一种显示面板及其制备方法、显示装置与流程

1.本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及其制备方法、显示装置。


背景技术：

2.随着显示技术的发展，用户对电子设备视觉体验性方面(如屏占比)有了更高的要求，使得电子设备的全面屏显示受到业界越来越多的关注。
3.为了实现电子设备前置摄像及光学传感等功能，通常会在显示屏上进行打孔用于容纳摄像头及其他传感器等功能部件。然而，打孔区侧壁容易导致水汽和氧气渗透到显示区，影响显示屏的寿命。


技术实现要素：

4.本发明提供一种显示面板及其制备方法、显示装置，能够防止水汽和氧气从打孔区侧壁渗透到显示区，提升显示面板的可靠性。
5.第一方面，本发明实施例提供了一种显示面板，包括：
6.衬底基板；设置于衬底基板上的中间层；
7.设置于中间层远离衬底基板一侧的有机层，其中，有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构；
8.设置于凸起结构远离中间层一侧的多个隔离结构，凸起结构的侧壁相对于隔离结构的侧壁具有第一凹陷部。
9.如上的显示面板，可选地，凸起结构与隔离结构接触的一面在衬底基板上的正投影位于隔离结构与凸起结构接触的一面在衬底基板上的正投影内；
10.优选地，第一凹陷部的表面呈斜面、弧面、折面、凹凸不平状中的至少一种。
11.如上的显示面板，可选地，显示面板包括打孔区、过渡区和显示区，过渡区至少部分围绕打孔区，显示区至少部分围绕过渡区；其中，凸起结构位于过渡区内。
12.如上的显示面板，可选地，多个凸起结构间隔设置，多个隔离结构间隔设置，且凸起结构与隔离结构一一对应设置，任意相邻的两个凸起结构之间的距离为3-10μm；凸起结构的宽度为3-10μm。
13.如上的显示面板，可选地，隔离结构的侧壁沿平行于衬底基板方向具有第二凹陷部；
14.优选地，沿衬底基板指向中间层的方向，隔离结构包括依次层叠设置的第一隔离金属层、第二隔离金属层和第三隔离金属层；其中，第三隔离金属层在衬底基板上的正投影位于第一隔离金属层在衬底基板上的正投影内；第二隔离金属层在衬底基板上的正投影位于第三隔离金属层在衬底基板上的正投影内，第一隔离金属层、第二隔离金属层和第三隔离金属层的侧壁形成所述第二凹陷部；
15.优选地，第一隔离金属层和第三隔离金属层的材料为惰性金属材料，第二隔离金
属层的材料为铝。
16.如上的显示面板，可选地，中间层包括至少一层绝缘层；优选地，绝缘层为无机绝缘层；
17.显示面板还包括：
18.设置于隔离结构远离凸起结构一侧的封装层。
19.第二方面，本发明实施例还提供了一种显示装置，该显示装置包括具有上述第一方面任一可选方式的显示面板。
20.第三方面，本发明实施例还提供了一种显示面板的制备方法，包括：
21.在衬底基板上形成中间层；
22.在中间层上形成有机层和隔离结构；其中，有机层包括多个沿显示面板厚度方向的凸起结构，凸起结构的侧壁相对于隔离结构的侧壁具有第一凹陷部，隔离结构位于凸起结构远离中间层一侧。
23.如上的显示面板的制备方法，可选地，显示面板包括打孔区、过渡区和显示区，过渡区至少部分围绕打孔区，显示区至少部分围绕过渡区；
24.在中间层上形成有机层和隔离结构，包括：
25.在中间层上形成有机材料层；
26.在有机材料层上依次沉积第一隔离金属材料层、第二隔离金属材料层和第三隔离金属材料层；
27.图案化位于过渡区内的第一隔离金属材料层、第二隔离金属材料层和第三隔离金属材料层，形成隔离结构；
28.对位于过渡区内的有机材料进行内掏，形成凸起结构；
29.优选地，对有机材料进行内掏，形成凸起结构，包括：
30.采用预设材料对有机材料进行刻蚀，形成相对于隔离结构具有第一凹陷部的凸起结构，预设材料为o2、cf4、bcl3、ar中的至少一项构成的等离子体材料，刻蚀时间为70-150s。
31.如上的显示面板的制备方法，可选地，在形成凸起结构后，还包括：
32.对隔离结构进行内掏，使得隔离结构的侧壁沿平行于衬底基板方向具有第二凹陷部。
33.本发明提供一种显示面板及其制备方法、显示装置，通过对有机层进行设计，使得有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构，凸起结构的侧壁相对于隔离结构的侧壁具有第一凹陷部，能大大延长打孔区到显示区的膜层路径，从而有效防止外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区，从而提升显示面板的可靠性。
