一种便于清洁的晶圆检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆检测的技术领域，特别涉及一种便于清洁的晶圆检测装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路圆件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.9％。接着是将些纯硅制成硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。常用的晶圆颗粒检测方法有两种：人工检测法，在无菌、无尘条件下依靠显微镜对晶圆颗粒进行人工检测，及时检测出晶圆表面上的缺陷和颗粒，防止清洁度不够的晶圆进入机台，以保障晶圆制造的工艺品质，但是人工检测具有效率低、误差大的缺点；光学检测方法，通过使用光学散射强度测量技术来探测晶圆表面颗粒的有无、颗粒在晶圆表面的空间分布等具有不破坏晶圆表面的清洁度、可实时检测等的优点，越来越受到半导体制造商的青睐，成为最常用的晶圆检测方法之一。
3.但目前的晶圆检测装置在使用过程中存在一些缺陷，晶圆检测装置的结构较为单一，在检测装置长时间使用时其表面部件的夹层中会堆积少量的灰尘，不便于检测装置的清洁，并且检测装置在检测过程中的减震效果不佳，对晶圆质量的结果造成影响，对晶圆检测装置的使用效果造成影响，因此现在对检测装置做出改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种便于清洁的晶圆检测装置，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种便于清洁的晶圆检测装置，包括检测主体，所述检测主体的内壁下端边缘位置开设有流水槽，所述检测主体的内壁四周设置有排水管，所述排水管的一侧外表面设置有喷头，所述检测主体的内壁位于排水管的上端位置设置有排风管，所述检测主体的上端中间位置设置有输送机构，所述输送机构的上端外表面设置有固定机构，所述检测主体的前端左下角设置有水泵，所述水泵的前端外表面固定安装有送水管，所述送水管的前端外表面固定安装有加药管，所述水泵的右端外表面设置有吹风机，所述检测主体的前端右下方位置设置有放水管，所述检测主体的下端外表面连接有底座，所述底座的内壁四周位置设置有橡胶条，所述底座的内部中间位于橡胶条的下方位置固定安装有钢筋网，所述钢筋网的下端外表面设置有弹簧，所述弹簧的上下两端均固定安装有橡胶垫。
7.优选的，所述喷头的数量为若干组，若干组所述喷头位于排水管的一侧呈列阵式排布，所述送水管的一端与排水管呈贯通式连接。
8.优选的，所述水泵的左端外表面安装有水源管，所述水源管与送水管呈贯通式连
接，所述送水管与检测主体呈贯穿式连接。
9.优选的，所述加药管和放水管的一端均设置有控制阀，所述加药管的中部位于控制阀的一侧位置固定安装哟加药斗，所述放水管与流水槽呈贯通式连接。
10.优选的，所述吹风机与排风管呈贯通式连接，所述吹风机的空气流通端位于检测主体的外表面。
11.优选的，所述橡胶条内径尺寸与检测主体的下端外径尺寸相同，所述钢筋网由若干组钢筋条组成。
12.优选的，所述弹簧的数量为若干组，若干组所述弹簧均匀的分布在底座与钢筋网的中间位置，所述橡胶垫的数量为两组，一组所述橡胶垫位于钢筋网的下端位置，另一组所述橡胶垫位于底座内壁上端。
13.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
14.1、通过设置的流水槽、排水管、排风管、水泵、加药管和吹风机，水泵通过水源管便于向送水管和排水管中输送水源，喷头便于将输送的水源喷在检测主体表面对检测装置的部件进行清洗，排水槽便于将清洗污水输入放水管中排出检测主体，吹风机通过排风管便于对检测主体的内壁干燥，提高了检测主体的内部清洗的清洗效果，增加了检测装置表面清洗的便捷性，从而提高检测装置的使用效果；
15.2、通过设置的橡胶条、钢筋网、弹簧和橡胶垫，橡胶条便于增加检测主体与底座的连接牢固性，弹簧和橡胶垫的弹性特征便于增加检测装置的减震结构，钢筋网便于增加若干组弹簧间的弹性特征，提高了底座的减震效果，使得提高检测装置使用的平稳性，从而增加检测装置的实用性。
附图说明
16.图1为本实用新型一种便于清洁的晶圆检测装置的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型一种便于清洁的晶圆检测装置中检测主体的局部结构剖析图；
18.图3为本实用新型一种便于清洁的晶圆检测装置中检测主体的结构爆炸图；
19.图4为本实用新型一种便于清洁的晶圆检测装置中水泵的结构示意图；
20.图5为本实用新型一种便于清洁的晶圆检测装置中底座的结构爆炸图。
