功率器件的制作方法

文档序号:29296801发布日期:2022-03-17 02:10阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种功率器件,其特征在于,所述功率器件包括:第一控制电极、第二控制电极、第一电极和第二电极;其中,所述第一电极与所述第二电极之间通过半导体材料连接;所述第二控制电极用于在所述第一控制电极上的电压作用下,切换所述第一电极与所述第二电极之间的导通或截止状态;驱动电阻,连接在所述第一控制电极和第二控制电极之间;静电保护组件,连接在所述第一控制电极与所述第一电极之间,用于在所述第一控制电极上出现静电电荷时导通并释放所述静电电荷。2.根据权利要求1所述的功率器件,其特征在于,所述静电保护组件,包括:串联的第一静电保护单元和第二静电保护单元;所述第二控制电极还连接在所述第一静电保护单元和所述第二静电保护单元之间。3.根据权利要求2所述的功率器件,其特征在于,所述静电保护组件,包括:交替排布的p型半导体区域和n型半导体区域。4.根据权利要求2所述的功率器件,其特征在于,所述第一静电保护单元由x组交替排布的p型半导体区域和n型半导体区域构成,x大于或等于1;第二静电保护单元由y组交替排布的p型半导体区域和n型半导体区域构成,y大于或等于2。5.根据权利要求1所述的功率器件,其特征在于,所述功率器件,还包括:半导体衬底;氧化层,覆盖在所述半导体衬底上;多晶硅层,覆盖在所述氧化层上;所述多晶硅层中包括第一掺杂区域和第二掺杂区域;所述第一掺杂区域用于形成所述静电保护组件;所述第二掺杂区域用于形成所述驱动电阻。6.根据权利要求5所述的功率器件,其特征在于,所述多晶硅层上覆盖有导电层;所述第一控制电极、第二控制电极和第一电极分别位于所述导电层的不同导电区域;所述不同导电区域之间具有隔离槽。7.根据权利要求6所述的功率器件,其特征在于,所述导电层与所述多晶硅层之间还具有隔离层;所述隔离层,包括:分立多个隔离区域;所述隔离区域位于所述不同导电区域之间的所述隔离槽内。8.根据权利要求6所述的功率器件,其特征在于,所述导电层中的所述第二控制电极还包括相互连接的第一接触结构和第二接触结构;所述第一接触结构用于连接所述静电保护组件;所述第二接触结构用于连接所述驱动电阻。9.根据权利要求8所述的功率器件,其特征在于,所述第一接触结构与静电保护组件的连接位置在第一静电保护单元和第二静电保护单元的交接区域。10.根据权利要求8所述的功率器件,其特征在于,所述第二接触结构与第二掺杂区域第一端的表面连接;所述第一控制电极与所述第二掺杂区域第二端的表面连接。

技术总结
本申请实施例公开了一种功率器件。所述功率器件包括:第一控制电极、第二控制电极、第一电极和第二电极;其中,所述第一电极与所述第二电极之间具有半导体结构;所述第二控制电极用于在所述第一控制电极上的电压作用下,切换所述第一电极与所述第二电极之间的导通或截止状态。止状态。止状态。


技术研发人员:刘利书
受保护的技术使用者:美垦半导体技术有限公司
技术研发日:2021.09.28
技术公布日:2022/3/16
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