金属连线的两端表面形成有第一通孔；至少一个第二金属连线，沿第二方向依次排列，所述第二金属连线的两端表面形成有第二通孔，所述至少一个第二金属连线与所述至少一个第一金属连线对应设置；第一焊垫，位于所述测试主体的一侧，通过第一金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接；第二焊垫，位于所述测试主体的另一侧，通过第二金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接。本申请通过巧妙的金属连线分布，利用最有时效性的电性测试，可以有针对性的测试相同结构和不同结构的金属连线之间的漏电情况。不同结构的金属连线之间的漏电情况。不同结构的金属连线之间的漏电情况。
技术研发人员：杨勇
受保护的技术使用者：中芯南方集成电路制造有限公司
技术研发日：2021.08.17
技术公布日：2023/4/5