13槽insert存放工装的制作方法

1.本实用新型涉及13槽insert存放工装技术领域，尤其涉及一种13槽insert存放工装。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆在加工制作后需要用到收集工装进行集中收集放置；现有的13槽insert存放工装(如说明书附图图4，此图为现有的13槽insert存放工装图)，其由u形架、固定在u形架内侧的两个插放挡盘、以及转动安装在两个插放挡盘之间下部的转轴组成，转轴上固定有多个用于分隔的隔块，两个插放挡盘相互靠近的一侧均设置有多个插放凹槽，收集时，将晶圆插入相对的两个插放凹槽内即可，多个插放凹槽的设置能够在将多个晶圆集中收集的同时，并能够对多个晶圆分隔放置；
3.现有的13槽insert存放工装，其两个插放挡盘之间的距离存在不便于根据实际需要快速调节的缺点，使得不能适用不同规格直径的晶圆放置，适用范围较局限；使得每一批次的晶圆加工完成后均需要统一更换与之匹配的收集工装，不能通用，导致不同规格的收集工装储备量大，不能满足使用需求，为此我们提出了13槽insert存放工装，用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的13槽insert存放工装。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.13槽insert存放工装，包括两个u形架，两个u形架中位于前侧的u形架的前侧固定连接有三个支脚，所述u形架的两侧内壁上均开设有顶部、前侧和后侧为开口设置的放置槽，前后相对的两个放置槽内活动放置有同一个挡盘，两个挡盘相互靠近的一侧均设置有多个顶部和底部为开口设置的插放凹槽，所述u形架的两侧均设为弧形结构，u形架的底部设置为平面结构，所述挡盘的前侧底部和后侧底部均固定连接有支杆，前后相对的两个支杆之间转动安装有转轴，转轴上固定套设有多个圆形隔块，位于同一个转轴上相邻的两个圆形隔块与对应的插放凹槽相配合，两个u形架相互靠近的一侧之间固定连接有两个支撑杆，两个挡盘相互远离的一侧均固定连接有两个t形导向杆，支撑杆滑动套设在对应的两个t形导向杆上，两个u形架上设置有同一组与两个挡盘相配合的间距调节机构；
7.所述间距调节机构包括固定安装在两个u形架底部内壁上的同一个矩形盒，矩形盒的底部设置为开口，矩形盒的顶部固定安装有两个竖管，竖管的顶端固定连接有矩形管，两个挡盘相互靠近的一侧均固定连接有两个矩形杆，矩形管滑动套设在对应的两个矩形杆上，矩形杆位于对应的转轴的上方，矩形管的顶部内壁上固定连接有两个固定杆，位于同一个矩形管内的两个固定杆均位于对应的两个矩形杆之间，固定杆靠近对应的矩形杆的一侧
与矩形杆之间固定连接有弹簧，固定杆的底端转动安装有定滑轮，矩形杆靠近对应的固定杆的一端固定连接有软钢丝绳，竖管内滑动套设有竖杆，软钢丝绳的一端绕过对应的定滑轮的顶部并与竖杆的顶端固定连接，矩形盒的顶部内壁上转动安装有两个螺杆，且螺杆的顶端延伸至对应的竖管内，竖杆螺纹套设在对应的螺杆上，螺杆的底端固定连接有第一伞形齿轮，矩形盒的前侧内壁和后侧内壁之间转动安装有圆轴，且圆轴上焊接套设有两个第二伞形齿轮，第二伞形齿轮与对应的第一伞形齿轮相啮合，圆轴的后端延伸至矩形盒的后侧并固定连接有摇盘。
8.优选地，左右相对的两个插放凹槽内活动插放有同一个晶圆产品，所述晶元片产品的底部两侧分别与对应的转轴活动接触。
9.优选地，所述矩形盒的顶部内壁上开设有两个第一圆孔，且第一圆孔内固定套设有第一轴承，第一轴承的内圈与对应的螺杆的外侧焊接套装。
10.优选地，所述竖杆的右侧固定连接有限位块，竖管的右侧内壁上开设有限位槽，且限位槽与对应的限位块滑动连接。
11.优选地，所述竖杆的底端开设有螺纹槽，且螺纹槽与对应的螺杆螺纹连接。
12.优选地，所述矩形管的底部内壁上开设有矩形穿孔，位于同一个矩形管内的两个软钢丝绳均位于对应的矩形穿孔内并与矩形穿孔的内壁不接触。
13.优选地，所述矩形盒的前侧内壁和后侧内壁上均开设有第二圆孔，且第二圆孔内固定套设有第二轴承，第二轴承的内圈与圆轴的外侧固定套装。
14.优选地，所述固定杆的底端开设有两侧均为开口设置的第一凹槽，第一凹槽的前侧内壁和后侧内壁之间固定连接有销轴，定滑轮的前侧设有第三圆孔，第三圆孔内固定套设有第三轴承，第三轴承的内圈与对应的销轴的外侧固定套装。
15.优选地，所述支撑杆的右侧开设有两个导向孔，且导向孔的内壁与对应的t形导向杆的外侧滑动连接。
