一种晶元转换机的制作方法

1.本实用新型属于晶元加工技术领域，特别涉及一种晶元转换机。


背景技术：

2.在对晶元进行加工的过程中，由于包含多个加工工序、需要利用多个加工装置对其进行加工处理，是以需要利用转换装置使得晶元在多个加工装置进行位置转换。
3.现有的晶元转换机，虽然能够对晶元进行位置转换处理，但却存在着不能适用于多种尺寸规格的晶元的夹取处理、转换效率低的缺陷。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型针对现有技术的不足，提供一种晶元转换机，不仅能够使得晶元在多个加工装置之间进行位置转换，而且还具备适用性强、转换效率高的特点。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种晶元转换机，包括机架、设置在机架上且用于对晶元进行位置转换处理的位置转换模块和设置在机架底部的行走支撑模块；
6.所述位置转换模块包括水平设置在机架上的第一直线滑台、竖向设置在第一直线滑台的滑座上的伺服减速电机、与伺服减速电机的输出轴竖向相连接的第二直线滑台、与第二直线滑台的滑座横向相连接的第一伸缩推杆和竖向设置在第一伸缩推杆的输出轴的端部且用于对晶圆进行夹取的电动夹爪。
7.进一步的，所述位置转换模块还包括设置在机架上的plc控制器和与plc控制器通讯连接的触控显示屏；所述plc控制器分别与第一直线滑台、第二直线滑台、第一伸缩推杆和电动夹爪电性连接。
8.进一步的，所述电动夹爪的爪体的内端侧壁上还设置有防滑纹。
9.进一步的，所述行走支撑模块包括竖向设置在机架底部的第二伸缩推杆、与第二伸缩推杆的输出轴的底部相连接的支撑腿、设置在支撑腿底部的行走轮、设置在支撑腿侧端的固定板和设置在固定板上且用来与地面进行固定的固定螺栓；所述第二伸缩推杆与plc控制器通讯连接。
10.进一步的，所述行走轮为带轮刹的万向轮。
11.进一步的，所述机架上还设置有电池槽，所述电池槽中还设置有蓄电池，所述电池槽上还设置有控制开关；所述蓄电池通过电池槽与第二伸缩推杆、plc控制器和触控显示屏电性连接。
12.进一步的，所述电池槽上还设置有用于为蓄电池进行充电的充电接口。
13.进一步的，所述电池槽上还设置有用于显示蓄电池剩余电量的显示面板；所述电池槽上还设置有用于在蓄电池的剩余电量低于阈值时进行报警的报警器。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：可以先使得第一直线滑台的滑座的初始水平位置与晶元的位置相适配，并使得电动夹爪的爪体张开，当第一个加工装置完
成对晶元的加工处理后、需要对晶元的位置进行转换时，只需使得第一伸缩推杆的输出轴伸长一定的长度，使得电动夹爪移动到晶元的正上方，再使得第二直线滑台的滑座向下移动，使得第一伸缩推杆、电动夹爪向下移动，使得电动夹爪张开的爪体套设在晶元的侧端外部，然后使得电动夹爪的爪体闭合一定的程度，使得电动夹爪将晶元夹持固定住，之后就可以使得第一伸缩推杆的输出轴缩短一定的长度，使得晶元离开第一个加工装置；然后就可以使得使得第一直线滑台的滑座移动至第二个加工装置的位置，再使得第二直线滑台的滑座竖向上下移动，使得第一伸缩推杆、电动夹爪、晶元的竖向位置与第二个加工装置的加工位的水平高度相适配，然后就可以通过第一伸缩推杆的输出轴伸长一定长度的方式，使得晶元移动到第二个加工装置的加工位的上方，之后再使得第二直线滑台的滑座向下移动一定的距离，使得晶元的底部与第二个加工装置的加工位的顶部相接触，再使得电动夹爪的爪体张开，便可将晶元放置到第二个加工装置的加工位上，之后依次使得第一伸缩推杆的输出轴第二直线滑台的滑座复位，从而做好再次对晶元进行加工处理的准备；在对晶元进行位置转换的过程中，还可以通过伺服减速电机的输出轴的转动带动第二直线滑台、第一伸缩推杆、电动夹爪发生一定角度的转动，从而克服不同的加工装置的加工位的朝向不同的缺陷。
附图说明
15.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
16.图1为本实用新型的侧视剖面结构示意图。
17.图中：1、机架；2、第一直线滑台；3、伺服减速电机；4、第二直线滑台；5、第一伸缩推杆；6、电动夹爪；7、plc控制器；8、触控显示屏；9、第二伸缩推杆；10、支撑腿；11、行走轮；12、固定板；13、固定螺栓；14、电池槽；15、蓄电池；16、控制开关；17、充电接口；18、显示面板；19、报警器。
具体实施方式
18.为了更好地理解本实用新型，下面结合实施例进一步清楚阐述本实用新型的内容，但本实用新型的保护内容不仅仅局限于下面的实施例。在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员来说显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。
19.如图1所示，一种晶元转换机，包括机架1、设置在机架1上且用于对晶元进行位置转换处理的位置转换模块和设置在机架1底部的行走支撑模块；
