一种晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置的制作方法

1.一种晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置，属于晶圆加工辅助设备技术领域。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。在通过晶圆生产电子元件的过程中，需要在晶圆上涂刷玻璃粉，以保证在切割后能够在芯片的侧部形成玻璃保护层。
3.在将玻璃粉涂刷在晶圆上时很难保证玻璃粉涂刷均匀，即晶圆上不同位置的玻璃粉厚度不同，对晶圆的后续加工工序产生影响，进而影响芯片的质量，导致芯片合格率低。为了解决上述技术问题，在将玻璃粉涂刷在晶圆上以后，需要对晶圆上的玻璃粉进行擦拭，以保证玻璃粉厚度均匀。在对晶圆上的玻璃粉进行擦拭过程中，要始终保持对晶圆的压力恒定，以保证晶圆上的玻璃粉厚度均匀，目前只能由工人对晶圆进行擦拭，但是通过人工擦拭很难保证压力恒定，擦拭质量难以得到保证，即擦拭后玻璃粉的厚度还是难以保证均匀。目前行业中无法对上述问题进行解决，而该技术问题也大大影响了芯片生产的合格率。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种能够保证对晶圆的压力恒定，使晶圆上的玻璃粉的厚度均匀的晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置，其特征在于：包括加压装置以及压板，加压装置与压板相连，并推动其沿靠近或远离晶圆的方向运动，压板上设置有用于压紧晶圆的压紧部。
6.优选的，所述的压板的一侧设置有柔性板，形成所述压紧部。压板的侧部设置有柔性板，既能够保证对晶圆的压力，又能够避免对晶圆造成损坏。
7.优选的，所述的压板的两侧均设置有圆弧形的过渡部。压板的两侧均设置有过渡部，能够保证牛皮纸顺畅的运动至压紧部下侧，实现了晶圆的连续擦拭。
8.优选的，还包括压力调节装置，压板可升降的安装在加压装置下侧，压力调节装置与压板相连。压力调节装置方便调节压紧部对晶圆的压力，方便调节晶圆上的玻璃粉的厚度。
9.优选的，所述的压力调节装置包括立杆以及配重块，立杆的下端与压板相连，上端与加压装置可滑动的连接，配重块设置在压板上侧。通过配重块来调节压紧部对晶圆的压力，调节方便，且能够保证压紧部对晶圆的压力恒定，而采用弹簧调节压紧部的压力，会出现晶圆不平而导致压力不稳定的问题。
10.优选的，所述的加压装置包括加压气缸，加压气缸的活塞杆与压板相连。通过加压气缸实现了对晶圆的加压，控制方便。
11.优选的，还包括设置在压板相对两侧的用于对牛皮纸导向的导入装置以及导出装
置。导入装置能够将牛皮纸导入至压紧部的下侧，导出装置能够将使用之后的牛皮纸导出，保证牛皮纸与压紧部对正，且能够使牛皮纸与压紧部贴合可靠，保证对晶圆擦拭稳定。
12.优选的，所述的导入装置包括压紧轮以及压紧轮压紧弹簧，压紧轮设置在压板的一侧，压紧轮压紧弹簧与压紧轮相连，并推动其压紧压紧牛皮纸。压紧轮压紧弹簧推动压紧轮压紧牛皮纸，保证压板的牛皮纸输入侧的牛皮纸绷紧。
13.优选的，所述的导出装置包括导出辊，导出辊设置在压板的上侧。导出辊能够对使用后的牛皮纸进行导出，方便对使用后的牛皮纸的收集。
14.优选的，所述的导出辊包括并排设置的上压辊以及下压辊，上压辊连接有推动其压紧下压辊的压辊压紧弹簧。上压辊和下压辊相配合夹紧使用后的牛皮纸，既方便了使用后的牛皮纸的收集，又能够使压紧部下侧的牛皮纸维持恒定的压力，避免受到输出的牛皮纸收集速度的影响。
15.与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果是：本晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置的加压装置推动压板运动，并使压板压紧晶圆，加压装置能够保证压板对晶圆的压力恒定，压紧部通过牛皮纸对晶圆进行擦拭，进而保证擦拭后晶圆上的玻璃粉的厚度均匀，且晶圆擦拭速度快，玻璃粉的厚度均一，且控制方便，保证加工出的芯片的合格率高，降低了芯片的生产成本。
附图说明
16.图1为晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置的立体示意图。
17.图2为图1中a处的局部放大图。
18.图3为压板安装后的立体示意图。
19.图4为压板安装后的主视示意图。
20.图5为图4中b处的局部放大图。
21.图中：1、机架
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2、加压气缸
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3、纸卷轴