21.图中：1检测主体、2流水槽、3排水管、4喷头、5排风管、6输送机构、7固定机构、8水泵、9送水管、10加药管、11吹风机、12放水管、13底座、14加药斗、15橡胶条、16钢筋网、17弹簧、18橡胶垫、19水源管、20控制阀。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段创作特征达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”“下”“内”“外”“前端”“后端”“两端”“一端”“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的检测装置或圆件必须具有特定的方位以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”“设置有”“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个圆件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体的情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。个部件的连接稳定性，硅胶条便于增加底板的减震功能。
25.如图1-5所示，一种便于清洁的晶圆检测装置，包括检测主体1，检测主体1的内壁下端边缘位置开设有流水槽2，检测主体1的内壁四周设置有排水管3，排水管3的一侧外表面设置有喷头4，检测主体1的内壁位于排水管3的上端位置设置有排风管5，检测主体1的上端中间位置设置有输送机构6，输送机构6的上端外表面设置有固定机构7，检测装置应用现有的晶圆检测中的输送机构6和固定机构7技术，对晶圆进行固定和移动用于晶圆的检测，检测主体1的前端左下角设置有水泵8，水泵8的前端外表面固定安装有送水管9，送水管9的前端外表面固定安装有加药管10，水泵8的右端外表面设置有吹风机11，检测主体1的前端右下方位置设置有放水管12，检测主体1的下端外表面连接有底座13，底座13的内壁四周位置设置有橡胶条15，底座13的内部中间位于橡胶条15的下方位置固定安装有钢筋网16，钢筋网16的下端外表面设置有弹簧17，弹簧17的上下两端均固定安装有橡胶垫18。其中，喷头4的数量为若干组，若干组喷头4位于排水管3的一侧呈列阵式排布，送水管9的一端与排水管3呈贯通式连接，使得检测装置通过水源对检测装置进行清洗，增加了检测装置清洗的便捷性。
26.其中，水泵8的左端外表面安装有水源管19，水源管19与送水管9呈贯通式连接，送水管9与检测主体1呈贯穿式连接，使得检测装置通过水泵8向喷头4输送水源。
27.其中，加药管10和放水管12的一端均设置有控制阀20，加药管10的中部位于控制阀20的一侧位置固定安装哟加药斗14，放水管12与流水槽2呈贯通式连接，检测装置通过加药斗14和加药管10添加检测装置的清洗剂，提高装置的清洗效果。
28.其中，吹风机11与排风管5呈贯通式连接，吹风机11的空气流通端位于检测主体1的外表面，使得检测装置通过吹风机11对装置的表面干燥，提高装置的清洗效果。
29.其中，橡胶条15内径尺寸与检测主体1的下端外径尺寸相同，钢筋网16由若干组钢筋条组成，通过橡胶条15使得增加底座13与检测主体1的连接牢固性。
30.其中，弹簧17的数量为若干组，若干组弹簧17均匀的分布在底座13与钢筋网16的中间位置，橡胶垫18的数量为两组，一组橡胶垫18位于钢筋网16的下端位置，另一组橡胶垫18位于底座13内壁上端，钢筋网16用于增加若干组弹簧17间的弹性特征，提高了底座13的减震效果增加检测装置的使用平稳性。
31.需要说明的是，本实用新型为一种便于清洁的晶圆检测装置，使用时将底座13平稳放置在使用位置，检测主体1放置在底座13上端通过橡胶条15增加底座13与检测主体1的连接牢固性，应用现有的晶圆检测技术通过固定机构7将代测晶圆固定，配合着输送机构6对固定机构7位置的移动使得检测主体1对代测晶圆进行检测，当检测装置长时间使用时可将水源管19一端连接水源，通过水泵8的工作将水源从水源管19输入送水管9和排水管3中，通过喷头4将水源喷撒才检测装置的内壁，使得水源与装置表面的灰尘融合通过流水槽2排至放水管12中，打开控制阀20将水排出检测主体1，也可使用加药斗14向加药管10中加入检
测装置的清洗剂，打开控制阀20清洗剂随着送水管9中水源的流通输入喷头4处使用，对检测装置进行清洗，通过吹风机11的吹风工作将流通空气通入排风管5中对检测主体1的表面进行干燥处理，完成装置的清洗工作，当检测装置受到撞击时检测主体1向钢筋网16施加力，应用钢筋的韧性、弹簧17和橡胶垫18的弹性特征对检测主体1进行减震处理，钢筋网16用于增加若干组弹簧17间的弹性特征，提高了底座13的减震效果增加检测装置的使用平稳性，从而提高了晶圆检测装置的使用效果。
32.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。