晶圆贴膜设备及其拉膜机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种贴膜设备，且特别涉及一种晶圆贴膜设备及其拉膜机构。


背景技术：

2.目前市面上裁切胶膜的机台，都会利用一或至少两个刀具将放置载板上的胶膜，裁切呈多个分离胶膜，而供后续框架黏接。
3.然而，放置载板上的胶膜若不平整，则后续与框架黏接时，黏在框架上的胶膜也会产生不平整，而影响后续晶圆的黏贴状况，严重者，导致晶圆的制程或检测发生问题。
4.有鉴于此，本创作人遂针对上述现有技术，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述问题点，即成为本创作人改良的目标。


技术实现要素：

5.本实用新型提供一种晶圆贴膜设备及其拉膜机构，其利用移动多孔质活动吸板会朝远离多孔质固定吸板的方向移动，以给予黏膜一拉力，使黏膜平整，而便利后续晶圆黏贴于黏膜，让晶圆的制程或检测更加稳定。
6.本实用新型提供一种晶圆贴膜设备，用于将一黏膜与一框架黏接，该晶圆贴膜设备包括：一卷膜机构，用于置放所述黏膜；一传送膜装置，包含循环移动且传送所述黏膜的至少两个拉膜机构，每一该拉膜机构包含一承载台、固定在该承载台一侧的一多孔质固定吸板及对应该承载台另一侧往复移动的一多孔质活动吸板；以及一切膜机构，对应该至少两个拉膜机构配置，该切膜机构能够切割并分离所述黏膜，所述框架与分离的所述黏膜对应黏接；其中，该多孔质固定吸板与该多孔质活动吸板共同吸附所述黏膜的两侧，且该多孔质活动吸板能够带动所述黏膜的一侧往远离该多孔质固定吸板的方向移动而拉紧所述黏膜。
7.优选地，其中每一所述承载台的顶面一侧设有一第一凹槽及位于所述第一凹槽内部的至少一第三负压吸孔，每一所述多孔质固定吸板包含嵌合于所述第一凹槽的一多孔性材质板。
8.优选地，其中每一所述多孔质活动吸板包含一活动基座及一多孔性材质板，各所述活动基座对应各所述承载台另一侧往复移动，且每一活动基座的顶面设有一第二凹槽及位于所述第二凹槽内部的至少一第四负压吸孔，各所述多孔性材质板嵌合于各所述第二凹槽。
9.优选地，其中各所述第一凹槽与各所述第二凹槽的内周缘分别具有一环形内周壁，各所述环形内周壁抵贴且密封于各所述多孔性材质板外周缘。
10.优选地，其中各所述第一凹槽与各所述第二凹槽的内周缘分别具有至少两个内侧壁及设有至少两个开口，各所述内侧壁抵贴且密封于各所述多孔性材质板外周缘的其一部分，每一所述拉膜机构更包含一封胶层，所述封胶层透过所述开口披覆且密封于各所述多孔性材质板外周缘的另一部分。
11.优选地，其中所述传送膜装置更包含一循环带动机构，所述循环带动机构连接并带动所述拉膜机构沿一循环路径循环移动，各所述多孔质活动吸板远离各所述多孔质固定吸板的方向定义为一拉伸方向，所述拉伸方向与所述循环路径垂直配置，所述切膜机构包含能够沿着所述拉伸方向移动且切割所述黏膜的一移动刀具。
12.优选地，其中所述切膜机构更包含一水平驱动器及一垂直驱动器，所述水平驱动器设置在所述拉膜机构的上方，所述垂直驱动器固接于所述水平驱动器且跟随所述水平驱动器水平移动，所述移动刀具固接于所述垂直驱动器且跟随所述垂直驱动器垂直移动。
13.优选地，其中各所述多孔质固定吸板与各所述多孔质活动吸板分别位于各所述承载台的顶面左、右两侧，每一所述承载台的顶面下侧设有至少两个第一负压吸孔及上侧设有至少两个第二负压吸孔，所述黏膜被吸附在相邻抵靠的两个所述承载台上时，所述水平驱动器位于相邻的所述第一负压吸孔与所述第二负压吸孔之间。
14.优选地，其更包括一搬移机构，所述搬移机构设置在所述拉膜机构远离所述卷膜机构的一端，所述搬移机构包含一下压致动器、固接于所述下压致动器且跟随所述下压致动器垂直移动的一吸附件及设置在所述吸附件下方的一推升致动器，所述推升致动器能够带动各所述拉膜机构上升或下降，所述吸附件能够吸附所述框架并压制所述框架和分离的所述黏膜相互黏接。
