一种晶圆智能量测载台的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆量测技术领域，特别涉及一种晶圆智能量测载台。


背景技术：

2.半导体工厂普遍面临制程多，工艺复杂的问题，为保证晶圆的质量，需要对晶圆的关键尺寸参数进行量测，从而能够及时发现到产线是否存在异常。大多数量测设备需要在晶圆上定点量测，其具体通过在量测设备的载台上设置环形槽，以定位并容置晶圆，并将定位后的晶圆移送至量测机构的下方，以使量测点位于量测机构的量测区域内。然而采用上述方式，为了便于晶圆放入环形槽，晶圆的尺寸会略小于环形槽的尺寸，从而影响晶圆在载台上的定位精度，晶圆的偏移会造成量测点的偏移，量测点的偏移会影响量测机构的量测精度和量测效率，从而影响正常制程的进行，造成晶圆良率的下降。
3.因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆智能量测载台，方便放置晶圆的同时，晶圆能够精准定位。
5.本实用新型的目的是通过以下技术方案实现：一种晶圆智能量测载台，包括：载台主体，用于承载晶圆；定位机构，包括安装盘、至少两个转动连接在所述安装盘上的抵持组件以及活动安装在所述安装盘上并与所述抵持组件相对应的至少两个传动组件，所述抵持组件围设在所述载台主体的外周；其中，所述传动组件可推动所述抵持组件转向所述载台主体的中心。
6.进一步地，所述传动组件与所述载台主体传动连接，所述载台主体可自主移动，并带动多组所述传动组件同步移动。
7.进一步地，所述抵持组件包括抵持杆和安装在所述抵持杆端部的抵持块，所述抵持块与所述晶圆的边缘相对应。
8.进一步地，所述抵持杆包括驱使所述抵持块夹紧所述晶圆的第一位置和驱使所述抵持块松开所述晶圆的第二位置，当所述传动组件朝向所述抵持杆推动时，所述抵持杆向着所述第一位置转动；当所述传动组件朝着远离所述抵持杆的方向移动时，所述抵持杆自所述第一位置复位至所述第二位置。
9.进一步地，所述载台主体包括：载板件，安装在所述安装盘内，并与所述传动组件传动连接；升降驱动件，安装在所述安装盘内，并与所述载板件相接；其中，所述升降驱动件可驱动所述载板件沿重力方向移动，以驱使所述传动组件推动所述抵持组件转向所述载台主体的中心。
10.进一步地，所述传动组件包括铰接在所述载板件上的推杆，所述安装盘开设有容纳所述推杆的引导孔，所述推杆一端自所述引导孔伸出所述安装盘，并与所述抵持组件相对应。
11.进一步地，所述载台主体还包括沿重力方向设置在安装盘内的引导杆，所述载板件滑动套设在所述引导杆上。
12.进一步地，所述抵持块朝向所述晶圆的一面为弧面。
13.进一步地，所述引导杆和所述载板件之间设有用于缓冲的缓冲件。
14.进一步地，所述量测载台还包括直线模组，所述载台主体安装在所述安装盘上，所述安装盘与所述直线模组传动连接。
15.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型中的载台主体由于未设置槽状定位结构，从而便于晶圆的放置，且通过设置可转动的抵持组件和推动抵持组件转动的传动组件，当晶圆放置在载台主体上后，传动组件可推动抵持组件转向载台主体的中心，从而实现晶圆的固定和定位，进而提高量测精度。
附图说明
16.图1是本实用新型量测载台的整体结构示意图。
17.图2是本实用新型中载台主体和定位机构的安装结构示意图。
18.图3是图2的剖面示意图。
具体实施方式
19.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本技术的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
20.本技术中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
21.在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
22.请参阅图1至图3所示，对应于本实用新型一种较佳实施例的晶圆智能量测载台，包括：载台主体100，用于承载晶圆300；定位机构200，包括安装盘21、至少两个转动连接在安装盘21上的抵持组件22以及活动安装在安装盘21上并与抵持组件22相对应的至少两个传动组件23，抵持组件22围设在载台主体100的外周；其中，传动组件23可推动抵持组件22转向载台主体100的中心。