附图说明
34.图1是本发明实施例提供的一种显示面板的俯视结构示意图；
35.图2是本发明实施例提供的一种打孔区的俯视结构示意图；
36.图3是本发明实施例提供的一种显示面板的局部剖面结构示意图；
37.图4是本发明实施例提供的另一种显示面板的局部剖面结构示意图；
38.图5是本发明实施例提供的又一种显示面板的局部剖面结构示意图；
39.图6是本发明实施例提供的一种显示面板的制备方法的流程示意图；
40.图7是本发明实施例提供的一种显示面板的制备示意图；
41.图8是本发明实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；
42.图9是本发明实施例提供的又一种显示面板的制备方法的流程示意图；
43.图10是本发明实施例提供的另一种显示面板的制备示意图。
具体实施方式
44.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
45.同时，附图和实施例的描述是说明性的而不是限制性的。贯穿说明书的同样的附图标记表示同样的元件。另外，出于理解和易于描述，附图中可能夸大了一些层、膜、面板、区域等的厚度。同时可以理解的是，当诸如层、膜、区域或基板的元件被称作“在”另一元件“上”时，该元件可以直接在其它元件上或者也可以存在中间元件。另外，“在
……
上”是指将元件定位在另一元件上或者在另一元件下方，但是本质上不是指根据重力方向定位在另一元件的上侧上。为了便于理解，本发明附图中都是将元件画在另一元件的上侧。
46.另外，除非明确地描述为相反，否则词语“包括”和诸如“包含”或“具有”的变形将被理解为暗示包含该元件，但不排除任意其它元件。
47.还需要说明的是，本发明实施例中提到的“和/或”是指包括一个或更多个相关所列项目的任何和所有组合。本发明实施例中用“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种组件，但是这些组件不应该受这些术语限制。这些术语仅用来将一个组件与另一组件区分开。并且，除非上下文另有明确指示，否则单数形式“一个”、“一种”和“该()”也意图包括复数形式。
48.当可以不同地实施某个实施例时，具体的工艺顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如，两个连续描述的工艺可以基本上在同一时间执行或者按与所描述顺序相反的顺序来执行。
49.下面，对显示面板的结构、技术效果及其制备方法进行详细描述。
50.另外，下述实施例中均是以显示面板为矩形、打孔区域为圆形为例进行举例说明的，在实际的应用中，显示面板还可以为圆形、多边形等规则或者不规则的形状，打孔区域还可以为矩形、水滴形等规则或者不规则的形状，本发明对此不作具体限制。
51.图1示出了本发明实施例提供的一种显示面板的俯视结构示意图，图2示出了本发明实施例提供的一种打孔区的俯视结构示意图。如图1和图2所示，显示面板包括打孔区a1、过渡区b1和显示区a2，其中，过渡区b1至少部分围绕打孔区a1，显示区a2至少部分围绕过渡区b1。显示区a2具备显示功能，打孔区a1可以用于容纳前置摄像头及其他传感器等功能部件。可选的，打孔区a1的上方也可以设置显示面板，以实现全面屏显示。打孔区a1和过渡区b1通过第一堤坝结构分隔开，即打孔区a1和过渡区b1之间设置有第一堤坝结构；过渡区b1和显示区a2之间设置有第二堤坝结构，即过渡区b1和显示区a2之间设置有第二堤坝结构。
52.可以理解的是，由于打孔区a1的存在，外部的水汽和氧气可能通过打孔区a1穿过过渡区b1渗透到显示区a2，进而对显示区a2内部的显示器件造成侵蚀，导致整个显示面板出现显示失效等问题。为解决上述问题，本发明实施例对过渡区b1进行了设计，图3示出了
本发明实施例提供的一种显示面板的局部剖面结构示意图。
