一种微硅显示面板以及微硅显示器的制作方法

1.本实用新型实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种微硅显示面板以及微硅显示器。


背景技术：

2.随着信息技术时代的快速发展，微硅显示面板因具有寿命高、体积小、重量轻、产品良率高、能耗低等优点在智能手机、智能穿戴显示器等显示装置中的应用越来越广泛。
3.现有的微硅显示面板包括硅衬底、有机发光器件层和滤光片，其中，有机发光器件层发出的光经过滤光片转换为特定颜色的光。现有的滤光片由有机染料，其对环境污染严重。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种微硅显示面板以及微硅显示器，以降低硅显示面板以及微硅显示器制备过程中对环境的污染程度。
5.本实用新型实施例提供了一种微硅显示面板，包括：
6.硅衬底；
7.有机发光器件层，位于所述硅衬底的表面；
8.薄膜封装层位于所述有机发光器件层远离所述硅衬底的表面；
9.金属光栅滤光片，位于所述薄膜封装层远离所述硅衬底的表面，所述金属光栅滤光片包括预设狭缝宽度的光栅结构。
10.可选的，所述金属光栅滤光片包括红色金属光栅滤光片、绿色金属光栅滤光片以及蓝色金属光栅滤光片中的至少一种。
11.可选的，所述金属光栅滤光片的狭缝宽度与所述金属光栅滤光片的滤光波长呈正相关。
12.可选的，所述红色金属光栅滤光片预设狭缝宽度大于或等于390nm，且小于或等于430nm。
13.可选的，所述绿色金属光栅滤光片预设狭缝宽度大于或等于320nm，且小于或等于340nm。
14.可选的，所述蓝色金属光栅滤光片预设狭缝宽度大于或等于270nm，且小于或等于300nm。
15.可选的，还包括封装盖板，所述封装盖板位于所述金属光栅滤光片远离所述硅衬底的表面。
16.可选的，金属光栅滤光片的厚度大于或等于10nm，且小于或等于40nm。
17.可选的，所述有机发光器件层包括白光有机发光器件层。
18.本实用新型实施例还提供了一种微硅显示器，包括上述技术方案中任意所述的微硅显示面板。
19.本实施例提供的技术方案中，金属光栅滤光片因包括预设狭缝宽度的光栅结构，可以使得有机发光器件层发出的光在谐振状态下，透过金属光栅滤光片出射。由于有机发光器件层发出的光在谐振状态下，透过金属光栅滤光片出射，增强了从金属光栅滤光片出射的光的光强，进而提升了微硅显示面板的画面显示质量。且可以通过调节金属光栅滤光片的光栅结构的狭缝宽度来调节金属光栅滤光片的滤光波长。其中金属光栅滤光片不涉及有机染料，可以降低微硅显示面板制作过程中对环境的污染程度。相比有机染料制成的滤光片，需要工艺条件苛刻的光刻工艺参数，金属光栅滤光片的制备工艺简单，降低了微硅显示面板制备工艺的复杂度，进而降低了微硅显示面板的制备成本。且金属光栅滤光片随着环境温度的变化仍然保持稳定的物理化学性能，使得金属光栅滤光片随着环境温度的变化具有稳定的滤光性能。相比有机染料制成的滤光片，存在固化不牢固，且容易脱落的问题，金属光栅滤光片是通过热蒸发工艺制成的，金属光栅滤光片不容易从有机发光器件层的表面脱落。
附图说明
20.图1为本实用新型实施例提供的一种微硅显示面板的结构示意图；
21.图2为本实用新型实施例提供的另一种微硅显示面板的结构示意图；
22.图3为本实用新型实施例提供的又一种微硅显示面板的结构示意图；
23.图4为本实用新型实施例提供的又一种微硅显示面板的结构示意图。
具体实施方式
24.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
25.本实用新型实施例提供了一种微硅显示面板。图1为本实用新型实施例提供的一种微硅显示面板的结构示意图。参见图1，该微硅显示面板包括：硅衬底10；有机发光器件层20，位于硅衬底10的表面；薄膜封装层30位于有机发光器件层20远离硅衬底10的表面；金属光栅滤光片40，位于薄膜封装层30远离硅衬底10的表面，金属光栅滤光片40包括预设狭缝宽度的光栅结构。
