图像传感器的制作方法

文档序号:29789877发布日期:2022-04-23 17:20阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种图像传感器,包括:基板,具有第一像素区和第二像素区;和在所述基板的第一表面上的微透镜层,其中所述微透镜层包括:第一透镜图案,在所述基板的所述第一像素区上;和第二透镜图案,在所述基板的所述第二像素区上,其中所述第一像素区的宽度大于所述第二像素区的宽度,以及其中所述第一透镜图案的高度大于所述第二透镜图案的高度。2.根据权利要求1所述的图像传感器,还包括在所述微透镜层与所述基板的所述第一表面之间的滤色器,其中所述滤色器与所述第一透镜图案和所述第二透镜图案垂直地重叠。3.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第一透镜图案具有弯曲表面,其中在所述第一透镜图案的所述弯曲表面与所述基板的所述第一表面之间的最大间隔是第一半径的2.5倍至3.5倍,其中所述第一半径是由至少三个点形成的假想圆形的半径,该至少三个点从在所述第一透镜图案的所述弯曲表面上的点中选择。4.根据权利要求1所述的图像传感器,其中当在平面图中观看时,所述基板的所述第一像素区具有八边形形状,以及当在平面图中观看时,所述基板的所述第二像素区具有与所述第一像素区的所述八边形形状不同的形状。5.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述微透镜层还包括在所述基板与所述第一透镜图案之间以及在所述基板与所述第二透镜图案之间的平坦化层,其中所述第一透镜图案和所述第二透镜图案连接到所述平坦化层。6.根据权利要求5所述的图像传感器,其中所述平坦化层的高度是所述第一透镜图案的所述高度的0.8倍至1.5倍。7.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第一透镜图案具有弯曲表面并且所述第二透镜图案具有弯曲表面,其中所述第一透镜图案的所述高度是所述第一透镜图案的宽度的30%至50%,其中所述第一透镜图案的所述宽度是在所述第一透镜图案的所述弯曲表面与所述第二透镜图案的所述弯曲表面相接的位置的水平处的宽度。8.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第二透镜图案的所述高度是所述第一透镜图案的所述高度的20%至30%。9.根据权利要求1所述的图像传感器,还包括:多个光电转换区,对应地在所述基板的所述第一像素区和所述第二像素区中;和隔离图案,在所述基板中且在所述多个光电转换区之间。10.一种图像传感器,包括:基板,具有第一像素区和第二像素区,该第二像素区的宽度不同于所述第一像素区的宽度;多个光电转换区,对应地在所述基板的所述第一像素区和所述第二像素区中;以及
在所述基板的第一表面上的微透镜层,所述微透镜层覆盖所述基板的所述第一像素区和所述第二像素区,其中所述微透镜层包括:第一透镜图案,在所述基板的所述第一像素区上,所述第一透镜图案具有第一弯曲表面;和第二透镜图案,在所述基板的所述第二像素区上,所述第二透镜图案具有第二弯曲表面,其中,在所述第一弯曲表面与所述第二弯曲表面相接的位置的水平处,所述第一透镜图案的宽度大于所述第二透镜图案的宽度,以及其中所述第一透镜图案的高度大于所述第二透镜图案的高度。11.根据权利要求10所述的图像传感器,还包括在所述基板的所述第一表面上的滤色器,其中所述第一透镜图案和所述第二透镜图案在所述滤色器上。12.根据权利要求10所述的图像传感器,其中当在平面图中观看时,所述基板的所述第一像素区具有八边形形状,以及当在平面图中观看时,所述基板的所述第二像素区具有四边形形状。13.根据权利要求10所述的图像传感器,其中所述第二透镜图案的所述宽度是所述第一透镜图案的所述宽度的30%至50%。