一种晶圆贴膜机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆贴膜机技术领域，具体为一种晶圆贴膜机。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
3.在晶圆生产过程中，需要对成品进行贴膜以进行保护，现有技术一般采用手工贴膜，并且只能对特定直径的晶圆进行贴膜，这种贴膜不仅速度慢，而且人工成本较高，贴膜过程中还易出现偏位、损伤、不平整、有气泡而影响贴膜效果，同时，人工贴膜会因人而异，导致贴膜效率较低，影响产品的使用质量。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆贴膜机，解决了上述背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆贴膜机，包括支撑腿，所述支撑腿的顶部固定安装有固定柱，所述固定柱的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有移动块，所述移动块的一侧固定安装有直齿条，所述移动块的另一侧固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定安装有推动架，所述推动架的一端设置有齿轮盘，所述齿轮盘的顶部开设有安装槽，所述安装槽的内侧壁固定安装有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定安装有夹紧板，所述齿轮盘的一侧设置有固定架，所述固定架的顶部固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定安装有薄膜辊。
8.可选的，所述薄膜辊的两端转动连接在固定架的一侧，所述薄膜辊之间通过皮带传动连接，所述固定架的顶部一侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸出端固定安装有橡胶压盘。
9.可选的，所述固定架的一侧固定安装有支撑座，所述支撑座的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有主动齿轮，所述主动齿轮的外侧啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的顶部固定安装有转动块。
10.可选的，所述从动齿轮的轴心处转动连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定安装有支撑板，所述支撑板的一侧固定安装在固定架的一侧，所述转动块的一侧固定安装有固定座。
11.可选的，所述固定座的内部固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端固定安装有转动柱，所述转动柱的一端固定安装有吸盘，所述吸盘的高度与橡胶压盘的高度相适配，所述吸盘的一侧固定安装有导气管，所述导气管的外侧固定安装有控制阀。
12.可选的，所述固定柱的顶部固定安装有安装座，所述安装座的内部固定安装有第
二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定安装有直齿轮，所述直齿轮的外侧啮合在直齿条，所述推动架的一端转动连接在移动块的一侧，所述齿轮盘的轴心处转动连接有支座，所述推动架的一端位于齿轮盘所开设的齿槽内部。
13.(三)有益效果
14.本实用新型提供了一种晶圆贴膜机，具备以下有益效果：
15.1、该晶圆贴膜机，通过第二弹簧和夹紧板的设置，使该晶圆贴膜机具备了对不同直径的晶圆进行固定，并且可以对多种晶圆进行贴膜的效果，通过滑槽、移动块、直齿条、第一弹簧、推动架、齿轮盘、安装槽、第二弹簧和夹紧板的配合设置，在使用的过程中可以对不同直径的晶圆进行固定，从而可以对多种晶圆进行贴膜，从而起到了使用范围广的作用，并且达到了生产成本低的目的。
16.2、该晶圆贴膜机，通过吸盘的设置，使该晶圆贴膜机具备了对晶圆进行自动贴膜处理的效果，通过驱动电机、主动齿轮、转动块、支撑柱、支撑板、固定座、第一伺服电机、转动柱和吸盘的配合设置，在使用的过程中可以可提高晶圆贴膜工作的自动化程度，从而起到了节省人力的作用，并且达到了简化贴膜方式的目的。
附图说明
17.图1为本实用新型立体的结构示意图；
18.图2为本实用新型正等侧的结构示意图；
19.图3为本实用新型剖视的结构示意图；
20.图4为本实用新型图1中a处放大的结构示意图；
21.图5为本实用新型图1中b处放大的结构示意图。
22.图中：1、支撑腿；2、固定柱；3、滑槽；4、移动块；5、直齿条；6、第一弹簧；7、推动架；8、齿轮盘；9、安装槽；10、第二弹簧；11、夹紧板；12、固定架；13、电动机；14、薄膜辊；15、电动伸缩杆；16、橡胶压盘；17、支撑座；18、驱动电机；19、主动齿轮；20、转动块；21、支撑柱；22、支撑板；23、固定座；24、第一伺服电机；25、转动柱；26、吸盘；27、安装座；28、第二伺服电机；29、直齿轮；30、支座。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