23.本实用新型中的载台主体100由于未设置槽状定位结构，从而便于晶圆300的放置，且通过设置可转动的抵持组件22和推动抵持组件22转动的传动组件23，当晶圆300放置在载台主体100上后，传动组件23可推动抵持组件22转向载台主体100的中心，从而实现晶圆300的固定和定位，进而提高量测精度。
24.进一步地，在本实施例中，抵持组件22和传动组件23数量均为三组，且沿着载台主体100的周向间隔设置在安装盘21上。
25.进一步地，传动组件23与载台主体100传动连接，载台主体100可自主移动，以带动多组传动组件23同步移动。通过将传动组件23连接在载台主体100上，以避免每个传动组件23均设置驱动结构，从而简化结构，同时也能够确保传动组件23的同步移动，进而驱使抵持组件22同步转动，便于晶圆300的准确定位。
26.进一步地，抵持组件22包括抵持杆221和安装在抵持杆221端部的抵持块222，抵持块222与晶圆300的边缘相对应。抵持杆221包括驱使抵持块222夹紧晶圆300的第一位置和驱使抵持块222松开晶圆300的第二位置，当传动组件23朝向抵持杆221推动时，抵持杆221向着第一位置转动；当传动组件23朝着远离抵持杆221的方向移动时，抵持杆221自第一位置复位至第二位置。
27.优选的，抵持块222朝向晶圆300的一面为弧面，以增大其与晶圆300边缘的接触面，从而更好的推动和抵紧晶圆300。
28.进一步地，载台主体100包括安装在所述安装盘21内的载板件11和至少一个升降驱动件12。载板件11包括安装杆111和设置在安装杆111端部的载板112，传动组件23与安装杆111传动连接，载板112用于放置晶圆300。升降驱动件12的输出端与载板112相接，升降驱动件12可驱动载板件11沿重力方向(即竖直向下)移动，以驱使传动组件23推动抵持组件22转向载台主体100的中心。在本实施例中，升降驱动件12可以采用气缸或者电缸等气动或者电动线性驱动结构，本实用新型在此不作限定。
29.优选的，载台主体100还包括沿重力方向设置在安装盘21内的引导杆13，安装杆111套设在引导杆13上，以在引导杆13的引导下升降。
30.传动组件23包括铰接在安装杆111上的推杆231，安装盘21开设有容纳推杆231的引导孔211，推杆231穿设在引导孔211内，推杆231的一端自引导孔211伸出安装盘21，并与抵持杆221相对应。优选的，推杆231包括凸出部2311，凸出部2311与引导孔211的内壁相接触，以减少推杆231与引导孔211的接触面积，确保推杆231移动顺畅。优选的，引导孔211自靠近安装杆111的一端至另一端向下倾斜设置，以便载板件11升降时更好的推动推杆231。传动组件23工作时，推杆231沿着引导孔211的轴向移动并推动抵持杆221的一端，从而驱使位于抵持杆221另一端的抵持块222转向载台主体100的中心。
31.优选的，引导杆13和安装杆111之间设有用于缓冲的缓冲件14，缓冲件14具体为弹簧，以在升降驱动件12驱动载板件11沿重力方向移动时收到反向缓冲，避免抵持块222快速抵持晶圆300而损伤晶圆300。
32.进一步地，量测载台还包括直线模组400，安装盘21与直线模组400传动连接，直线模组400可带动安装盘21沿多个水平方向进行移动，以驱使晶圆300的多个量测点移动至量测装置(图未示)的正下方。为了确保移动精度，直线模组400具体由伺服电机配合丝杆进行传动。
33.优选的，为了避免直线模组400长久使用后存在偏差，载台主体100上还可设置多个定位点(图未示)，量测载台还包括朝向载台主体100的定位点的检测相机(图未示)，每隔一段时间，直线模组400带动定位点移动至检测相机正下方，以获取定位点的图像，从而获取坐标，进而根据坐标获取偏差量，并通过系统进行自动校正。
34.量测载台工作过程如下：通过机械手(图未示)将待量测的晶圆300放置在载板件11上；升降驱动件12驱动载板件11沿重力方向移动，并带动推杆231沿着引导孔211移向抵持杆221；抵持杆221受推杆231推力作用而转向载台主体100的中心，进而带动位于其上的抵持块222转向载台主体100的中心，以对晶圆300的边缘进行夹紧，实现固定和定位。
35.以上所述仅为本技术的实施方式，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。