16.与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.通过u形架、放置槽、支脚、支撑杆、t形导向杆、挡盘、插放凹槽、转轴、支杆、圆形隔块、矩形盒、竖管、矩形管、矩形杆、固定杆、弹簧、定滑轮、竖杆、软钢丝绳、螺杆、第一伞形齿轮、圆轴、第二伞形齿轮、矩形穿孔与摇盘相配合，将多个晶圆产品依次插入对应的左右相对的两个插放凹槽内，直至晶圆产片与两个转轴接触，多个圆形隔块能够辅助将多个晶圆产品隔开，配合多个插放凹槽的设置，达到能够对多个晶圆产品集中收集的同时，并对多个晶圆产品分隔放置，更换其他批次的晶圆产品时，正向转动摇盘使其通过圆轴带动两个第二伞形齿轮转动，第二伞形齿轮通过对应的第一伞形齿轮带动螺杆转动，螺杆转动能带动对应的竖杆在竖管内向下滑动，竖杆带动对应的两个软钢丝绳在两个定滑轮的顶部滑动，软钢丝绳带动对应的矩形杆在矩形管内向靠近固定杆的方向移动，并对弹簧压缩，此时四个矩形杆带动两个挡盘向相互靠近的方向移动，挡盘带动对应的t形导向杆在导向孔内滑动，两个挡盘通过四个支杆带动两个转轴向相互靠近的方向同步移动，此时两个挡盘之间的距离发生变化，实现调整两个挡盘间距的目的，通过调整两个挡盘间距的方式，能够适用不同规格直径的晶圆产品放置。
18.本实用新型设计合理，便于对多个晶圆产品集中收集的同时并进行单独分隔放置，且便于根据不同规格直径的晶圆产品快速调整两个挡盘之间和两个转轴之间的间距，
达到能够适用不同规格直径的晶圆产品收集放置，提高适用范围，满足使用需求，有利于使用。
附图说明
19.图1为现有的13槽insert存放工装的立体结构示意图；
20.图2为本实用新型提出的13槽insert存放工装的结构示意图；
21.图3为图1的剖视结构示意图；
22.图4为图1中未放置晶圆产品之前的俯视结构示意图.
23.图中：100u形架、101放置槽、103支脚、104支撑杆、105t形导向杆、200挡盘、201插放凹槽、202转轴、203支杆、204圆形隔块、1矩形盒、2竖管、3矩形管、4矩形杆、5固定杆、6弹簧、7定滑轮、8竖杆、9软钢丝绳、10螺杆、11第一伞形齿轮、12圆轴、13第二伞形齿轮、14矩形穿孔、15摇盘。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
25.参照图2
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4，13槽insert存放工装，包括两个u形架100，两个u形架100中位于前侧的u形架100的前侧固定连接有三个支脚103，u形架100的两侧内壁上均开设有顶部、前侧和后侧为开口设置的放置槽101，前后相对的两个放置槽101内活动放置有同一个挡盘200，两个挡盘200相互靠近的一侧均设置有多个顶部和底部为开口设置的插放凹槽201，u形架100的两侧均设为弧形结构，u形架100的底部设置为平面结构，挡盘200的前侧底部和后侧底部均固定连接有支杆203，前后相对的两个支杆203之间转动安装有转轴202，转轴202上固定套设有多个圆形隔块204，位于同一个转轴202上相邻的两个圆形隔块204与对应的插放凹槽201相配合，两个u形架100相互靠近的一侧之间固定连接有两个支撑杆104，两个挡盘200相互远离的一侧均固定连接有两个t形导向杆105，支撑杆104滑动套设在对应的两个t形导向杆105上，两个u形架100上设置有同一组与两个挡盘200相配合的间距调节机构；
26.间距调节机构包括固定安装在两个u形架100底部内壁上的同一个矩形盒1，矩形盒1的底部设置为开口，矩形盒1的顶部固定安装有两个竖管2，竖管2的顶端固定连接有矩形管3，两个挡盘200相互靠近的一侧均固定连接有两个矩形杆4，矩形管3滑动套设在对应的两个矩形杆4上，矩形杆4位于对应的转轴202的上方，矩形管3的顶部内壁上固定连接有两个固定杆5，位于同一个矩形管3内的两个固定杆5均位于对应的两个矩形杆4之间，固定杆5靠近对应的矩形杆4的一侧与矩形杆4之间固定连接有弹簧6，固定杆5的底端转动安装有定滑轮7，矩形杆4靠近对应的固定杆5的一端固定连接有软钢丝绳9，竖管2内滑动套设有竖杆8，软钢丝绳9的一端绕过对应的定滑轮7的顶部并与竖杆8的顶端固定连接，矩形盒1的顶部内壁上转动安装有两个螺杆10，且螺杆10的顶端延伸至对应的竖管2内，竖杆8螺纹套设在对应的螺杆10上，螺杆10的底端固定连接有第一伞形齿轮11，矩形盒1的前侧内壁和后侧内壁之间转动安装有圆轴12，且圆轴12上焊接套设有两个第二伞形齿轮13，第二伞形齿轮13与对应的第一伞形齿轮11相啮合，圆轴12的后端延伸至矩形盒1的后侧并固定连接有