15.本实用新型还提供一种晶圆贴膜设备的拉膜机构，用于一黏膜，该拉膜机构包括：一承载台；一多孔质固定吸板，固定在该承载台一侧；以及一多孔质活动吸板，对应该承载台另一侧往复移动；其中，该多孔质固定吸板与该多孔质活动吸板共同吸附所述黏膜的两侧，且该多孔质活动吸板能够带动所述黏膜的一侧往远离该多孔质固定吸板的方向移动而拉紧所述黏膜。
16.优选地，其中所述承载台的顶面一侧设有一第一凹槽及位于所述第一凹槽内部的至少一第三负压吸孔，所述多孔质固定吸板包含嵌合于所述第一凹槽的一多孔性材质板。
17.优选地，其中所述多孔质活动吸板包含一活动基座及一多孔性材质板，所述活动基座对应所述承载台另一侧往复移动，且活动基座的顶面设有一第二凹槽及位于所述第二凹槽内部的至少一第四负压吸孔，所述多孔性材质板嵌合于所述第二凹槽。
18.优选地，其中所述第一凹槽与所述第二凹槽的内周缘分别具有一环形内周壁，各所述环形内周壁抵贴且密封于各所述多孔性材质板外周缘。
19.优选地，其更包括一封胶层，所述第一凹槽与所述第二凹槽的内周缘分别具有至少两个内侧壁及设有至少两个开口，所述内侧壁抵贴且密封于各所述多孔性材质板外周缘的其一部分，所述封胶层透过所述开口披覆且密封于各所述多孔性材质板外周缘的另一部分。
20.优选地，其中所述多孔质固定吸板与所述多孔质活动吸板分别位于所述承载台的顶面左、右两侧，所述承载台的顶面下侧设有至少两个第一负压吸孔及上侧设有至少两个第二负压吸孔。
21.基于上述，承载台由不锈钢材质所构成，承载台两侧的多孔质固定吸板与多孔质活动吸板由陶瓷材质所构成，进而减少陶瓷材质范围，使拉膜机构具有节省成本及加强结构强度之优点，同时陶瓷材质设置在承载台的两侧，使拉膜机构在拉紧黏膜时吸附力充足。
附图说明
22.通过附图中所示的本实用新型优选实施例的具体说明，本实用新型上述及其它目的特征和优势将变得更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分，且并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。
23.图1本实用新型优选实施例贴膜设备的立体示意图；
24.图2本实用新型优选实施例贴膜设备的俯视图；
25.图3本实用新型优选实施例拉膜机构的立体分解图；
26.图4本实用新型优选实施例拉膜机构的立体组合图；
27.图5本实用新型优选实施例拉膜机构的俯视图；
28.图6本实用新型优选实施例贴膜设备的第一使用状态示意图；
29.图7本实用新型优选实施例贴膜设备的第二使用状态示意图；
30.图8本实用新型优选实施例拉膜机构的使用状态示意图；
31.图9本实用新型优选实施例切膜机构的第一使用状态示意图；
32.图10本实用新型优选实施例切膜机构的第二使用状态示意图；
33.图11本实用新型优选实施例切膜机构的第三使用状态示意图；
34.图12本实用新型优选实施例贴膜设备的第三使用状态示意图；
35.图13本实用新型优选实施例贴膜设备的第四使用状态示意图；
36.图14本实用新型优选实施例框架及黏膜欲黏结的示意图；
37.图15本实用新型优选实施例框架及黏膜的组合示意图；
38.图16本实用新型拉膜机构另一实施例的立体组合图。
39.附图标记：
40.100：黏膜
41.101：离型纸
42.102：缺角
43.200：框架
44.201：镂空口
45.10晶圆贴膜设备
46.1：卷膜机构
47.11：黏膜固定轴
48.12：离型纸固定轴
49.2：传送膜装置
50.21：循环带动机构
51.22：拉膜机构
52.23：承载台
53.231：第一负压吸孔
54.232：第二负压吸孔
55.233：第一凹槽
56.234：第三负压吸孔
57.24：多孔质固定吸板
58.25：多孔质活动吸板
59.251：活动基座
60.252：第二凹槽
61.253：第四负压吸孔
62.26、26’：多孔性材质板
63.271：环形内周壁
64.272：内侧壁
65.273：开口
66.28：封胶层
67.3：切膜机构
68.31：水平驱动器
69.32：垂直驱动器