24.请参阅图1至图5，本实用新型提供技术方案：一种晶圆贴膜机，包括支撑腿1，支撑腿1的顶部固定安装有固定柱2，固定柱2的一侧开设有滑槽3，滑槽3的内部滑动连接有移动块4，移动块4的一侧固定安装有直齿条5，移动块4的另一侧固定安装有第一弹簧6，第一弹簧6的一端固定安装有推动架7，推动架7的一端设置有齿轮盘8，固定柱2的顶部固定安装有安装座27，安装座27的内部固定安装有第二伺服电机28，第二伺服电机28的输出端固定安装有直齿轮29，直齿轮29的外侧啮合在直齿条5，推动架7的一端转动连接在移动块4的一侧，齿轮盘8的轴心处转动连接有支座30，推动架7的一端位于齿轮盘8所开设的齿槽内部，齿轮盘8的顶部开设有安装槽9，安装槽9的内侧壁固定安装有第二弹簧10，第二弹簧10的一
端固定安装有夹紧板11，通过第二弹簧10和夹紧板11的设置，使该晶圆贴膜机具备了对不同直径的晶圆进行固定，并且可以对多种晶圆进行贴膜的效果，通过滑槽3、移动块4、直齿条5、第一弹簧6、推动架7、齿轮盘8、安装槽9、第二弹簧10和夹紧板11的配合设置，在使用的过程中可以对不同直径的晶圆进行固定，从而可以对多种晶圆进行贴膜，从而起到了使用范围广的作用，并且达到了生产成本低的目的，齿轮盘8的一侧设置有固定架12，固定架12的顶部固定安装有电动机13，电动机13的输出端固定安装有薄膜辊14，薄膜辊14的两端转动连接在固定架12的一侧，薄膜辊14之间通过皮带传动连接，固定架12的顶部一侧固定安装有电动伸缩杆15，电动伸缩杆15的伸出端固定安装有橡胶压盘16，固定架12的一侧固定安装有支撑座17，支撑座17的内部固定安装有驱动电机18，驱动电机18的输出端固定安装有主动齿轮19，主动齿轮19的外侧啮合有从动齿轮，从动齿轮的顶部固定安装有转动块20，从动齿轮的轴心处转动连接有支撑柱21，支撑柱21的底部固定安装有支撑板22，支撑板22的一侧固定安装在固定架12的一侧，转动块20的一侧固定安装有固定座23，固定座23的内部固定安装有第一伺服电机24，第一伺服电机24的输出端固定安装有转动柱25，转动柱25的一端固定安装有吸盘26，吸盘26的高度与橡胶压盘16的高度相适配，吸盘26的一侧固定安装有导气管，导气管的外侧固定安装有控制阀，通过吸盘26的设置，使该晶圆贴膜机具备了对晶圆进行自动贴膜处理的效果，通过驱动电机18、主动齿轮19、转动块20、支撑柱21、支撑板22、固定座23、第一伺服电机24、转动柱25和吸盘26的配合设置，在使用的过程中可以可提高晶圆贴膜工作的自动化程度，从而起到了节省人力的作用，并且达到了简化贴膜方式的目的。
25.使用时，首先把需要贴的薄膜安装到薄膜辊14的外侧，使薄膜的一端固定在下方薄膜辊14的外侧，再通过压缩第二弹簧10使夹紧板11夹紧晶圆，进而使晶圆固定在安装槽9的内部，然后启动电动机13，电动机13的输出端会带动薄膜辊14转动，进而薄膜可以进行更换，然后在打开电动伸缩杆15，电动伸缩杆15的伸出端会带动橡胶压盘16运动，橡胶压盘16会带动薄膜，使薄膜附着在吸盘26的一侧，然后启动驱动电机18，驱动电机18的输出端通过主动齿轮19带动从动齿轮旋转，从动齿轮带动转动块20旋转，进而使转动块20旋转一百八十度，再启动第一伺服电机24，第一伺服电机24的输出端会带动转动柱25转动，进而使转动柱25的一端运动，转动柱25的一端会带动附着有吸盘26的薄膜对晶圆进行贴膜，当贴膜完毕后，打开控制阀，使吸盘26内部压强跟大气压强一样，这样薄膜会脱离，然后再启动第一伺服电机24和驱动电机18，使转动柱25恢复原状，在驱动电机18作用下使另一侧吸盘26附着薄膜转动过来，然后启动第二伺服电机28，第二伺服电机28的输出端通过直齿轮29带动直齿条5移动，直齿条5带动移动块4在滑槽3的内部移动，移动块4通过推动架7拨动齿轮盘8所开设的齿槽，当移动块4移动到最大极限时，齿槽通过推动架7一侧的斜面压缩第一弹簧6，使推动架7达到下一个齿槽，进而使齿轮盘8绕着支座30旋转，进而可以对下一个晶圆进行贴膜。
26.综上所述：该晶圆贴膜机，通过第二弹簧10和夹紧板11的设置，使该晶圆贴膜机具备了对不同直径的晶圆进行固定，并且可以对多种晶圆进行贴膜的效果，通过滑槽3、移动块4、直齿条5、第一弹簧6、推动架7、齿轮盘8、安装槽9、第二弹簧10和夹紧板11的配合设置，在使用的过程中可以对不同直径的晶圆进行固定，从而可以对多种晶圆进行贴膜，从而起到了使用范围广的作用，并且达到了生产成本低的目的；通过吸盘26的设置，使该晶圆贴膜
机具备了对晶圆进行自动贴膜处理的效果，通过驱动电机18、主动齿轮19、转动块20、支撑柱21、支撑板22、固定座23、第一伺服电机24、转动柱25和吸盘26的配合设置，在使用的过程中可以可提高晶圆贴膜工作的自动化程度，从而起到了节省人力的作用，并且达到了简化贴膜方式的目的。
27.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。