53.如图3所示，对应显示区a2，显示面板包括：衬底基板10；设置于衬底基板10上的驱动层(即薄膜晶体管)，以薄膜晶体管为顶栅结构的薄膜晶体管为例，具体的，该薄膜晶体管包括：位于衬底基板10上的缓冲层101，位于缓冲层101上的有源层102，位于有源层102上的栅极绝缘层103，位于栅极绝缘层103上的栅极104，位于栅极104上的层间绝缘层105，位于层间绝缘层105上的源极106和漏极107；位于源极106和漏极107上的第一钝化层108；其中，源极106和漏极107可以位于同一层，通过一次构图工艺得到，因此，源极106和漏极107还可以称为源漏金属层。
54.衬底基板10可以是柔性的，因而可伸展、可折替、可弯曲或可卷曲，使得显示面板可以是可伸展的、可折叠的、可弯曲的或可卷曲的。衬底基板10可以由具有柔性的任意合适的绝缘材料形成。衬底基板10用于阻挡水汽和氧气，防止湿气或杂质通过基底扩散，并且在基底的上表面上提供平坦的表面。
55.例如，可以由聚酰亚胺(pi)、聚碳酸酯(pc)、聚醚砜(pes)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)、多芳基化合物(par)或玻璃纤维增强塑料(frp)等聚合物材料形成，衬底基板10可以是透明的、半透明的或不透明的。
56.缓冲层101，缓冲层101可以覆盖衬底基板10的整个上表面。例如，缓冲层101可以由从诸如氧化硅(siox)、氮化硅(sinx)、氮氧化硅(sioxny)、氧化铝(alox)或氮化铝(alnx)等无机材料中选择的材料或者诸如亚克力、聚酰亚胺(pi)或聚酯等有机材料中选择的材料形成。缓冲层101可以包括单层或多个层。缓冲层101可以阻挡衬底基板10中的杂质向其他膜层扩散。
57.有源层102位于缓冲层101上，有源层102包括通过掺杂n型杂质离子或p型杂质离子而形成的源极区域和漏极区域。在源极区域和漏极区域之间的区域是沟道区域。
58.有源层102可以是非晶硅材料、多晶硅材料或金属氧化物材料等。其中有源层采用多晶硅材料时可以采用低温非晶硅技术形成，即将非晶硅材料通过该激光熔融形成多晶硅材料。此外，还可以利用诸如快速热退火(rta)法、固相结晶(spc)法、准分子激光退火(ela)法、金属诱导结晶(mic)法、金属诱导横向结晶(milc)法或连续横向固化(sls)法等各种方法。
59.栅极绝缘层103包括诸如氧化硅、氮化硅的无机层，并且可以包括单层或多个层。栅极104位于栅极绝缘层103上，是由金属层构图得到的。金属层可以包括金(au)、银(ag)、铜(cu)、镍(ni)、铂(pt)、钯(pd)、铝(al)、钼(mo)或铬(cr)的单层或多层，或者诸如铝(al)：钕(nd)合金以及钼(mo):钨(w)合金的合金。
60.层间绝缘层105位于栅极104上。层间绝缘层105可以由氧化硅或氮化硅等的绝缘无机层形成。可选择地，层间绝缘层105可以由绝缘有机层形成。
61.源漏金属层(即源极106和漏极107)位于层间绝缘层105上。源极106和漏极107分别通过贯穿栅极绝缘层103和层间绝缘层105的接触孔电连接到源极区域和漏极区域。
62.第一钝化层108位于源漏金属层上。第一钝化层108可以由氧化硅或氮化硅等的无机层形成或者由有机层形成。
63.可选的，该薄膜晶体管还包括：位于第一钝化层108上的过渡金属层109；以及位于过渡金属层109上的第二钝化层110。
64.过渡金属层109分别通过贯穿第一钝化层108的接触孔电连接到源极106和漏极107，过渡金属层109可用于改善显示面板金属走线过细导致的电阻过大的问题。在一实施例中，过渡金属层109的材料可以与源漏金属层的材料相同。
65.第二钝化层110位于过渡金属层109上。示例性的，第二钝化层110可以包括亚克力、聚酰亚胺(pi)或苯并环丁烯(bcb)等的有机层，第二钝化层110具有平坦化作用。
66.薄膜晶体管的上方设置有发光元件，当发光元件为有机发光二极管时，在远离基板10的方向上，发光元件依次包括阳极202、空穴注入层(图3中未画出)、空穴传输层(图3中未画出)、发光层(图3中未画出)、电子传输层(图3中未画出)、电子注入层(图3中未画出)、阴极(图3中未画出)。发光元件的阳极109电连接到薄膜晶体管的漏极107。具体的，阳极202通过穿透第一钝化层108和第二钝化层110的过孔与漏极107电连接。
67.另外，任意相邻两个发光元件通过像素限定层201隔开，像素限定层201上可设置有隔离柱。
68.发光元件的上方设置有封装层(图3中未画出)，封装层可以包括至少一层无机封装层和至少一层有机封装层，其中，无机封装层和有机封装层依次交叠设置。