70.33：移动刀具
71.34：保护外框
72.4：搬移机构
73.41：下压致动器
74.42：吸附件
75.43：推升致动器
76.5：切角机构
77.d：拉伸方向
78.s：循环路径
79.w1、w2：宽度
80.h1、h2：间隔距离
具体实施方式
81.在本说明书当中，提供了许多特定的细节，以提供对本实用新型具体实施例的彻底了解；然而，本领域技术人员应当知晓，在没有一个或更多个该些特定的细节的情况下，依然能实现本实用新型的目的；在其他情况下，则未显示或描述众所周知的细节以避免模糊了本实用新型的主要技术特征。有关本实用新型的技术内容及详细说明，配合图式说明如下：
82.请参考图1至图15所示，本实用新型提供一种晶圆贴膜设备及其拉膜机构，用于将一黏膜100与一框架200黏接，此晶圆贴膜设备10主要包括一卷膜机构 1、一传送膜装置2及一切膜机构3；拉膜机构22主要包括一承载台23、一多孔质固定吸板24及一多孔质活动吸板25。
83.如图1至图2、图6至图7、图12至图13所示，卷膜机构1用于置放黏膜 100，卷膜机构1包含一黏膜固定轴11及设置在黏膜固定轴11上方的一离型纸固定轴12，黏膜100整卷套设于黏膜固定轴11上，黏膜100的黏胶面贴附有一离型纸101，离型纸固定轴12用于卷收离型纸101。
84.如图1至图13所示，传送膜装置2包含一循环带动机构21及至少两个拉膜机构22，
循环带动机构21连接并带动至少两个拉膜机构22沿一循环路径s 循环移动，每一拉膜机构22包含一承载台23、固定在承载台23一侧的一多孔质固定吸板24及对应承载台23另一侧往复移动的一多孔质活动吸板25，以令黏膜100被至少两个拉膜机构22吸附传送而自黏膜固定轴11朝至少两个拉膜机构22的方向拉伸。
85.详细说明如下，各多孔质固定吸板24与各多孔质活动吸板25分别位于各承载台23的顶面左、右两侧，每一承载台23的顶面下侧设有至少两个第一负压吸孔231及上侧设有至少两个第二负压吸孔232。其中，多孔质活动吸板25 可透过气压缸或油压缸带动而相对多孔质固定吸板24移动，但不以此为限制。
86.另外，每一承载台23的顶面一侧设有一第一凹槽233及位于第一凹槽233 内部的一或至少两个第三负压吸孔234，每一多孔质固定吸板24包含嵌合于第一凹槽233的一多孔性材质板26。
87.再者，每一多孔质活动吸板25包含一活动基座251及一多孔性材质板26’，各活动基座251对应各承载台23另一侧往复移动，且每一活动基座251的顶面设有一第二凹槽252及位于第二凹槽252内部的一或至少两个第四负压吸孔 253，各多孔性材质板26’嵌合于各第二凹槽252。
88.并且，承载台23为不锈钢材质所构成，多孔性材质板26、26’为陶瓷材质所构成，陶瓷材质上设有供气体流通的至少两个孔隙，使多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25可透过孔隙抽吸气体，以达到多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25具有稳定吸附的功效。
89.又，各第一凹槽233与各第二凹槽252的内周缘分别具有一环形内周壁271，各环形内周壁271抵贴且密封于各多孔性材质板26、26’外周缘，使多孔性材质板26、26’外周缘的孔隙被环形内周壁271密封而无法抽吸气体，仅多孔性材质板26、26’顶面的孔隙可抽吸气体，进而集中且提升多孔性材质板26、26’顶面的吸附力，让多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25更稳固地吸附黏膜 100。
90.其中，多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25的外侧间隔距离h1等于或大于黏膜100的宽度w1，多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25的内侧间隔距离h2小于黏膜100的宽度w1，使多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25 共同吸附黏膜100的两侧，且多孔质活动吸板25能够带动黏膜100的一侧往远离多孔质固定吸板24的方向移动而拉紧黏膜100。
