一种芯片加工生产用芯片检测设备的制作方法

文档序号:28680730发布日期:2022-01-29 05:10阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种芯片加工生产用芯片检测设备,包括底座(1)、设置于底座(1)上方的顶板(2),其特征在于,所述底座(1)与顶板(2)之间通过升降装置(3)连接;所述底座(1)上设置有检测装置(4)和传输装置(5);所述传输装置(5)位于检测装置(4)的两侧;所述顶板(2)上设置有夹持装置(7)和用于驱动夹持装置(7)移动的移动装置(6);所述夹持装置(7)包括与移动装置(6)连接的夹持机构(71)、设置于夹持机构(71)上的吸附机构(72)。2.如权利要求1所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述检测装置(4)包括设置于底座(1)中心处的检测台(41)、设置于检测台(41)两侧的检测机构(42);所述检测机构(42)包括滑动设置于底座(1)上的安装座(421)、设置于安装座(421)上的检测头(422)、设置于安装座(421)上并用于驱动检测头(422)移动的调节组件(423);所述底座(1)上转动连接有并排设置的第一双向丝杠(43)和导向杆(44);所述安装座(421)关于检测台(41)对称设置有两个,且两个所述安装座(421)分别螺纹连接于所述第一双向丝杠(43)的两端;两个所述安装座(421)套设于导向杆(44)上并与导向杆(44)滑动配合;所述底座(1)上设置有调节电机(45);所述调节电机(45)的输出轴与第一双向丝杠(43)的一端固定。3.如权利要求2所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述调节组件(423)包括转动连接于安装座(421)上端面的调节丝杠(4231)、螺纹连接于调节丝杠(4231)上的调节座(4232);所述调节丝杠(4231)的长度方向与底座(1)的长度方向相互垂直;所述调节座(4232)沿调节丝杠(4231)的长度方向设置有多个;每个所述调节座(4232)靠近检测台(41)的一侧均与一个检测头(422)固定。4.如权利要求1所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述传输装置(5)包括转动设置于底座(1)上的进料传送带(51)和出料传送带(52);所述进料传送带(51)和出料传送带(52)均沿底座(1)的长度方向设置,且进料传送带(51)和出料传送带(52)分别位于检测台(41)的两侧;所述出料传送带(52)的一侧设置有回收箱(53)。5.如权利要求1所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述夹持机构(71)包括与移动装置(6)连接的安装盒(711)、设置于安装盒(711)内的驱动组件(712)、滑动设置于驱动组件(712)下端面的夹持板(713);所述夹持板(713)沿安装盒(711)的中心对称设置有两个;所述驱动组件(712)用于驱动两个夹持板(713)相互靠近或远离;两个所述夹持板(713)的两侧均开设有竖直的滑槽(7131);所述滑槽(7131)内滑动连接有滑块(714);两个所述夹持板(713)的两侧均转动连接有连杆(715);一个所述夹持板(713)上的所述连杆(715)的另一端与另一个所述夹持板(713)上的滑块(714)转动连接。6.如权利要求5所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述驱动组件(712)包括转动连接于安装盒(711)内的第二双向丝杠(7121)、设置于安装盒(711)一侧的驱动电机(7122)、螺纹连接于第二双向丝杠(7121)上的两个驱动座(7123);所述驱动电机(7122)的输出轴与第二双向丝杠(7121)的一端固定连接;所述安装盒
(711)的盒底开设有条形槽(7111);所述条形槽(7111)的长度方向与安装盒(711)的长度方向一致;一个所述驱动座(7123)与一个对应的所述夹持板(713)通过连接块(7112)固定连接;所述连接块(7112)滑动连接于条形槽(7111)内。7.如权利要求5所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述吸附机构(72)包括设置于所述安装盒(711)的下端面的固定筒(721)、插接于固定筒(721)内并沿固定筒(721)滑动配合的固定柱(722)、设置于固定柱(722)下端面的吸盘(724);所述固定筒(721)位于安装盒(711)的中心处;所述固定筒(721)的内顶壁与固定柱(722)的上端面通过固定弹簧(723)连接。8.如权利要求7所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述吸盘(724)的下端面低于所述夹持板(713)的下端面。9.如权利要求1所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述移动装置(6)包括固定于顶板(2)下端面的两个安装板(61);两个所述安装板(61)之间转动连接有移动丝杠(62)和齿轮柱(63);所述移动丝杠(62)和齿轮柱(63)与顶板(2)的长度方向一致;所述移动丝杠(62)上螺纹连接有移动座(66);所述移动座(66)的上端面与顶板(2)的下端面滑动连接;所述移动座(66)的下端面固定有移动套(67);所述移动套(67)内滑动连接有移动齿条(68);所述移动齿条(68)的滑动方向与底座(1)的长度方向相互垂直;所述移动齿条(68)的长度方向与所述齿轮柱(63)的长度方向相垂直;所述移动齿条(68)的下端面与齿轮柱(63)相啮合;所述移动齿条(68)的一端穿过移动套(67);所述移动齿条(68)的另一端与夹持装置(7)固定;一个所述安装板(61)的一侧设置有第一移动电机(64)和第二移动电机(65);所述第一移动电机(64)的输出轴与移动丝杠(62)的一端固定连接;所述第二移动电机(65)的输出轴与齿轮柱(63)的一端固定连接。10.如权利要求1所述的一种芯片加工生产用芯片检测设备,其特征在于,所述升降装置(3)包括转动连接于底座(1)上的两个升降丝杠(31)、固定于底座(1)上的两个安装杆(32);两个所述升降丝杠(31)和两个所述安装杆(32)分别位于底座(1)的四个拐角处;所述升降丝杠(31)穿过顶板(2)并与顶板(2)螺纹连接;所述安装杆(32)穿过顶板(2)并与顶板(2)滑动配合;两个所述升降丝杠(31)的下端均伸入所述底座(1)内并固定有传动轮(33);两个所述传动轮(33)上套设有传动带(34);所述底座(1)内部固定有升降电机(35);所述升降电机(35)的输出轴与一个传动轮(33)的中心固定连接。

技术总结
本发明涉及芯片生产技术领域,公开了一种芯片加工生产用芯片检测设备,包括底座、设置于底座上方的顶板,所述底座与顶板之间通过升降装置连接;所述底座上设置有检测装置和传输装置;所述传输装置位于检测装置的两侧;所述顶板上设置有夹持装置和用于驱动夹持装置移动的移动装置;所述夹持装置包括与移动装置连接的夹持机构、设置于夹持机构上的吸附机构。本发明具有的提高检测精确度的效果。本发明具有的提高检测精确度的效果。本发明具有的提高检测精确度的效果。


技术研发人员:龙天瑞 华传健 陈奇志
受保护的技术使用者:凯德技术长沙股份有限公司
技术研发日:2021.09.08
技术公布日:2022/1/28
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