一种化学气相沉积用石英舟

1.本实用新型涉及石英舟技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积用石英舟。


背景技术：

2.在化学气相沉积技术中，为了满足作业需求，往往要运用到石英舟，石英舟即石英玻璃被加工成的一种特定形状，石英玻璃的二氧化硅含量比普通玻璃高得多，具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线，红外线，并且是良好的耐酸材料；在石英舟的使用过程中，因其形态多为舟型，取放较为不易，部分石英舟虽增加了提手类结构，但是其结构固定，不能够根据实际情况进行调整，且可能因取放歪斜导致内部物体脱出，因此还有待改进。
3.经检索，中国专利申请号为cn201920212463.2的专利，公开了一种高容量石英舟，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟承载容量低、购进成本高的问题。主要包括两支撑体、平板连接板、连接杆，平板连接板与连接杆上均设有成排的硅片卡槽；连接杆与平板连接板在空间上形成两片硅片置放区。上述专利中的石英舟存在以下不足：取放较为不易，其结构固定，不能够根据实际情况进行调整，且可能因取放歪斜导致内部物体脱出，因此还有待改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种化学气相沉积用石英舟。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种化学气相沉积用石英舟，包括两个石英舟侧板，两个所述石英舟侧板呈对称设置，两个石英舟侧板之间一体式设置有四个第一支撑柱，第一支撑柱的圆周外壁均开设有均匀分布的第一舟槽，所述第一支撑柱呈圆周分布；所述石英舟侧板呈等腰梯形结构，所述石英舟侧板一侧外壁开设有滑槽，滑槽呈螺旋状结构，且两个滑槽内部滑动连接有同一个提拉杆，滑槽的一端位于石英舟侧板的中线上。
7.作为本实用新型再进一步的方案：所述提拉杆中部一体式设置有两个对称的限位片。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述石英舟侧板底部两侧外壁一体式设置有支撑脚。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述第一支撑柱分别设置于石英舟侧板四个角的位置，石英舟侧板底角的角度控制在95～150
°
。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述石英舟侧板替换为半圆形结构，所述第一支撑柱的数量为两个，且第一支撑柱一体式设置于石英舟侧板的两端，两个石英舟侧板以及两个第一支撑柱之间一体式设置有同一个弧形底板，弧形底板呈与石英舟侧板适配的弧面结构，所述弧形底板顶部外壁一体式设置有第二支撑柱，第二支撑柱上开设有第二舟槽，
第二舟槽与第一舟槽相适配。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述弧形底板中心位置开设有开口，两个所述第二舟槽位于开口两侧。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述弧形底板一侧外壁开设有均匀分布的第三舟槽，第三舟槽与第一舟槽相适配。
13.作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑脚底端侧壁一体式设置有脚罩，脚罩呈斗型结构。
14.本实用新型的有益效果为：
15.1.本实用新型通过设置石英舟侧板、第一支撑柱和第一舟槽等结构，能够方便的容纳和定位，通过设置滑槽和提拉杆，能够根据实际需求将提拉杆的两端同时滑动于滑槽内，实现对提拉杆的拆装，且提拉杆的两端可活动于滑槽内，因此，当提拉杆角度偏移时，石英舟在重力的作用下与提拉杆两端发生相对角度变化，使石英舟仍能够保持稳定，有效避免了石英舟内物体脱出，提升了可靠性。
16.2.通过设置限位片，在通过提拉杆取放石英舟时能够更好的进行操控，进一步提升了可靠性，通过设置支撑脚，大大提升了放置时的稳定性。
17.3.通过设置弧形底板、第二舟槽等结构，能够更好的容纳和保护石英舟内部的物体，满足了不同的使用需求；通过设置第三舟槽，省略了第二舟槽，同时增强了限位效果，提升了稳定性和牢固度；通过设置脚罩，能够进一步提升石英舟在放置时的稳定性。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例1提出的一种化学气相沉积用石英舟整体的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例2提出的一种化学气相沉积用石英舟整体的结构示意图；