20.所述位置转换模块包括水平设置在机架1上的第一直线滑台2、竖向设置在第一直线滑台2的滑座上的伺服减速电机3、与伺服减速电机3的输出轴竖向相连接的第二直线滑台4、与第二直线滑台4的滑座横向相连接的第一伸缩推杆5和竖向设置在第一伸缩推杆5的输出轴的端部且用于对晶圆进行夹取的电动夹爪6。
21.所述位置转换模块还包括设置在机架1上的plc控制器7和与plc控制器7通讯连接的触控显示屏8；所述plc控制器7分别与第一直线滑台2、第二直线滑台4、第一伸缩推杆5和电动夹爪6电性连接。
22.所述电动夹爪6的爪体的内端侧壁上还设置有防滑纹。
23.所述行走支撑模块包括竖向设置在机架1底部的第二伸缩推杆9、与第二伸缩推杆9的输出轴的底部相连接的支撑腿10、设置在支撑腿10底部的行走轮11、设置在支撑腿10侧端的固定板12和设置在固定板12上且用来与地面进行固定的固定螺栓13；所述第二伸缩推杆9与plc控制器7通讯连接。
24.所述行走轮11为带轮刹的万向轮。
25.根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，所述机架1上还设置有电池槽14，所述电池槽14中还设置有蓄电池15，所述电池槽14上还设置有控制开关16；所述蓄电池15通过电池槽14与第二伸缩推杆9、plc控制器7和触控显示屏8电性连接。
26.根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，所述电池槽14上还设置有用于为蓄电池15进行充电的充电接口17。
27.根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，所述电池槽14上还设置有用于显示蓄电池15剩余电量的显示面板18；所述电池槽14上还设置有用于在蓄电池15的剩余电量低于阈值时进行报警的报警器19。
28.具体的，可以先使得第一直线滑台2的滑座的初始水平位置与晶元的位置相适配，并使得电动夹爪6的爪体张开，当第一个加工装置完成对晶元的加工处理后、需要对晶元的位置进行转换时，只需使得第一伸缩推杆5的输出轴伸长一定的长度，使得电动夹爪6移动到晶元的正上方，再使得第二直线滑台4的滑座向下移动，使得第一伸缩推杆5、电动夹爪6向下移动，使得电动夹爪6张开的爪体套设在晶元的侧端外部，然后使得电动夹爪6的爪体闭合一定的程度，使得电动夹爪6将晶元夹持固定住，之后就可以使得第一伸缩推杆5的输出轴缩短一定的长度，使得晶元离开第一个加工装置。
29.然后就可以使得使得第一直线滑台2的滑座移动至第二个加工装置的位置，再使得第二直线滑台4的滑座竖向上下移动，使得第一伸缩推杆5、电动夹爪6、晶元的竖向位置与第二个加工装置的加工位的水平高度相适配，然后就可以通过第一伸缩推杆5的输出轴伸长一定长度的方式，使得晶元移动到第二个加工装置的加工位的上方，之后再使得第二直线滑台4的滑座向下移动一定的距离，使得晶元的底部与第二个加工装置的加工位的顶部相接触，再使得电动夹爪6的爪体张开，便可将晶元放置到第二个加工装置的加工位上，之后依次使得第一伸缩推杆5的输出轴第二直线滑台4的滑座复位，从而做好再次对晶元进行加工处理的准备。
30.在对晶元进行位置转换的过程中，还可以通过伺服减速电机3的输出轴的转动带动第二直线滑台4、第一伸缩推杆5、电动夹爪6发生一定角度的转动，从而克服不同的加工装置的加工位的朝向不同的缺陷。
31.通过plc控制器7、触控显示屏8的配合，能够方便地对第一直线滑台2、第二直线滑台4、第一伸缩推杆5和电动夹爪6进行协调控制，从而实现对晶元的位置转换；还可以根据需求，对第一直线滑台2、第二直线滑台4、第一伸缩推杆5和电动夹爪6的运行过程进行预设，从而自动化地对晶元的位置进行转换。
32.因为电动夹爪6的爪体的内端侧壁上还设置有防滑纹，所以能够使得电动夹爪6更牢固地对晶元进行夹取。
33.可以通过第二伸缩推杆9的输出轴伸缩，使得机架1进行上下移动，从而实现对机架1、第一直线滑台2、第二直线滑台4、第一伸缩推杆5和电动夹爪6的竖向高度的整体调节。
34.装置在工作的过程中，可以使得固定螺栓13穿过固定板12并与地面相连接，从而避免装置在工作的过程中具有更好的平稳性，避免其发生偏移；当需要移动装置时，只需使得固定螺栓13与地面分离，之后就可以借助于行走轮11使得装置省时省力地进行移动。
35.通过蓄电池15、电池槽14的配合，能够为第二伸缩推杆9、plc控制器7和触控显示屏8提供备用电能，使得用户在不依靠外接电路的情况下仍能通过plc控制器7和触控显示屏8的配合，对第一直线滑台2、第二直线滑台4、第一伸缩推杆5、电动夹爪6的输出轴的运行状态进行预设；对第二伸缩推杆9进行调节，从而实现对机架1的竖向位置的调节。
36.通过充电接口17，能够方便地对蓄电池15进行充电处理；通过显示面板18能够方便地对蓄电池15的电能剩余量进行查看；报警器19还能够在蓄电池15的剩余电量低于阈值时进行报警，从而提醒用户及时地对蓄电池15进行充电处理。
37.最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。