91.此外，各多孔质活动吸板25远离各多孔质固定吸板24的方向定义为一拉伸方向d，拉伸方向d与循环路径s垂直配置。
92.如图1至图2、图6至图7、图9至图13所示，切膜机构3对应至少两个拉膜机构22配置，切膜机构3能够切割并分离黏膜100，框架200对应分离的黏膜100黏接。
93.进一步说明如下，切膜机构3包含一水平驱动器31、一垂直驱动器32及一移动刀具33，移动刀具33为一锥形刀片，水平驱动器31设置在至少两个拉膜机构22的上方，垂直驱动器32固接于水平驱动器31且跟随水平驱动器31左、右水平移动，移动刀具33固接于垂直驱动器32且跟随垂直驱动器32上、下垂直移动，使得移动刀具33可跟随水平驱动器31移动一水平移动距离，及跟随垂直驱动器32移动一垂直移动距离。
94.另外，拉膜机构22会以相邻抵靠的排列方式吸附黏膜100，黏膜100被吸附在相邻抵靠的二拉膜机构22上时，水平驱动器31会位于相邻的数第一负压吸孔231与至少两个第二负压吸孔232之间，让移动刀具33能以一刀方式完全切割并分离黏膜100，同时避免废料
之产生，以达到有效利用资源及节省成本的特点。
95.再者，切膜机构3更包含一保护外框34，保护外框34罩盖在水平驱动器 31、垂直驱动器32及移动刀具33的外部下方，垂直驱动器32能够带动移动刀具33藏收于保护外框34内，让移动刀具33不使用时可藏收于保护外框34，进而提高切膜机构3的使用安全性。
96.如图1至图2、图5至图13所示，本实用新型晶圆贴膜设备10更包括一切角机构5，裁角机构5用于在黏膜100的两侧裁切出二缺角102，使移动刀具33 自二缺角102完全切割并分离黏膜100，即移动刀具33能够自其一缺角102始沿着拉伸方向d移动且切割黏膜100至另一缺角102，移动刀具33的水平移动距离大于黏膜100的宽度w1，以令移动刀具33能够完全切割并分离黏膜100，框架200再对应分离的黏膜100黏接。
97.其中，切角机构5包括气压缸或油压缸及连接气压缸或油压缸的切角刀，气压缸或油压缸带动切角刀朝接近黏膜100方向移动，以带动切角刀对黏膜100 的两侧冲压而裁切出二缺角102。如图1、图6至图7、图12至图13所示，本实用新型晶圆贴膜设备10更包括一搬移机构4，搬移机构4设置在至少两个拉膜机构22远离卷膜机构1的一端，搬移机构4包含一下压致动器41、固接于下压致动器41且跟随下压致动器41垂直移动的一吸附件42及设置在吸附件42 下方的一推升致动器43，推升致动器43能够带动各拉膜机构22上升或下降，吸附件42能够吸附框架200并压制框架200和分离的黏膜100相互黏接。
98.如图14至图15所示，框架200内部设有一镂空口201，镂空口201会裸露黏膜100的黏胶面以黏贴晶圆，且因被分离的黏膜100形状呈矩形或方形，所以框架200为一矩形框体或一方形框体，框架200的宽度w2实质上等于(实质上等于即等于或些微大于)黏膜100的宽度w1，且框架200的角端为方便拿取及避免碰撞损坏会以圆角设计，分离的黏膜100的角端能够被切角机构5裁切成缺角102，使黏膜100的外周缘完全藏收在框架200内，进而让被分离的黏膜 100形状去配合框架200的外型，以达到防止黏膜100发生掀角情形，且避免黏膜100过多废料的产生，而有效地完全利用到黏膜100的每一分材料，达到节省成本的功效。
99.其中，最佳实施为框架200的宽度w2大于黏膜100的宽度w1约1mm左右，以令框架200的外周缘尺寸些微大于黏膜100的外周缘尺寸。
100.此外，循环带动机构21、水平驱动器31、垂直驱动器32、下压致动器41、推升致动器43之最佳实施例为一气压缸或一油压缸，吸附件42为一真空吸盘，但不以此为限制。