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4、收卷电机
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5、收卷轴
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6、升降架
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7、升降导轨
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8、柔性板
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9、压板
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901、过渡部
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902、安装槽
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10、压紧轮
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11、下压辊
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12、码盘
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13、上压辊
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1301、限位部
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14、支撑块
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15、压辊压紧弹簧
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16、升降板
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17、立杆
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18、承重板
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19、配重块
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20、安装架
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21、导向杆
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22、安装轴
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23、压紧轮压紧弹簧
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24、换向杆。
具体实施方式
22.图1~5是本实用新型的最佳实施例，下面结合附图1~5对本实用新型做进一步说明。
23.一种晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置，包括加压装置以及压板9，加压装置与压板9相连，并推动其沿靠近或远离晶圆的方向运动，压板9上设置有用于压紧晶圆的压紧部。本晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置的加压装置推动压板9运动，并使压板压紧晶圆，加压装置能够保证压板9对晶圆的压力恒定，压紧部通过牛皮纸对晶圆进行擦拭，进而保证擦拭后晶圆上的玻璃粉的厚度均匀，且晶圆擦拭速度快，玻璃粉的厚度均一，且控制方便，保证加工出的芯片的合格率高，降低了芯片的生产成本。
24.下面结合具体实施例对本实用新型做进一步说明，然而熟悉本领域的人们应当了
解，在这里结合附图给出的详细说明是为了更好的解释，本实用新型的结构必然超出了有限的这些实施例，而对于一些等同替换方案或常见手段，本文不再做详细叙述，但仍属于本技术的保护范围。
25.具体的：如图1~2所示：加压装置安装在机架1上，在加压装置上还设置有用于放置牛皮纸卷的纸卷轴3以及用于收集使用后的牛皮纸的收卷轴5，收卷轴5连接有带动其转动的收卷电机4，收卷电机4安装在加压装置上，并随其同步运动。纸卷轴3和收卷轴5分别设置在压板9的两侧，从而实现了牛皮纸的自动更换，进而实现了连续对晶圆擦拭玻璃粉。
