技术特征：
1.一种晶圆切割切口检测装置，包括工作台(2)，所述工作台(2)顶部两端均固定安装支撑板(21)，其特征在于：所述支撑板(21)顶部安装有检测结构(3)，所述工作台(2)的顶部安装有放置结构(4)，且放置结构(4)位于检测结构(3)的下方。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述检测结构(3)包括暗箱(31)，所述暗箱(31)底部两端均固定安装支撑板(21)，所述暗箱(31)顶部设有数据显示单元(32)，所述暗箱(31)的顶端内壁固定安装红外线传感器(33)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述数据显示单元(32)与所述红外线传感器(33)相连接。4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述放置结构(4)包括气缸(41)，所述气缸(41)固定安装在工作台(2)的顶部上，所述气缸(41)的输出端通过活塞杆固定安装升降板(42)，所述升降板(42)的形状设置成u形；所述升降板(42)的顶端内壁连接有旋转组件(45)，所述旋转组件(45)上设有固定组件(46)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述旋转组件(45)包括箱体(451)和转轴(453)，所述升降板(42)的顶端左侧内壁通过轴承转动连接转轴(453)，所述转轴(453)固定安装在旋转板(454)的左侧中端上。6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述升降板(42)的顶端左侧固定安装箱体(451)，所述箱体(451)内壁安装伺服电机(452)，所述伺服电机(452)的输出轴通过轴承与转轴(453)固定连接。7.根据权利要求4所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述固定组件(46)包括气槽(461)、第一硬管(462)和空心管(464)，所述气槽(461)开设在旋转板(454)的内壁上，所述旋转板(454)的两端内壁均固定安装若干第一硬管(462)，所述第一硬管(462)的一端延伸至气槽(461)的内壁，所述第一硬管(462)的另一端固定安装在真空吸盘(4621)上，所述真空吸盘(4621)固定安装在固定板(463)的内壁上。8.根据权利要求7所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于，所述空心管(464)固定安装在旋转板(454)的右侧中端上，所述空心管(464)的一端通过轴承转动连接在升降板(42)的顶端右侧内壁上，所述空心管(464)的一端延伸至气槽(461)的内壁，所述空心管(464)的另一端延伸至升降板(42)的外面，所述空心管(464)的右端内壁固定安装挡板(465)，所述挡板(465)的内壁通过轴承转动连接第二硬管(466)，所述第二硬管(466)的一端延伸至气槽(461)的内壁，所述第二硬管(466)的另一端延伸至空心管(464)的外面。
技术总结
本实用新型公开的属于晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆切割切口检测装置，包括工作台，所述工作台顶部两端均固定安装支撑板，所述支撑板顶部安装有检测结构，所述工作台的顶部安装有放置结构，且放置结构位于检测结构的下方；所述检测结构包括暗箱，所述暗箱底部两端均固定安装支撑板，所述暗箱顶部设有数据显示单元，所述暗箱的顶端内壁固定安装红外线传感器；所述数据显示单元与所述红外线传感器相连接；所述放置结构包括气缸，所述气缸固定安装在工作台的顶部上，所述气缸的输出端通过活塞杆固定安装升降板，本实用新型通过可以对多组晶圆进行检测，不仅会提高检测效率，还会提高设备的利用率。高设备的利用率。高设备的利用率。
技术研发人员：殷泽安 殷泽华
受保护的技术使用者：苏州译品芯半导体有限公司
技术研发日：2021.10.15
技术公布日：2022/4/29