一种具有晶圆保护装置的晶舟的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种具有晶圆保护装置的晶舟。


背景技术：

2.在对晶圆的加工过程中，需要将晶圆放置于晶舟中以实现对晶圆的传送，晶舟传送过程中，开口向上设置，可以防止晶圆从晶舟内掉出。然而在将晶圆从一个晶舟内转移到另一个晶舟内时，需要将晶舟翻转，使两晶舟的开口相对设置，在翻转过程中，晶圆容易从开口处掉出，从而产生破片，造成损失。


技术实现要素：

3.本发明所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中晶舟翻转过程中，晶圆容易从开口处掉出，从而产生破片，造成损失的不足，本发明提供一种具有晶圆保护装置的晶舟。
4.本发明解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种具有晶圆保护装置的晶舟，包括舟体以及设于舟体上的保护装置，所述舟体内设有一排用于放置晶圆的插槽，所述舟体上端设有存入或取出晶圆的开口，所述保护装置包括u形限位杆和限位组件，所述u形限位杆与所述舟体的侧板转动连接，所述u形限位杆沿转动中心转动靠近或远离所述舟体开口，所述限位组件用于将所述u形限位杆固定在舟体开口处或者固定在侧板外壁面上。
5.将晶圆放置在舟体插槽内，当舟体之间转移晶圆时，翻转舟体，使舟体开口设于侧面；翻转舟体前，将u形限位杆沿转动中心转动，将u形限位杆设于舟体开口处，同时限位组件将u形限位杆位置固定，u形限位杆用于防止晶圆从舟体开口处掉出；两舟体之间转移晶圆时，u形限位杆沿转动中心转动远离舟体开口，同时限位组件将u形限位杆固定在侧板外壁面上，防止u形限位杆对晶圆转移造成干涉。
6.进一步，为了使u形限位杆可以与侧板转动连接，同时可以通过限位组件使u形限位杆挡住舟体开口，防止晶圆从舟体开口处掉出，所述限位组件包括设于所述侧板侧壁上的l形限位槽，所述l形限位槽底壁拐角处设有第一插槽，所述侧板与l形限位槽相对设置的另一侧侧壁上设有第二插槽，所述u形限位杆开口处相对设置有两个转动部，两个所述转动部分别插设于所述第一插槽和第二插槽内，所述第一插槽或第二插槽内设有驱动所述u形限位杆侧边卡设于所述l形限位槽内的弹簧。
7.两个转动部分别插设于第一插槽和第二插槽内，两个转动部在第一插槽和第二插槽内转动，从而带动u形限位杆与侧板转动；u形限位杆可以沿第一插槽和第二插槽的轴向窜动，通过弹簧使u形限位杆侧边卡设于l形限位槽内，当u形限位杆侧边卡在l形限位槽内时，u形限位杆就无法在侧板上转动，此时u形限位杆位置固定，u形限位杆挡住舟体开口或者固定于侧板外壁面上；需要调整u形限位杆位置时，则需克服弹簧弹力，使u形限位杆设于l形限位槽内的侧边滑出l形限位槽，可以自由转动u形限位杆。
8.进一步，为了方便人手操作，所述u形限位杆上设有用于克服弹簧弹力驱动所述u
形限位杆侧边脱出l形限位槽的按压部。
9.进一步，晶舟开口翻转至侧面时，侧板靠近l形限位槽的一侧与工作台接触，为了给u形限位杆留下滑出l形限位槽的空间，所述侧板靠近l形限位槽的一侧设有用于供所述u形限位杆侧边脱出l形限位槽的避让槽。
10.进一步，所述舟体包括相对设置的两侧板，两所述侧板之间设有前挡板和后挡板，所述前挡板和后挡板之间设有一个或多个间隔设置的用于托住晶圆底部的托料杆，所述l形限位槽设于侧板靠近前挡板的侧壁上。
11.进一步，两所述侧板外壁面上均设有把手，所述把手从后挡板向前挡板方向向上倾斜。将晶舟从开口向上状态翻转至开口侧向设置时，通过握住把手进行翻转，由于晶舟内放置晶圆时，整体重量较重，如果把手水平或竖直设置，翻转过程中容易与手之间出现打滑，因此将把手倾斜设置可以符合人手习惯，工作人员容易操作也更加安全。
12.进一步，所述前挡板高度低于后挡板高度，所述晶圆设于插槽内时正面朝向后挡板方向。前挡板上空的一块主要为了晶圆在晶舟内的气体流量均衡，晶圆在晶舟内时背朝前挡板方向。
13.进一步，所述侧板外壁面上设有与所述u形限位杆长边配合的凹槽，所述凹槽与所述l形限位槽下端连通。u形限位杆设于凹槽内时，不凸出于侧板外壁面，防止外部环境挤压到u形限位杆，导致u形限位杆或l形限位槽发生变形，影响精度。
14.本发明的有益效果是：本发明提供的一种具有晶圆保护装置的晶舟，采用u形限位杆与舟体侧板转动连接，翻转舟体时通过u形限位杆挡住舟体开口，防止晶圆掉出，通过弹簧将u形限位杆侧边卡进侧板上的l形限位槽内，限制住u形限位杆的位置，保证u形限位板挡料的可靠性，结构简单，减少破片的产生。
附图说明
