一种可降低出气率的刻蚀机内腔真空烘烤除气热板的制作方法

1.本实用新型涉及刻蚀机技术领域，具体为一种可降低出气率的刻蚀机内腔真空烘烤除气热板。


背景技术：

2.刻蚀是半导体制造工艺中的重要步骤。
3.如中国专利cn201821665636.8公开的一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，包括热板主体，热板主体上配合设置有热板盖板，铠装加热管设置在热板盖板与热板主体之间并通过连接件与热板主体相连接固定，热板盖板的外侧还设置有装饰盖板，热板主体、热板盖板及装饰盖板上相对应的位置均设置有孔a,孔b，孔c；热电偶依次穿过装饰盖板、热板盖板及热板主体，设置在孔a与孔b之间；该实用新型结构简单,在发给客户端前进行烘烤，不会占用生产时间,可以显著降低icp刻蚀机腔体的出气率,有效去除吸附各种气体,组装后无需再现场烘烤就可以获得较高的极限真空,大大提高生产效率；避免释放气体而降低真空度，稳定性好，使用寿命长。
4.但上述引用文件中的便捷性不佳，在搬运机体时，因机体的体积关系，使得移动过程较为麻烦，而且容易造成使用者的身体受到损伤，且因人工搬运，存在较大抖动的情况，可能影响机体内部元件的正常运转，从而本实用新型在所引用对比文件的原有设备上对此作出改进。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种可降低出气率的刻蚀机内腔真空烘烤除气热板，具备了通过可伸缩的滑轮和牵引环，使得当使用者需要移动时，滑轮和牵引环可伸出，供使用者便捷的移动，当不需要移动时，滑轮和牵引环可收缩，保持装置的稳定性，具备了实用性更佳的效果，解决了装置的便捷性不佳，在搬运机体时，因机体的体积关系，使得移动过程较为麻烦，而且容易造成使用者的身体受到损伤，且因人工搬运，存在较大抖动的情况，可能影响机体内部元件的正常运转的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可降低出气率的刻蚀机内腔真空烘烤除气热板，包括机体，所述机体的下表面固定连接有两个支撑壳，两个所述支撑壳的下表面均固定连接有支撑块，所述支撑壳的内壁固定连接有旋转驱动源，所述旋转驱动源的转动部固定连接有转盘，所述转盘的表面开设有两个弧形槽，所述转盘通过两个所述弧形槽分别滑动连接有滑柱一和滑柱二，所述滑柱一和滑柱二的背侧分别固定连接有连接板一和连接板二，所述连接板一和所述连接板二的表面均滑动套接有连接块，两个所述连接块的背侧与所述支撑壳的内壁固定连接，还包括伸缩部件。
7.可选的，所述伸缩部件包括牵引环，所述牵引环的侧面与所述连接板一端部固定连接，所述连接板二的端部固定连接有滑轮，所述支撑壳的侧面开设有用于所述牵引环穿出的开口一，所述支撑块的下表面开设有用于所述滑轮穿出的开口二。
8.可选的，两个所述支撑壳的内部均设置有喷气部件。
9.可选的，所述喷气部件包括转轴二，所述转轴二的表面与所述支撑壳的内壁定轴转动连接，所述转轴二的表面固定连接有转块，所述转块的表面固定连接有压块，所述支撑壳的内壁固定连接有容器，所述容器的内壁滑动连接有活塞，所述活塞的侧面固定连接有活塞杆，所述容器的侧面开设有用于所述活塞杆穿出且与之滑动连接的滑口，所述活塞杆的端部固定连接有压板，所述压板与所述容器的相对侧共同固定连接有复位弹簧，所述容器的表面固定连通有进气管和出气管，所述支撑壳的侧面开设有用于所述进气管穿出的开口三，所述出气管的端部固定连通有喷头，所述进气管和出气管的内部均设置有单向阀。
10.可选的，所述伸缩部件与所述喷气部件通过传动部件进行连接。
11.可选的，所述传动部件包括齿轮一，所述齿轮一的表面与所述旋转驱动源的转动部固定连接，所述转轴二的表面固定连接有齿轮二，所述齿轮一的齿槽部与所述齿轮二的齿槽部相啮合。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
13.一、本实用新型通过旋转驱动源转动部的运转，使得牵引环伸出开口一，以及滑轮伸出开口二，因机体一般体积较大，不方便移动，当使用者需要将机体移动至需要的位置时，使得滑轮伸出，使得机体便于在地面上移动，同时牵引环伸出，供拉动装置对装置进行牵引，当使用者移动到需要的位置进行工作时，牵引环漏出在装置外部，可能使用者会触碰到牵引环，造成使用者疼痛的情况，且滑轮若作为机体的支撑方式的话，因机体在运转使得振动，以及机体本身体积的因素，可能滑轮会发生轻微的移动，致使内部的机体在工作时，产生一定的误差，且滑轮作为持续的支撑的话，接地面积较小，长时间的使用，可能使得滑轮损坏，通过使用者驱动旋转驱动源的反向运转，使得滑轮和牵引环收缩，使得本装置的稳定性更佳。