69.继续参考图3，对应过渡区b1，显示面板包括：衬底基板10；设置于衬底基板10上的中间层11；设置于中间层11远离衬底基板10一侧的有机层，其中，有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构12；设置于凸起结构12远离中间层11一侧的多个隔离结构13，凸起结构12的侧壁相对于隔离结构13的侧壁具有第一凹陷部121(如图3中箭头所指示的部分)。
70.中间层11包括至少一层绝缘层；可选的，绝缘层为无机绝缘层。
71.示例性的，绝缘层可以为薄膜晶体管的缓冲层、栅极绝缘层、层间绝缘层等膜层中的至少一层或者多层的组合，即中间层11可以与显示区a2的薄膜晶体管的上述膜层一同制备，以降低显示面板的制作难度。
72.有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构12，凸起结构12位于过渡区b1内。多个凸起结构12间隔设置，多个隔离结构13间隔设置，且凸起结构12与隔离结构13一一对应设置，凸起结构12可以与显示区a2的薄膜晶体管的第一钝化层108一同制备，隔离结构13可以与显示区a2的薄膜晶体管的过渡金属层109一同制备，以降低显示面板的制作难度。可选的，凸起结构12的材料为光刻胶，选择光刻胶作为凸起结构12的材料便于在工艺上实现对凸起结构12的内掏，形成第一凹陷部121。即凸起结构12与隔离结构13接触的一面(即图3中凸起结构12的上表面)在衬底基板10上的正投影位于隔离结构13与凸起结构12接触的一面(即图3中隔离结构13的下表面)在衬底基板10上的正投影内。本发明实施例通过对有机层进行设计，使得有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构12，从而大大延长了打孔区a1到显示区a2的膜层路径，有效防止外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区a2，提升显示面板的可靠性。
73.可以理解的是，过渡区b1内凸起结构12的数量越多，打孔区a1到显示区a2的膜层路径越长，外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区a2的概率就越低。考虑到显示面板的制备难易程度，可以对凸起结构12的宽度和任意相邻的两个凸起结构12之间的距离进行设计。可选的，任意相邻的两个凸起结构12之间的距离为3-10μm；凸起结构12的宽度为3-10μm。
74.继续参考图3，隔离结构13可以与显示区a2的薄膜晶体管的过渡金属层109一同制
备。在一实施例中，沿衬底基板10指向中间层11的方向，隔离结构13包括依次层叠设置的第一隔离金属层131、第二隔离金属层132和第三隔离金属层133。
75.第一隔离金属层131和第三隔离金属层133的材料为惰性金属材料，惰性金属材料不易与其他物质发生反应，能够保护第二隔离金属层132。例如，第一隔离金属层131和第三隔离金属层133的材料为钛(ti)、氮化钛(tin)及其化合物中的至少一种。
76.第二隔离金属层132的材料为导电性能良好的金属材料，以保证显示面板金属走线的性能。例如，第二隔离金属层132的材料为铝。
77.在一种可能的实施方式中，图4示出了本发明实施例提供的另一种显示面板的局部剖面结构示意图，与图3所示的显示面板不同的是，隔离结构13的侧壁沿平行于衬底基板10方向具有第二凹陷部134(如图4中箭头所指示的部分)。即，第三隔离金属层133在衬底基板10上的正投影位于第一隔离金属层131在衬底基板10上的正投影内；第二隔离金属层132在衬底基板10上的正投影位于第三隔离金属层133在衬底基板10上的正投影内，即第一隔离金属层131、第二隔离金属层132和第三隔离金属层133的侧壁形成第二凹陷部134。如此，可以进一步延长打孔区a1到显示区a2的膜层路径，从而有效防止外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区a2，提升显示面板的可靠性。
78.在一实施例中，第二凹陷部134沿平行于衬底基板10方向的深度可以为0.3μm-0.9μm。
