技术特征：
1.一种砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，其特征在于：通过电镀法或化学镀法制备镍层，通过蒸镀法或磁控溅射法制备锗层和银层。2.根据权利要求1所述的砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，其特征在于：蒸镀银层后，再进行电镀加厚银层。3.根据权利要求1所述的砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，其特征在于：通过蒸镀法或磁控溅射法制备30nm-100nm锗层和50nm-500nm银层。4.根据权利要求1所述的砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，其特征在于：在电镀镍之前，对电池受光面进行涂胶腐蚀。5.根据权利要求1所述的砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，其特征在于：具体步骤如下：涂胶，对电池受光面进行涂胶；腐蚀，对下电极待蒸镀表面进行腐蚀活化；镍层制备，在外延片外侧通过电镀法或化学镀法制备镍层；锗银层制备，在镍层外侧依次通过蒸镀法或磁控溅射法制备锗层和银层；加厚银层制备，对电池下电极进行电镀加厚银层。
技术总结
本发明公开一种砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，通过电镀法或化学镀法制备镍层，通过蒸镀法或磁控溅射法制备锗层和部分银层，再通过电镀法进行银层加厚。制备镍锗银电极，其中镍层和锗层分别采用不同的制备方法，将电镀工艺和蒸镀工艺结合，最大程度降低了生产成本，同时保证了镍层的品质，避免真空蒸镀法中镍和坩埚套共熔的现象，还可以避免磁控溅射法中金属镍对其他腔体的污染的问题；另外本发明通过电镀工艺或化学镀制备镍层，最大限度的利用了金属材料，减少了金属材料的浪费；电镀工艺设备简单，维护成本低，规模化生产成本低，化学品的排放量很少；电镀可以批量同步生产，工时更短。工时更短。工时更短。
技术研发人员：王鑫 肖志斌 杜永超 李晓东 许军 梁存宝
受保护的技术使用者：天津恒电空间电源有限公司
技术研发日：2021.12.22
技术公布日：2022/4/8