20.图3为本实用新型实施例3提出的一种化学气相沉积用石英舟整体的结构示意图；
21.图4为本实用新型实施例4提出的一种化学气相沉积用石英舟整体的结构示意图；
22.图5为本实用新型实施例5提出的一种化学气相沉积用石英舟整体的结构示意图。
23.图中：1
‑
石英舟侧板、2
‑
第一支撑柱、3
‑
第一舟槽、4
‑
限位片、5
‑
提拉杆、6
‑
支撑脚、7
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滑槽、8
‑
弧形底板、9
‑
第二舟槽、10
‑
第二支撑柱、11
‑
开口、12
‑
第三舟槽、13
‑
脚罩。
具体实施方式
24.下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
25.下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
26.在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
27.在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设
置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
28.实施例1
29.一种化学气相沉积用石英舟，如图1所示，包括两个石英舟侧板1，两个所述石英舟侧板1呈对称设置，两个石英舟侧板1之间一体式设置有四个第一支撑柱2，第一支撑柱2的圆周外壁均开设有均匀分布的第一舟槽3，所述第一支撑柱2呈圆周分布；所述石英舟侧板1呈等腰梯形结构，所述石英舟侧板1一侧外壁开设有滑槽7，滑槽7呈螺旋状结构，且两个滑槽7内部滑动连接有同一个提拉杆5，滑槽7的一端位于石英舟侧板1的中线上；通过设置石英舟侧板1、第一支撑柱2和第一舟槽3等结构，能够方便的容纳和定位，通过设置滑槽7和提拉杆5，能够根据实际需求将提拉杆5的两端同时滑动于滑槽7内，实现对提拉杆5的拆装，且提拉杆5的两端可活动于滑槽7内，因此，当提拉杆5角度偏移时，石英舟在重力的作用下与提拉杆5两端发生相对角度变化，使石英舟仍能够保持稳定，有效避免了石英舟内物体脱出，提升了可靠性。
30.为了进一步提升可靠性；如图1所示，所述提拉杆5中部一体式设置有两个对称的限位片4；通过设置限位片4，在通过提拉杆5取放石英舟时能够更好的进行操控，进一步提升了可靠性。
31.为了提升放置稳定性；如图1所示，所述石英舟侧板1底部两侧外壁一体式设置有支撑脚6，通过设置支撑脚6，大大提升了放置时的稳定性。
32.为了提升稳定性和可靠性；如图1所示，所述第一支撑柱2分别设置于石英舟侧板1四个角的位置，石英舟侧板1底角的角度控制在95～150
°
。
33.工作原理：使用时，使用者将物体基于第一舟槽3定位放置于石英舟内，使用者能够根据实际需求将提拉杆5的两端同时滑动于滑槽7内，实现对提拉杆5的拆装，且提拉杆5的两端可活动于滑槽7内，因此，当提拉杆5角度偏移时，石英舟在重力的作用下与提拉杆5两端发生相对角度变化，使石英舟仍能够保持稳定，有效避免了石英舟内物体脱出，提升了可靠性。
34.实施例2
35.参照图2，一种化学气相沉积用石英舟，本实施例相较于实施例1作出以下改动，所述石英舟侧板1替换为半圆形结构，所述第一支撑柱2的数量为两个，且第一支撑柱2一体式设置于石英舟侧板1的两端，两个石英舟侧板1以及两个第一支撑柱2之间一体式设置有同一个弧形底板8，弧形底板8呈与石英舟侧板1适配的弧面结构，所述弧形底板8顶部外壁一体式设置有第二支撑柱10，第二支撑柱10上开设有第二舟槽9，第二舟槽9与第一舟槽3相适配；通过设置弧形底板8、第二舟槽9等结构，能够更好的容纳和保护石英舟内部的物体，满足了不同的使用需求。
36.实施例3
37.参照图3，一种化学气相沉积用石英舟，本实施例相较于实施例2作出以下改动，所述弧形底板8中心位置开设有开口11，两个所述第二舟槽9位于开口11两侧。
38.实施例4
39.参照图4，一种化学气相沉积用石英舟，本实施例相较于实施例3作出以下改动，所述弧形底板8一侧外壁开设有均匀分布的第三舟槽12，第三舟槽12与第一舟槽3相适配；通
过设置第三舟槽12，省略了第二舟槽9，同时增强了限位效果，提升了稳定性和牢固度。
40.实施例5
41.参照图5，一种化学气相沉积用石英舟，本实施例相较于实施例4作出以下改动，所述支撑脚6底端侧壁一体式设置有脚罩13，脚罩13呈斗型结构；通过设置脚罩13，能够进一步提升石英舟在放置时的稳定性。
42.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。