79.还需要说明的是，显示面板还可以包括：设置于隔离结构13远离凸起结构12一侧的封装层(图3和图4中未画出)。封装层可以包括至少一层无机封装层和至少一层有机封装层，其中，无机封装层和有机封装层依次交叠设置。
80.无机封装层可以包括诸如氧化铝、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锌、氧化硅、氮化硅和/或氮氧化硅的无机绝缘材料，并且可以通过例如化学气相沉积(cvd)形成。有机封装层可以包括聚合物类材料。聚合物类材料的示例可以包括丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酰亚胺和聚乙烯。
81.示例性的，在对有机层进行设计时，第一凹陷部121的表面呈斜面、弧面、折面、凹凸不平状中的至少一种。同理，在对隔离结构13进行设计时，第二凹陷部134的表面呈斜面、弧面、折面、凹凸不平状中的至少一种。
82.图5示出了本发明实施例提供的又一种显示面板的局部剖面结构示意图，如图5所示，第一凹陷部121的表面呈弧面，第二凹陷部134的表面呈凹凸不平状。可以理解的是，第一凹陷部121和第二凹陷部134的表面面积越大，打孔区a1到显示区a2的膜层路径越长，外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区a2的概率就越低。
83.本发明实施例提供一种显示面板，包括：衬底基板；设置于衬底基板上的中间层；设置于中间层远离衬底基板一侧的有机层，其中，有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构；设置于凸起结构远离中间层一侧的多个隔离结构，凸起结构的侧壁相对于隔离结构的侧壁具有第一凹陷部。通过对有机层进行设计，使得有机层沿显示面板的厚度方向包括多个凸起结构，凸起结构的侧壁相对于隔离结构的侧壁具有第一凹陷部，能大大延长打孔区到显示区的膜层路径，从而有效防止外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区，从而提升显示面板的可靠性。
84.本发明实施例还提供一种显示装置，该显示装置包括具有上述实施例描述的任一
特征的显示面板。
85.其中，显示面板可以为柔性有机发光显示面板或者非柔性有机发光显示面板。该有机发光显示面板的发光模式可以是顶发光、底发光或者双面发光。显示面板的类型可以为有机发光二极管(organic light-emitting diode，oled)显示面板、平面转换(in-plane switching，ips)显示面板、扭曲向列型(twisted nematic，tn)显示面板、垂直配向技术(vertical alignment，va)显示面板、电子纸、qled(quantum dot light emitting diodes，量子点发光)显示面板或者micro led(微发光二极管，μled)显示面板等显示面板中的任意一种，本发明对此并不具体限制。显示面板的发光模式可以是顶发光、底发光或者双面发光。
86.本发明实施例提供的显示装置，可以应用在智能穿戴设备(如智能手环、智能手表)中，也可以应用在智能手机、平板电脑、显示器等设备中。
87.图6示出了本发明实施例提供的一种显示面板的制备方法的流程示意图，图7示出了本发明实施例提供的一种显示面板的制备示意图。具体的，显示面板的制备方法主要用于制作图3-图5中的过渡区b1。如图6所示，显示面板的制备方法可以包括步骤s101和s102：
88.s101、在衬底基板上形成中间层。
89.衬底基板10可以是柔性的，因而可伸展、可折替、可弯曲或可卷曲，使得显示面板可以是可伸展的、可折叠的、可弯曲的或可卷曲的。衬底基板10可以由具有柔性的任意合适的绝缘材料形成。衬底基板10用于阻挡水汽和氧气，防止湿气或杂质通过基底扩散，并且在基底的上表面上提供平坦的表面。
90.例如，可以由聚酰亚胺(pi)、聚碳酸酯(pc)、聚醚砜(pes)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)、多芳基化合物(par)或玻璃纤维增强塑料(frp)等聚合物材料形成，衬底基板10可以是透明的、半透明的或不透明的。