101.如图1至图15所示，本实用新型晶圆贴膜设备10及拉膜机构22之使用状态，其利用任两拉膜机构22会以相邻抵靠的排列方式吸附黏膜100，且黏膜100 被拉膜机构22吸附时，多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25会共同吸附黏膜100的两侧，且多孔质活动吸板25能够带动黏膜100的一侧往远离多孔质固定吸板24的方向移动而拉紧黏膜100。
102.又，切角机构5在黏膜100的两侧裁切出二缺角102，黏膜100被吸附在相邻抵靠的二拉膜机构22上时，水平驱动器31与二缺角102会位于相邻的数第一负压吸孔231与至少两个第二负压吸孔232之间，垂直驱动器32带动移动刀具33伸出保护外框34外，水平驱动器31再带动移动刀具33沿着拉伸方向d 移动且在两承载台23之间的缝隙切割黏膜100，移动刀具33能够自其一缺角 102始沿着拉伸方向d移动且切割黏膜100至另一缺角102，且移动刀具33的水平移动距离大于黏膜100的宽度w1，使移动刀具33能够完全切割并分离黏膜100，同时分离的黏膜100的角端形成有缺角102。
103.之后，吸附有分离的黏膜100的拉膜机构22会进入搬移机构4的作业区域，因黏膜
100的黏胶面相对承载台23朝上设置，推升致动器43带动拉膜机构22 上升，吸附件42吸附框架200且带动框架200下移，进而压制框架200和黏膜 100的黏胶面相互黏接，将相互黏接的框架200和黏膜100搬离承载台23后，拉膜机构22会移动至抵靠另一拉膜机构22且吸附黏膜100，以达到至少两个拉膜机构22沿循环路径s循环移动的动作。
104.由此，多孔质活动吸板25带动黏膜100的一侧往远离多孔质固定吸板24 的方向移动时，将给予黏膜100一拉力，进而将黏膜100拉紧整平，以让后续框架200及晶圆与黏膜100之黏贴更平整紧密，并使晶圆之制程或检测更佳稳定。
105.另外，公知吸附承载台为全不锈钢材质所构成有吸附力不足的问题，公知吸附承载台为全陶瓷材质所构成有成本昂贵及易破裂的问题；相较下，本实用新型利用承载台23由不锈钢材质所构成，承载台23两侧的多孔质固定吸板24 与多孔质活动吸板25由陶瓷材质所构成，进而减少陶瓷材质范围，使拉膜机构 22具有节省成本及加强结构强度之优点，同时陶瓷材质设置在承载台23的两侧，使拉膜机构22在拉紧黏膜100时吸附力充足。
106.再者，因移动刀具33常需校正或更换，切膜机构3设置在至少两个拉膜机构22的上方，进而与拉膜机构22有一段距离，更能方便移动刀具33的校正或更换，且避免校正或更换移动刀具33的过程碰撞、移动到拉膜机构22。
107.请参考图16所示，本实用新型拉膜机构22的另一实施例，图16的实施例与图1至图15的实施例大致相同，图16的实施例与图1至图15的实施例不同之处在于多孔质固定吸板24及多孔质活动吸板25的结构不同。
108.详细说明如下，第一凹槽233与第二凹槽252的内周缘分别具有至少两个内侧壁272及设有至少两个开口273，至少两个内侧壁272抵贴且密封于各多孔性材质板26、26’外周缘之其一部分，每一拉膜机构22更包含一封胶层28，封胶层28透过至少两个开口273披覆且密封于各多孔性材质板26、26’外周缘的另一部分。
109.由此，多孔性材质板26、26’外周缘的孔隙被内侧壁272及封胶层28密封而无法抽吸气体，仅多孔性材质板26、26’顶面的孔隙可抽吸气体，进而集中且提升多孔性材质板26、26’顶面的吸附力，让多孔质固定吸板24与多孔质活动吸板25更稳固地吸附黏膜100。
110.然以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，当不能限定本实用新型的实施范围，即凡依本实用新型权利要求所作的均等变化与修饰等，皆应仍属本实用新型的专利涵盖范围意图保护的范畴。以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。