14.根据权利要求10所述的图像传感器,其中在所述第一透镜图案的所述第一弯曲表面与所述基板的所述第一表面之间的最大间隔是第一半径的2.5倍至3.5倍,其中所述第一半径是由至少三个点形成的假想圆形的半径,该至少三个点从在所述第一透镜图案的所述第一弯曲表面上的点中选择。15.根据权利要求10所述的图像传感器,其中所述基板包括:第一浮置扩散区,在所述基板的所述第一像素区上;和第二浮置扩散区,在所述基板的所述第二像素区上。16.根据权利要求10所述的图像传感器,其中所述微透镜层还包括在所述基板与所述第一透镜图案之间以及在所述基板与所述第二透镜图案之间的平坦化层,其中所述平坦化层连接到所述第一透镜图案和所述第二透镜图案。17.一种图像传感器,包括:基板,具有第一像素区和第二像素区;多个光电转换区,对应地在所述基板的所述第一像素区和所述第二像素区中;隔离图案,在所述基板中且在所述多个光电转换区之间;滤色器,在所述基板的第一表面上;在所述滤色器上的微透镜层;第一栅极图案,在所述基板的所述第一像素区上且在所述基板的第二表面上;第二栅极图案,在所述基板的所述第二像素区上且在所述基板的所述第二表面上;以及在所述基板的所述第二表面上的布线层,所述布线层覆盖所述第一栅极图案和所述第二栅极图案,
其中所述基板包括:第一浮置扩散区,在所述基板的所述第一像素区上;和第二浮置扩散区,在所述基板的所述第二像素区上,其中所述微透镜层包括:第一透镜图案,在所述基板的所述第一像素区上;第二透镜图案,在所述基板的所述第二像素区上;以及平坦化层,在所述滤色器和所述第一透镜图案之间以及在所述滤色器和所述第二透镜图案之间,其中所述第一透镜图案和所述第二透镜图案在所述滤色器上,其中所述第一像素区的宽度大于所述第二像素区的宽度,以及其中所述第一透镜图案的高度大于所述第二透镜图案的高度。18.根据权利要求17所述的图像传感器,其中所述第一透镜图案具有第一弯曲表面并且所述第二透镜图案具有第二弯曲表面,在所述第一弯曲表面与所述第二弯曲表面相接的位置的水平处,所述第二透镜图案的宽度是所述第一透镜图案的宽度的30%至50%,所述第二透镜图案的所述高度是所述第一透镜图案的所述高度的20%至30%,所述第一透镜图案的所述高度是所述第一透镜图案的所述宽度的30%至50%,以及所述平坦化层的高度是所述第一透镜图案的所述高度的0.8倍至1.5倍。19.根据权利要求17所述的图像传感器,其中所述图像传感器包括多个所述第一透镜图案和多个所述第二透镜图案,当在平面图中在第一方向上观看时,所述多个第二透镜图案对应地在所述多个第一透镜图案之间,当在平面图中在第二方向上观看时,所述多个第二透镜图案对应地在所述多个第一透镜图案之间,以及所述第二方向与所述第一方向交叉。20.根据权利要求17所述的图像传感器,其中所述第一透镜图案具有弯曲表面,其中在所述第一透镜图案的所述弯曲表面与所述基板的所述第一表面之间的最大间隔是第一半径的2.5倍至3.5倍,其中所述第一半径是由至少三个点形成的假想圆形的半径,该至少三个点从在所述第一透镜图案的所述弯曲表面上的点中选择。

技术总结
本公开提供了图像传感器。一种图像传感器包括具有第一像素区和第二像素区的基板以及在基板的第一表面上的微透镜层。微透镜层包括在基板的第一像素区上的第一透镜图案以及在基板的第二像素区上的第二透镜图案。第一像素区的宽度大于第二像素区的宽度,并且第一透镜图案的高度大于第二透镜图案的高度。图案的高度大于第二透镜图案的高度。图案的高度大于第二透镜图案的高度。


技术研发人员:李冈旻 李准泽
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2021.09.03
技术公布日:2022/4/22
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1