91.如图7(a)所示，中间层11包括薄膜晶体管的缓冲层、栅极绝缘层、层间绝缘层等膜层中的至少一层或者多层的组合。即在步骤s101中，中间层11可以采用pvd溅射工艺与薄膜晶体管一同制作，在制作的过程中，需去除薄膜晶体管其他的膜层(如栅极金属层、源漏金属层等)。
92.缓冲层可以由从诸如氧化硅(siox)、氮化硅(sinx)、氮氧化硅(sioxny)、氧化铝(alox)或氮化铝(alnx)等无机材料中选择的材料或者诸如亚克力、聚酰亚胺(pi)或聚酯等有机材料中选择的材料形成。缓冲层可以包括单层或多个层。栅极绝缘层包括诸如氧化硅、氮化硅的无机层，并且可以包括单层或多个层。层间绝缘层可以由氧化硅或氮化硅等的绝缘无机层形成。
93.s102、在中间层上形成有机层和隔离结构；其中，有机层包括多个沿显示面板厚度方向的凸起结构，凸起结构的侧壁相对于隔离结构的侧壁具有第一凹陷部，隔离结构位于凸起结构远离中间层一侧。
94.具体的，参考图6，图8示出了本发明实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图，如图8所示，步骤s102中“在中间层上形成有机层和隔离结构”的方法可以包括步骤s102a-s102d：
95.s102a、在中间层上形成有机材料层。
96.如图7(b)-(c)所示，首先在中间层11上沉积一层有机材料，再去除除过渡区b1以
外区域的有机材料，形成有机材料层。
97.s102b、在有机材料层上依次沉积第一隔离金属材料层、第二隔离金属材料层和第三隔离金属材料层。
98.如图7(d)所示，在有机材料层上依次沉积第一隔离金属材料层、第二隔离金属材料层和第三隔离金属材料层。
99.第一隔离金属材料层和第三隔离金属材料层的材料为惰性金属材料，惰性金属材料不易与其他物质发生反应，例如，第一隔离金属材料层和第三隔离金属材料层的材料为钛(ti)、氮化钛(tin)及其化合物中的至少一种。
100.第二隔离金属材料层的材料为导电性能良好的金属材料，例如，第二隔离金属材料层的材料为铝。
101.s102c、图案化位于过渡区内的第一隔离金属材料层、第二隔离金属材料层和第三隔离金属材料层，形成隔离结构。
102.如图7(e)所示，图案化第一隔离金属材料层、第二隔离金属材料层和第三隔离金属材料层，形成隔离结构13。隔离结构13包括依次层叠设置的第一隔离金属层131、第二隔离金属层132和第三隔离金属层133。
103.s102d、对位于过渡区内的有机材料进行内掏，形成相对于隔离结构具有第一凹陷部的凸起结构。
104.如图7(f)所示，对有机材料进行内掏的方法可以采用预设材料对有机材料进行刻蚀，其中预设材料可以为o2、cf4、bcl3、ar中的至少一项构成的等离子体材料，也可以为其他任何能够对有机材料造成内掏效果、但是不影响有机材料上层的隔离结构的等离子体材料，刻蚀时间为70-150s，本发明实施例对此不作具体限制。
105.例如，对有机材料进行内掏可以采用o
2 plasma处理，通过控制asher时间，形成不同深度的第一凹陷部121。
106.可选的，图9示出了本发明实施例提供的又一种显示面板的制备方法的流程示意图，如图9所示，在步骤s102d执行完之后，还可以包括步骤s102e：
107.s102e、对隔离结构进行内掏，使得隔离结构的侧壁沿平行于衬底基板方向具有第二凹陷部。
108.图10示出了本发明实施例提供的另一种显示面板的制备示意图，如图10(g)所示，对隔离结构13进行内掏，使得隔离结构13的侧壁沿平行于衬底基板10方向具有第二凹陷部134。
109.其中，第二凹陷部134沿平行于衬底基板10方向的深度可以为0.3μm-0.9μm。
110.本发明实施例提供了一种显示面板的制备方法，包括：在衬底基板上形成中间层；在中间层上形成有机层和隔离结构；其中，有机层包括多个凸起结构，凸起结构相对于隔离结构具有第一凹陷部，隔离结构位于凸起结构远离中间层一侧。通过对有机层进行设计，使得有机层包括多个凸起结构，凸起结构相对于隔离结构具有第一凹陷部，能大大延长打孔区到显示区的膜层路径，从而有效防止外界的水汽和氧气入侵至显示面板的显示区，从而提升显示面板的可靠性。
111.注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、
重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。