摇盘15，本实用新型设计合理，便于对多个晶圆产品集中收集的同时并进行单独分隔放置，且便于根据不同规格直径的晶圆产品快速调整两个挡盘200之间和两个转轴202之间的间距，达到能够适用不同规格直径的晶圆产品收集放置，提高适用范围，满足使用需求，有利于使用。
27.本实用新型中，左右相对的两个插放凹槽201内活动插放有同一个晶圆产品，晶元片产品的底部两侧分别与对应的转轴202活动接触，矩形盒1的顶部内壁上开设有两个第一圆孔，且第一圆孔内固定套设有第一轴承，第一轴承的内圈与对应的螺杆10的外侧焊接套装，竖杆8的右侧固定连接有限位块，竖管2的右侧内壁上开设有限位槽，且限位槽与对应的限位块滑动连接，竖杆8的底端开设有螺纹槽，且螺纹槽与对应的螺杆10螺纹连接，矩形管3的底部内壁上开设有矩形穿孔14，位于同一个矩形管3内的两个软钢丝绳9均位于对应的矩形穿孔14内并与矩形穿孔14的内壁不接触，矩形盒1的前侧内壁和后侧内壁上均开设有第二圆孔，且第二圆孔内固定套设有第二轴承，第二轴承的内圈与圆轴12的外侧固定套装，固定杆5的底端开设有两侧均为开口设置的第一凹槽，第一凹槽的前侧内壁和后侧内壁之间固定连接有销轴，定滑轮7的前侧设有第三圆孔，第三圆孔内固定套设有第三轴承，第三轴承的内圈与对应的销轴的外侧固定套装，支撑杆104的右侧开设有两个导向孔，且导向孔的内壁与对应的t形导向杆105的外侧滑动连接，本实用新型设计合理，便于对多个晶圆产品集中收集的同时并进行单独分隔放置，且便于根据不同规格直径的晶圆产品快速调整两个挡盘200之间和两个转轴202之间的间距，达到能够适用不同规格直径的晶圆产品收集放置，提高适用范围，满足使用需求，有利于使用。
28.工作原理：使用时，对晶圆产品集中收集时，将多个晶圆产品依次插入对应的左右相对的两个插放凹槽201内，直至晶圆产片与两个转轴202接触，此时两个转轴202对晶圆产品支撑，多个圆形隔块204能够辅助将多个晶圆产品隔开，配合多个插放凹槽201的设置，达到能够对多个晶圆产品集中收集的同时，并对多个晶圆产品分隔放置；
29.当更换其他批次的晶圆产品时，若其直径小于之前批次的晶圆产品，则起不到有效对晶圆产品支撑的效果，因此需要对两个挡盘200之间和两个转轴202之间的间距进行调节，调节时，正向转动摇盘15，摇盘15通过圆轴12带动两个第二伞形齿轮13转动，第二伞形齿轮13通过与其啮合的第一伞形齿轮11带动对应的螺杆10转动，在开设在竖杆8上的螺纹槽的作用下，螺杆10转动能带动对应的竖杆8在竖管2内向下滑动，竖杆8带动对应的两个软钢丝绳9在两个定滑轮7的顶部滑动，软钢丝绳9带动对应的矩形杆4在矩形管3内向靠近固定杆5的方向移动，矩形杆4对对应的弹簧6压缩，此时四个矩形杆4带动两个挡盘200向相互靠近的方向移动，挡盘200带动对应的t形导向杆105在导向孔内滑动，两个挡盘200通过四个支杆203带动两个转轴202向相互靠近的方向同步移动，此时两个挡盘200之间的距离和两个转轴202之间的距离同步发生变化，调整合适后，停止转动摇盘15，此时在螺杆10与螺纹槽自身螺纹锁定力下，实现两个挡盘200调整后的固定，使得便于快速同步调整两个挡盘200之间的间距，达到能够适用不同规格直径的晶圆产品放置；
30.需要调大间距时，则反向转动摇盘15，同理与正向转动摇盘15的运动方向完全相反，此时竖杆8转变为向上移动并放松对对应的两个软钢丝绳9的拉力，此时处于压缩状态的弹簧6带动对应的矩形杆4向远离固定杆5的方向回移，此时四个矩形杆4带动两个挡盘200向相互远离的方向移动，实现调大间距；
31.在使用时，也可以根据使用放置习惯需求将本装置竖着放置，需要竖着放置时，则将前侧的u形架100朝下，使得前侧的u形架100底部的三个支脚103与地面接触进行支撑，竖着放置时对两个挡盘200间距调整的方式与上述相同，同样是通过转动摇盘15操作，在竖着放置晶圆产品时，则将晶圆产品向后插入对应的左右相对的两个插放凹槽201内，此时插放凹槽201的底部内壁和圆形隔块204的顶部对晶圆产品支撑。
32.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。