技术特征：
1.一种成像装置，包括：在一个集成电路上设置的多个光学传感器；多组干涉滤光片，其中，多组干涉滤光片中的一组干涉滤光片包括构成某种阵列的多个干涉滤光片，其中每个干涉滤光片经过配置允许不同波长范围的光通过；以及多组吸收滤光片，其中，多组吸收滤光片中的一组吸收滤光片包括构成某种阵列的多个吸收滤光片，其中，每个吸收滤光片与一个或多个干涉滤光片关联，形成一个吸收滤光片和干涉滤光片对，其中，每个吸收滤光片和干涉滤光片对经过配置允许波长范围比单独吸收滤光片更窄的光通过，其中，每个吸收滤光片和干涉滤光片与多个光学传感器中的一个或多个光学传感器关联。2.根据权利要求1所述的成像装置，其中，通过蚀刻停止层将多组干涉滤光片与多个光学传感器分离。3.根据权利要求1所述的成像装置，其中，还通过一个气隙或基本透明的材料将多组干涉滤光片与多个光学传感器分离。4.根据权利要求3所述的成像装置，其中，所述基本透明材料包括一种或多种有机材料。5.根据权利要求3所述的成像装置，其中，所述透明材料通过优化来限制反射，和/或可能包括一个合金梯度或层堆栈。6.根据权利要求1所述的成像装置，其中，从包括短通滤光片、长通滤光片、带通滤光片或带阻滤光片的一组滤光片中选择每个干涉滤光片，其中，每个干涉滤光片经过配置允许紫外光谱范围、可见光谱范围、近红外光谱范围和红外光谱范围中至少一个范围的光通过。7.根据权利要求1所述的成像装置，其中，多组干涉滤光片中的一个或多个干涉滤光片包括一个法布里-珀罗滤光片。8.根据权利要求1所述的成像装置，其中，至少多组吸收滤光片中的一些吸收滤光片经过配置阻隔红外波长范围的光。9.根据权利要求1所述的成像装置，其中，至少多组吸收滤光片中的一些吸收滤光片至少包括一个有机滤光片或电浆滤光片。10.根据权利要求1所述的成像装置，其中，通过蚀刻停止层将多组吸收滤光片与多个干涉滤光片分离。11.根据权利要求1所述的成像装置，其中，还通过一个气隙或基本透明的材料将所述吸收滤光片与多个干涉滤光片分离。12.根据权利要求1所述的成像装置，其中，一组干涉滤光片中的第一干涉滤光片和一组干涉滤光片中的第二干涉滤光片与多组吸收滤光片中的一组吸收滤光片中的一个吸收滤光片关联，其中，第一干涉滤光片和第二干涉滤光片经过配置在与吸收滤光片组合时提供响应，分别包括第一透射峰和第二透射峰，其中，所述第一透射峰的波长低于吸收滤光片的峰值响应，第二透射峰的波长高于吸收滤光片的峰值响应。13.根据权利要求1所述的成像装置，进一步包括：多个布置在多组吸收滤光片中的一组吸收滤光片顶部的微透镜，其中，各微透镜与至少一个吸收滤光片关联。14.根据权利要求1所述的成像装置，其中，所述多个光学传感器排列成光学传感器阵
列，其中，多组干涉滤光片中的多个干涉滤光片与所述光学传感器阵列中的多个(并非所有)光学传感器关联。15.根据权利要求1所述的成像装置，进一步包括：多个挡光片，其中，所述多个挡光片通过调整可减弱一个或多个相邻吸收和干涉滤光片对之间反射的光。16.根据权利要求1所述的成像装置，其中，多组干涉滤光片中的每个干涉滤光片分别包括一个顶面和一个底面，其中，多个干涉滤光片中的一个或多个滤光片在顶面和底面之间包括一个空腔，其中，所述空腔至少包含一种非晶态或半晶态材料。17.根据权利要求1所述的成像装置，其中，多组干涉滤光片中的每个干涉滤光片分别包括一个顶面和一个底面，其中，多个干涉滤光片中的一个或多个滤光片在顶面和底面之间包括一个空腔，其中，所述空腔包括一种或多种材料，此类材料通过调整可至少吸收一些无用波长，同时至少允许一些所需波长通过。18.根据权利要求1所述的成像装置，其中，多组干涉滤光片中的至少一些干涉滤光片经过配置允许多个波段的光通过。19.一种方法，包括以下步骤：在一个半导体衬底上沉积第一组薄膜层，其中，所述半导体衬底包括多个光学传感器阵列，其中，所述第一组薄膜层包括一个第一镜面层、一个空腔层和一个第二镜面层；从半导体晶圆衬底多个预定区域中去除第一组薄膜层；在半导体晶圆衬底上沉积第二组薄膜层，其中，所述第二组薄膜层包括一个空腔层和一个第二镜面层；从半导体晶圆衬底的多个预定区域中去除第二组薄膜层；涂覆一个第一吸收滤光片层；涂覆一个第二吸收滤光片层；以及涂覆一个第三吸收滤光片层。20.根据权利要求19所述的方法，进一步包括以下步骤：在半导体晶圆衬底上沉积第三组薄膜层，其中，所述第三组薄膜层包括一个空腔层和一个第二镜面层；以及从半导体晶圆衬底的多个预定区域中去除第三组薄膜层。
技术总结
一种成像装置，包括在一个集成电路上设置的多个光学传感器和多组干涉滤光片，其中，多组干涉滤光片中的一组干涉滤光片包括构成某种阵列的多个干涉滤光片，其中每个干涉滤光片经过配置允许不同波长范围的光通过。本发明还包括多组吸收滤光片，其中，多组吸收滤光片中的一组吸收滤光片包括构成某种阵列的多个吸收滤光片，每个吸收滤光片与一个或多个干涉滤光片关联，形成一个吸收滤光片和干涉滤光片对。每个吸收滤光片和干涉滤光片对与一个或多个光学传感器关联，经过配置允许波长范围比单独吸收滤光片更窄的光通过。独吸收滤光片更窄的光通过。独吸收滤光片更窄的光通过。
技术研发人员：J
受保护的技术使用者：光谱公司
技术研发日：2021.10.08
技术公布日：2022/4/12