26.示例性的，金属光栅滤光片40可以通过热蒸发技术制备。可选的，金属光栅滤光片40可以是金属金光栅滤光片、金属铝光栅滤光片以及金属银光栅滤光片中的任意一种。金属金光栅滤光片、金属铝光栅滤光片以及金属银光栅滤光片中的任意一种不含有机染料，制备方法简单，物理化学性能稳定，并且在预设厚度范围内，对于光线的透过率较高，并且预设狭缝宽度的光栅结构可以使得滤光波长的光处于谐振状态下，透过金属光栅滤光片40。
27.具体的，薄膜封装层30可以是有机膜层、无机膜层或者有机膜层和无机膜层形成的堆叠结构，用于防止外界水氧侵入有机发光器件层20。薄膜封装层30示例性的可以是氧化铝/氧化钛/氧化硅组成的堆叠结构。
28.本实施例提供的技术方案中，金属光栅滤光片40因包括预设狭缝宽度的光栅结构，可以使得有机发光器件层20发出的光在谐振状态下，透过金属光栅滤光片40出射。由于
有机发光器件层20发出的光在谐振状态下，透过金属光栅滤光片40出射，增强了从金属光栅滤光片40出射的光的光强，进而提升了微硅显示面板的画面显示质量。且可以通过调节金属光栅滤光片40的光栅结构的狭缝宽度来调节金属光栅滤光片40的滤光波长。其中金属光栅滤光片40不涉及有机染料，可以降低微硅显示面板制作过程中对环境的污染程度。相比有机染料制成的滤光片，需要工艺条件苛刻的光刻工艺参数，金属光栅滤光片40的制备工艺简单，降低了微硅显示面板制备工艺的复杂度，进而降低了微硅显示面板的制备成本。且金属光栅滤光片40随着环境温度的变化仍然保持稳定的物理化学性能，使得金属光栅滤光片40随着环境温度的变化具有稳定的滤光性能。相比有机染料制成的滤光片，存在固化不牢固，且容易脱落的问题，金属光栅滤光片40是通过热蒸发工艺制成的，金属光栅滤光片40不容易从有机发光器件层20的表面脱落。
29.图2为本实用新型实施例提供的另一种微硅显示面板的结构示意图。可选的，参见图2，金属光栅滤光片40包括红色金属光栅滤光片40a、绿色金属光栅滤光片40b以及蓝色金属光栅滤光片40c中的至少一种。
30.具体的，有机发光器件层20发出的光通过红色金属光栅滤光片40a，以红光出射。有机发光器件层20发出的光通过绿色金属光栅滤光片40b以绿光出射。有机发光器件层20发出的光通过蓝色金属光栅滤光片40c以蓝光出射。通过合理配置红色金属光栅滤光片40a、绿色金属光栅滤光片40b以及蓝色金属光栅滤光片40c的位置和数量，以使微硅显示面板可以显示彩色的画面。
31.可选的，参见图2，金属光栅滤光片40的狭缝宽度与金属光栅滤光片40的滤光波长呈正相关。
32.示例性的，红色金属光栅滤光片40a的狭缝宽度大于绿色金属光栅滤光片40b的狭缝宽度，绿色金属光栅滤光片40b的狭缝宽度大于蓝色金属光栅滤光片40c的狭缝宽度。对应的，可见光中，红光的波长大于绿光的波长，绿光的波长大于蓝光的波长。
33.具体的，根据金属光栅滤光片40的狭缝宽度与金属光栅滤光片40的滤光波长呈正相关这一规律，可以合理设置金属光栅滤光片40的狭缝宽度，可以方便且简单地制备预设滤光波长的金属光栅滤光片40，相比现有滤波片通过改变有机染料的配比来实现滤光波长的改变，简化了制作工艺。
34.可选的，参见图2，红色金属光栅滤光片40a预设狭缝宽度大于或等于390nm，且小于或等于430nm。
35.具体的，红色金属光栅滤光片40a预设狭缝宽度大于或等于390nm，且小于或等于430nm时，有机发光器件层20发出的光通过红色金属光栅滤光片40a，以红光出射。
36.发明人经过仔细研究发现，金属光栅滤光片40在预设厚度范围内对光的透射率较好，如果红色金属光栅滤光片40a预设狭缝宽度小于390nm，或者大于430nm时，有机发光器件层20发出的光通过红色金属光栅滤光片40a，并不是以红光出射。
37.可选的，参见图2，绿色金属光栅滤光片40b预设狭缝宽度大于或等于320nm，且小于或等于340nm。
38.具体的，绿色金属光栅滤光片40b预设狭缝宽度大于或等于320nm，且小于或等于340nm，有机发光器件层20发出的光通过绿色金属光栅滤光片40b，以绿光出射。
39.发明人经过仔细研究发现，金属光栅滤光片40在预设厚度范围内对光的透射率较