26.加压装置包括升降架6以及加压气缸2，机架1的两侧均安装有竖向的升降导轨7，升降架6的两侧分别可滑动的安装在升降导轨7上，以保证升降架6竖向升降，对晶圆的压力与晶圆垂直，保证压力恒定。加压气缸2安装在机架1的上侧，加压气缸2竖向设置，加压气缸2的活塞杆与升降架6的中部相连，并推动其升降。纸卷轴3和收卷轴5分别安装在升降架6的两侧。
27.升降架6的两侧分别设置有用于对牛皮纸导入的导入装置以及用于对使用后的牛皮纸导出的导出装置，导入装置和导出装置分别设置在压板9的两侧，导入装置设置在纸卷轴3的下侧，导出装置与收卷轴5设置在同一高度。导入装置的上侧设置有换向杆24，换向杆24安装在升降架6上，换向杆24能够对牛皮纸导向，使牛皮纸进入到导入装置内。
28.导出装置包括导出辊，在本实施例中，导出辊包括上压辊13以及下压辊11，上压辊13并排设置在下压辊11的上侧，下压辊11转动安装在升降架6上，上压辊13可升降的安装在升降架6上，升降架6上设置有两块支撑块14，支撑块14设置在上压辊13的两端上侧，在支撑块14与上压辊13对应的一端之间设置有压辊压紧弹簧15，压辊压紧弹簧15处于压缩状态，压辊压缩弹簧15的一端支撑在支撑块14上，另一端与上压辊13对应的一端可转动的连接，从而推动上压辊13压紧下压辊11。上压辊13和下压辊11相配合对使用后的牛皮纸导出，还能够保证压板9下侧的牛皮纸的压力恒定，不会受到收卷轴5的转动的影响。
29.上压辊13的端部可以安装轴承座，压辊压紧弹簧15与轴承座相连，并推动上压辊13向下运动。上压辊13的两端的直径均大于中部的直径，并在上压辊13的两端均形成限位部1301，限位部1301靠近上压辊13中部的一侧为沿远离上压辊13中部的方向直径逐渐增大的锥形，以保证牛皮纸在收卷轴5上收卷更加整齐。
30.在使用牛皮纸对晶圆进行擦拭时，擦拭完成后，使用完的牛皮纸需要运动并收卷至收卷轴5上，以保证对晶圆的擦拭效果，因此每当对新的晶圆擦拭时，需要牛皮纸运动一段以保证新的牛皮纸与新的晶圆对正，如果运动的距离过短，则会出现牛皮纸重复使用的情况，影响晶圆的擦拭效果，如果运动的距离过长，则会浪费牛皮纸。在下压辊11上安装有码盘12，以对牛皮纸运动的距离进行精确的测量，方便精确控制牛皮纸运动的长度。
31.如图3~5所示：升降架6的中部下侧安装有升降板16，升降板16水平设置，升降板16随升降架6同步升降。压板9间隔设置在升降板16的下侧，且压板9与升降板16之间设置有水平的承重板18，压板9间隔设置在承重板18的下侧，且压板9与承重板18相连，并随其同步升降。升降板16的上侧竖向设置有立杆17，立杆17有若干根，在本实施例中，立杆17设置有四根，四根立杆17合围成长方体框架，立杆17的下端同时与压板9和承重板18固定连接，立杆17的上端滑动穿过升降板16后螺纹连接有限位螺母，即承重板18和压板9可与升降板16相对滑动设置。
32.在承重板18上侧安装有配重块19，形成压力调节装置，配重块19根据需要由下至上设置有若干块，从而依靠配重块19的重力来调节压板9对晶圆的压力，压力恒定，且调节方便。而采用弹簧调节压紧部的压力，会出现晶圆不平而导致压力不稳定的问题。
33.导入装置设置在承重板18的一侧，导入装置包括安装轴22、压紧轮10以及安装架20，安装架20为水平设置的龙门架，安装架20的两侧分别与承重板18的对应侧可滑动的连接，安装轴22水平设置，安装轴22的两端分别与安装架20的对应侧相连，压紧轮10可转动的安装在安装轴22上，压紧轮10沿安装轴22并排设置有若干个。在安装架20上还安装有导向杆21，导向杆21垂直于安装轴22设置，导向杆21的一端与安装轴22相连，另一端可滑动的与安装架20相连，导向杆21沿安装轴22的径向设置，导向杆21外套设有压紧轮压紧弹簧23，压紧轮压紧弹簧23处于压缩状态，压紧轮压紧弹簧23的一端支撑在安装架20上，另一端支撑在安转轴22上，并推动压紧轮10压紧承重板18的侧部，使压紧轮10与承重板18的侧部相配合压紧牛皮纸，使牛皮纸顺畅的送入到压板9下侧，并与导出装置相配合，使牛皮纸与压板9的压紧部贴合。
34.压板9的两侧下部均设置有倒圆角，形成过渡部901，使牛皮纸能够顺畅的滑动，避免对牛皮纸造成损坏，实现了牛皮纸的自动更换，以连续对晶圆进行擦拭。
35.压板9的下侧安装有柔性板8，形成压紧部。压板9下侧中部设置有安装槽902，安装槽902为t形槽，柔性板8的上部设置有与t形槽相配合的安装部，柔性板8的安装部可滑动的安装在安装槽902内，从而方便更换柔性板8，柔性板8为塑料板、橡胶板或硅胶板，在本实施例中，柔性板8为橡胶板，能够避免对晶圆造成损坏。
36.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。