15.下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
16.图1是本发明最佳实施例的结构示意图；
17.图2是u形限位杆挡在舟体开口处的结构示意图；
18.图3是图2中a的放大示意图；
19.图4是u形限位杆收在侧板凹槽内的结构示意图；
20.图5是u形限位杆收在侧板凹槽内的结构示意图；
21.图6是图5中b的放大示意图；
22.图7是u形限位杆与侧板配合的结构示意图；
23.图8是晶圆的结构示意图。
24.图中：1、舟体，11、侧板，111、第一插槽，112、第二插槽，113、避让槽，114、凹槽，12、前挡板，13、后挡板，14、托料杆，2、插槽，3、晶圆，4、l形限位槽，5、u形限位杆，51、转动部，52、按压部，6、弹簧，7、把手。
具体实施方式
25.现在结合附图对本发明作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
26.如图1-8所示，本发明的一种具有晶圆保护装置的晶舟，包括舟体1以及设于舟体1上的保护装置，所述舟体1内设有一排用于放置晶圆3的插槽2，所述舟体1上端设有存入或取出晶圆3的开口，所述保护装置包括u形限位杆5和限位组件，所述u形限位杆5与所述舟体1的侧板11转动连接，所述u形限位杆5沿转动中心转动靠近或远离所述舟体1开口，所述限位组件用于将所述u形限位杆5固定在舟体1开口处或者固定在侧板11外壁面上。
27.所述限位组件包括设于所述侧板11侧壁上的l形限位槽4，所述l形限位槽4底壁拐角处设有第一插槽111，所述侧板11与l形限位槽4相对设置的另一侧侧壁上设有第二插槽112，所述u形限位杆5开口处相对设置有两个转动部51，两个所述转动部51分别插设于所述第一插槽111和第二插槽112内，转动部51在第一插槽111和第二插槽112内转动加滑动，所述第一插槽111或第二插槽112内设有驱动所述u形限位杆5侧边卡设于所述l形限位槽4内的弹簧6。弹簧6控制u形限位杆5一边的侧边紧贴在侧板11侧壁上，当u形限位杆5侧边滑进l形限位槽4内时，u形限位杆5位置卡住。
28.所述u形限位杆5上设有用于克服弹簧6弹力驱动所述u形限位杆5侧边脱出l形限位槽4的按压部52。
29.所述侧板11靠近l形限位槽4的一侧设有用于供所述u形限位杆5侧边脱出l形限位槽4的避让槽113。
30.所述舟体1包括相对设置的两侧板11，两所述侧板11之间设有前挡板12和后挡板13，所述前挡板12和后挡板13之间设有两个间隔设置的用于托住晶圆3底部的托料杆14，所述l形限位槽4设于侧板11靠近前挡板12的侧壁上。
31.两所述侧板11外壁面上均设有把手7，所述把手7从后挡板13向前挡板12方向向上倾斜。
32.所述前挡板12高度低于后挡板13高度，所述晶圆3设于插槽2内时正面朝向后挡板13方向。
33.所述侧板11外壁面上设有与所述u形限位杆5长边配合的凹槽114，所述凹槽114与所述l形限位槽4下端连通。
34.工作过程：
35.晶圆3设于舟体1插槽2内，当需要舟体1之间转移晶圆3时，工作人员抓住侧板11两侧把手7翻转舟体1，将舟体1开口由向上设置翻转至侧向设置；
36.翻转舟体1前，按住u形限位杆5上的按压部52，压缩设于第一凹槽114内的弹簧6，u形限位杆5远离按压部52的一边滑出l形限位槽4，将u形限位杆5沿转动中心转动，将u形限位杆5转动至舟体1开口处，松开按压部52，第一凹槽114内的弹簧6复位，将u形限位杆5靠近l形限位槽4的侧边卡进l形限位槽4内，此时u形限位杆5位置固定，防止舟体1翻转过程中晶圆3从舟体1开口处掉出；
37.舟体1开口翻转至侧向设置后，工作人员按住按压部52，压缩设于第一凹槽114内的弹簧6，u形限位杆5远离按压部52的一边滑出l形限位槽4，将u形限位杆5沿转动中心转动，将u形限位杆5转动至侧板11上的凹槽114内，松开按压部52，第一凹槽114内的弹簧6复位，将u形限位杆5靠近l形限位槽4的侧边卡进l形限位槽4内，此时u形限位杆5位置固定，不会影响晶圆3转移。
38.本发明中方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征
的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。
39.以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本发明的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。