好，如果绿色金属光栅滤光片40b预设狭缝宽度小于320nm，或者大于340nm时，有机发光器件层20发出的光通过绿色金属光栅滤光片40b，并不是以绿光出射。
40.可选的，参见图2，蓝色金属光栅滤光片40c预设狭缝宽度大于或等于270nm，且小于或等于300nm。
41.具体的，蓝色金属光栅滤光片40c预设狭缝宽度大于或等于270nm，且小于或等于300nm，有机发光器件层20发出的光通过蓝色金属光栅滤光片40c，以蓝光出射。
42.发明人经过仔细研究发现，金属光栅滤光片40在预设厚度范围内对光的透射率较好，如果蓝色金属光栅滤光片40c预设狭缝宽度小于270nm，或者大于300nm时，有机发光器件层20发出的光通过蓝色金属光栅滤光片40c，并不是以蓝光出射。
43.图3为本实用新型实施例提供的又一种微硅显示面板的结构示意图。可选的，参见图3，还包括封装盖板50，封装盖板50位于金属光栅滤光片40远离硅衬底10的表面。
44.封装盖板50示例性的包括玻璃盖板。具体的，封装盖板50用于防止外界水氧经过金属光栅滤光片40侵入有机发光器件层20。
45.可选的，参见图2和图3，金属光栅滤光片40的厚度大于或等于10nm，且小于或等于40nm。
46.具体的，金属光栅滤光片40的厚度小于10nm时，厚度太薄，机械强度不够，容易被外力损毁。金属光栅滤光片40的厚度大于40nm时，金属光栅滤光片40对光的透过率降低。金属光栅滤光片40的厚度大于或等于10nm，且小于或等于40nm，既可以具有预设机械强度，不容易被外力损毁，又可以对光保持较高的透过率。
47.可选的，参见图2和图3，有机发光器件层20包括白光有机发光器件层。
48.具体的，有机发光器件层20包括白光有机发光器件层，白光有机发光器件层为白光，包括红色、绿色以及蓝色的光，可以通过合理配置红色金属光栅滤光片40a、绿色金属光栅滤光片40b以及蓝色金属光栅滤光片40c的位置和数量，以使显示面板可以显示彩色的画面。
49.图4为本实用新型实施例提供的又一种微硅显示面板的结构示意图。可选的，参见图4，有机发光器件层20包括多个分立的阳极210、发光层211和阴极层212，每一阳极210、以及与阳极210对应的发光层211和阴极层212组成一个发光单元。其中，发光层211可以包括依次叠层设置的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层和电子注入层，其中，空穴注入层和阳极210接触，电子注入层和阴极层212接触。载流子从空穴注入层和电子注入层，经过空穴传输层和电子传输层的传输到达有机发光层中复合发光。硅衬底10上设置有驱动发光单元的驱动电路。其中硅衬底10上设置有过孔10a，将硅衬底10紧邻阳极210一侧的电信号引至硅衬底10远离阳极210一侧的表面。
50.在硅衬底10上以硅材料作为有源层，通过cmos集成电路工艺形成驱动电路，其中，驱动电路包括的薄膜晶体管具有较高的载流子迁移率和漂移较小的阈值电压。因此，包括硅衬底10的显示面板具有寿命高、体积小、重量轻、产品良率高、能耗低等优点。
51.可选的，参见图4，该微硅显示面板还包括印刷电路板60，印刷电路板60位于硅衬底10远离有机发光器件层20一侧的表面。印刷电路板60上设置有焊盘，焊盘通过过孔10a与硅衬底10上的驱动电路实现电连接，用于为驱动电路提供驱动信号，以实现微硅显示面板进行画面的显示。
52.需要说明的是，包括硅衬底10的显示面板称之为微硅显示面板。微硅显示面板因具有寿命高、体积小、重量轻、产品良率高、能耗低等优点在智能手机、智能穿戴显示器等显示装置中的应用越来越广泛。
53.本实用新型实施例还提供了一种微硅显示器。微硅显示器包括上述技术方案中任意所述的微硅显示面板。本实用新型实施例提供的微硅显示器包括上述微硅显示面板，因此具有上述微硅显示面板所具有的有益效果，在此不再赘述。该微硅显示器可以可适用于智能手机、vr/ar等显示装置中。
54.注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。