14.二、本实用新型通过旋转驱动源转动部的运转，且根据大小齿轮传动比的不同，使得齿轮二较为快速的转动，进而带动转轴二转动，通过转轴二的转动，使得活塞杆和活塞往复移动，通过活塞的往复移动，使得外界的空气最终至喷头内喷出，使得当本装置对滑轮进行伸缩时，配合喷头喷出的气体，对滑轮接触的地面进行喷气，使得灰尘和杂质得以吹出滑轮接触地面的范围，避免因杂质体积较大，使得滑轮发生抖动，致使机体发生抖动的情况，避免影响机体内部元件的运转。
附图说明
15.图1为本实用新型结构的第一状态主视图；
16.图2为本实用新型伸缩部件结构的第二状态正视图；
17.图3为本实用新型齿轮一、齿轮二、旋转驱动源和转轴二结构的正视图；
18.图4为本实用新型喷气部件结构的正视图；
19.图5为本实用新型结构的轴测图。
20.图中：1、机体；2、支撑壳；3、支撑块；4、旋转驱动源；5、转盘；6、弧形槽；7、滑柱一；8、滑柱二；9、连接板一；10、连接块；11、牵引环；12、开口一；13、开口二；14、转轴二；15、转块；16、压块；17、容器；18、活塞；19、活塞杆；20、压板；21、复位弹簧；22、进气管；23、出气管；24、喷头；25、单向阀；26、齿轮一；27、齿轮二；91、连接板二；120、滑轮。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案：一种可降低出气率的刻蚀机内腔真空烘烤除气热板，包括机体1，所述机体1的下表面固定连接有两个支撑壳2，两个所述支撑壳2的下表面均固定连接有支撑块3，所述支撑壳2的内壁固定连接有旋转驱动源4，所述旋转驱动源4的转动部固定连接有转盘5，所述转盘5的表面开设有两个弧形槽6，所述转盘5通过两个所述弧形槽6分别滑动连接有滑柱一7和滑柱二8，所述滑柱一7和滑柱二8的背侧分别固定连接有连接板一9和连接板二91，所述连接板一9和所述连接板二91的表面均滑动套接有连接块10，两个所述连接块10的背侧与所述支撑壳2的内壁固定连接，还包括伸缩部件，通过旋转驱动源4转动部的运转，带动转盘5转动，通过转盘5的转动，且由于两个弧形槽6与滑柱一7和滑柱二8的滑动配合关系，以及两个连接块10对连接板一9和连接板二91位移方向的限制，使得连接板一9和连接板二91以远离旋转驱动源4转动部的方向作直线移动，使得伸缩部件伸出，因机体1一般体积较大，不方便移动，当使用者需要将机体1移动至需要的位置时，按照上述所述，使得伸缩部件伸出，使得机体1便于在地面上移动，同时可配合拉动装置对装置进行牵引，当使用者移动到需要的位置进行工作时，若伸缩部件漏出在装置外部，可能使用者会触碰到伸缩部件，造成使用者疼痛的情况，且伸缩部件若作为机体1的支撑方式的话，因机体在运转使得振动，以及机体1本身体积的因素，可能伸缩部件会发生轻微的移动，致使内部的机体1在工作时，产生一定的误差，且伸缩部件作为持续的支撑的话，接地面积较小，长时间的使用，可能使得伸缩部件，通过使用者驱动旋转驱动源4的反向运转，使得伸缩部件收缩，使得本装置的稳定性更佳。
23.进一步的，所述伸缩部件包括牵引环11，所述牵引环11的侧面与所述连接板一9端部固定连接，所述连接板二91的端部固定连接有滑轮120，所述支撑壳2的侧面开设有用于所述牵引环11穿出的开口一12，所述支撑块3的下表面开设有用于所述滑轮120穿出的开口二13，通过连接板一9的移动，带动牵引环11伸出开口一12，通过连接板二91的移动，带动滑轮120伸出开口二13。
24.进一步的，两个所述支撑壳2的内部均设置有喷气部件。
