技术特征：
1.一种免清洗托盘，其特征在于，包括：第一托盘，第二托盘；所述第一托盘用于承载电池片进出pecvd设备，所述第二托盘铺设于所述第一托盘的上端表面，所述第二托盘开设有若干用于放置片状元件的镂空空腔，所述第二托盘能够对所述第一托盘的表面进行遮挡，所述第一托盘为玻璃托盘，所述第二托盘为薄云母片或陶瓷片，所述第二托盘直接参与工艺镀膜。2.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述第二托盘能够对第一托盘表面进行遮挡，起到精确定位片状原件及遮挡玻璃托盘的作用。3.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述第一托盘与所述第二托盘的尺寸相同。4.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述镂空空腔呈矩形阵列排布。5.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述第二托盘能够增加若干定位点，易于视觉系统的实施。6.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述片状原件为硅片。7.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述第二托盘能够直接更换。8.根据权利要求1所述的一种免清洗托盘，其特征在于，所述相邻镂空空腔之间形成有遮挡部，所述遮挡部能够阻挡片状原件移动。
技术总结
本发明提供了一种免清洗托盘，包括：第一托盘，第二托盘；所述第一托盘用于承载电池片进出PECVD设备，所述第二托盘铺设于所述第一托盘的上端表面，所述第二托盘开设有若干用于放置片状元件的镂空空腔，所述第二托盘能够对所述第一托盘的表面进行遮挡，所述第一托盘为玻璃托盘，所述第二托盘为薄云母片或陶瓷片，所述第二托盘直接参与工艺镀膜。通过本发明的公开，可以解决玻璃托盘膜层去除问题，提高玻璃托盘的使用寿命，降低异质结电池托盘的使用成本，由于玻璃透明，难以施加光学定位点，硅片的定位精度难以保证，第二托盘的使用，容易增加定位点，便于视觉系统的实施，利于自动化生产的开展。产的开展。产的开展。
技术研发人员：马世猛 代智杰 周广福
受保护的技术使用者：苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）
技术研发日：2021.12.29
技术公布日：2022/4/12