25.进一步的，所述喷气部件包括转轴二14，所述转轴二14的表面与所述支撑壳2的内壁定轴转动连接，所述转轴二14的表面固定连接有转块15，所述转块15的表面固定连接有压块16，所述支撑壳2的内壁固定连接有容器17，所述容器17的内壁滑动连接有活塞18，所述活塞18的侧面固定连接有活塞杆19，所述容器17的侧面开设有用于所述活塞杆19穿出且与之滑动连接的滑口，所述活塞杆19的端部固定连接有压板20，所述压板20与所述容器17的相对侧共同固定连接有复位弹簧21，所述容器17的表面固定连通有进气管22和出气管23，所述支撑壳2的侧面开设有用于所述进气管22穿出的开口三，所述出气管23的端部固定连通有喷头24，所述进气管22和出气管23的内部均设置有单向阀25，通过转轴二14的转动，带动压块16转动，且由于复位弹簧21对压板20的弹性关系，使得压板20可与四个压块16间歇性抵接，使得活塞杆19和活塞18往复移动，通过活塞18的往复移动，使得容器17内的压强
发生变化，使得外界的空气进入容器17内，再由容器17经出气管23，最终至喷头24内喷出，使得当本装置对滑轮120进行伸缩时，配合喷头24喷出的气体，对滑轮120接触的地面进行喷气，使得灰尘和杂质得以吹出滑轮120接触地面的范围，避免因杂质体积较大，使得滑轮120发生一定的抖动，致使机体1发生抖动的情况，可能会影响机体1内部元件的运转。
26.进一步的，所述伸缩部件与所述喷气部件通过传动部件进行连接。
27.进一步的，所述传动部件包括齿轮一26，所述齿轮一26的表面与所述旋转驱动源4的转动部固定连接，所述转轴二14的表面固定连接有齿轮二27，所述齿轮一26的齿槽部与所述齿轮二27的齿槽部相啮合，通过旋转驱动源4转动部的运转，带动齿轮一26转动，且由于齿轮一26与齿轮二27的啮合关系，以及齿轮一26的直径大于齿轮二27的直接，使得带动齿轮二27转动，且根据大小齿轮传动比的不同，使得齿轮二27较为快速的转动，带动转轴二14转动。
28.工作原理：该可降低出气率的刻蚀机内腔真空烘烤除气热板使用时，刻蚀是半导体制造工艺中的重要步骤，本装置在使用时，通过旋转驱动源4转动部的运转，带动转盘5转动，通过转盘5的转动，且由于两个弧形槽6与滑柱一7和滑柱二8的滑动配合关系，以及两个连接块10对连接板一9和连接板二91位移方向的限制，使得连接板一9和连接板二91以远离旋转驱动源4转动部的方向作直线移动，使得牵引环11伸出开口一12，以及滑轮120伸出开口二13，因机体1一般体积较大，不方便移动，当使用者需要将机体1移动至需要的位置时，按照上述所述，使得滑轮120伸出，使得机体1便于在地面上移动，同时牵引环11伸出，供拉动装置对装置进行牵引，当使用者移动到需要的位置进行工作时，牵引环11漏出在装置外部，可能使用者会触碰到牵引环11，造成使用者疼痛的情况，且滑轮120若作为机体1的支撑方式的话，因机体在运转使得振动，以及机体1本身体积的因素，可能滑轮120会发生轻微的移动，致使内部的机体1在工作时，产生一定的误差，且滑轮120作为持续的支撑的话，接地面积较小，长时间的使用，可能使得滑轮120损坏，通过使用者驱动旋转驱动源4的反向运转，使得滑轮120和牵引环11收缩，使得本装置的稳定性更佳；
29.通过旋转驱动源4转动部的运转，带动齿轮一26转动，且由于齿轮一26与齿轮二27的啮合关系，以及齿轮一26的直径大于齿轮二27的直接，使得带动齿轮二27转动，且根据大小齿轮传动比的不同，使得齿轮二27较为快速的转动，带动转轴二14转动，通过转轴二14的转动，带动压块16转动，且由于复位弹簧21对压板20的弹性关系，使得压板20可与四个压块16间歇性抵接，使得活塞杆19和活塞18往复移动，通过活塞18的往复移动，使得容器17内的压强发生变化，使得外界的空气进入容器17内，再由容器17经出气管23，最终至喷头24内喷出，使得当本装置对滑轮120进行伸缩时，配合喷头24喷出的气体，对滑轮120接触的地面进行喷气，使得灰尘和杂质得以吹出滑轮120接触地面的范围，避免因杂质体积较大，使得滑轮120发生一定的抖动，致使机体1发生抖动的情况，可能会影响机体1内部元件的运转；
30.本装置相较于一般的装置，本装置更具实用性，一般的装置通常在搬运机体1时，因机体1的体积关系，使得移动过程较为麻烦，而且容易造成使用者的身体受到损伤，且因人工搬运，存在较大抖动的情况，可能影响机体1内部元件的正常运转，本装置在使用时，通过可伸缩的滑轮120和牵引环11，使得当使用者需要移动时，滑轮120和牵引环11可伸出，供使用者便捷的移动，当不需要移动时，滑轮120和牵引环11可收缩，保持装置的稳定性，具备了实用性更佳的效果。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。