技术特征：
1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：底座，所述底座的上表面设有第一开口；运输机构，设于所述第一开口，用于运输硅片；盖板，设于所述底座的上方，且与所述底座的上表面具有间距，所述盖板的两侧边朝向所述运输机构延伸形成第二开口，所述盖板的上表面开设有若干连接孔；喷淋单元，设于所述盖板内，所述喷淋单元内设有喷淋板，所述喷淋板设有若干第一排气孔，且所述喷淋板将所述喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与若干所述连接孔导通，所述第二腔室对应所述运输机构开设有第二排气孔。2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋单元还包括固定板和底板；所述固定板对应所述连接孔设有接气孔；所述喷淋板对应所述固定板开设有若干第一凹槽，所述第一排气孔设于所述第一凹槽内，所述喷淋板与所述固定板连接形成所述第一腔室；所述底板对应所述喷淋板开设有若干第二凹槽，所述第二排气孔设于所述第二凹槽内，所述底板与所述喷淋板连接形成所述第二腔室。3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，若干所述第一凹槽间隔设置，且相邻的所述第一凹槽之间对应所述接气孔设有分流槽，所述分流槽延伸至所述第一凹槽，将相邻的所述第一凹槽导通。4.根据权利要求2至3任一项所述的喷淋装置，其特征在于，还包括分气阀、若干导气管和若干接气阀；所述分气阀上具有接气端和若干分气口，所述分气口通过导气管与所述接气阀的一端连接，所述接气阀的另一端与所述接气孔连接，所述接气端用于接入反应气体。5.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，还包括调节件、调节杆和连接板；所述盖板的上表面还开设有若干调节孔；所述连接板与所述喷淋单元连接；所述调节杆的一端通过所述调节孔与所述连接板连接，所述调节件与所述调节杆连接，用于调节所述喷淋单元的位置。6.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，还包括伸缩机构，所述伸缩机构与所述盖板连接，用于调节所述底座与所述盖板的间距。7.根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，所述伸缩机构包括限位杆、过渡块和伸缩气缸；所述伸缩气缸的伸缩端与所述过渡块连接；所述过渡块与所述盖板连接；所述限位杆与所述盖板连接，且与所述伸缩端的伸缩方向平行。8.根据权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于，还包括抽气筒；所述底座的下表面开设有若干抽气孔，所述抽气筒对应所述抽气孔与所述底座连接，所述抽气筒用于与抽气风机连接。9.根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，所述底座内还设有隔板和导流板；所述导流板对应所述第一开口的两侧边设置；所述隔板上间隔设有若干通孔，所述隔板与所述导流板连接。
10.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一排气孔的直径为1至5毫米，所述第二排气孔的直径为0.3至1.5毫米。
技术总结
本实用新型提供了一种喷淋装置，包括：底座，所述底座的上表面设有第一开口；运输机构设于第一开口用于运输硅片；盖板设于底座的上方，与底座的上表面具有间距，盖板的两侧边朝向运输机构延伸形成第二开口，盖板的上表面开设有若干连接孔喷淋单元，设于盖板内，喷淋单元内设有喷淋板，喷淋板设有若干第一排气孔，喷淋板将喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，第一腔室与若干连接孔导通，第二腔室对应运输机构开设有第二排气孔。本实用新型公开的喷淋装置将反应气体从连接孔输入，依次经过第一腔室和第二腔室，保证了反应气体均匀稳定的排出与运输机构上的硅片进行氧化反应，使硅片氧化较充分，提高了硅片氧化的均匀性，降低了生产成本。成本。成本。
技术研发人员：韩培丁 刘运宇 张良
受保护的技术使用者：上海钧乾智造科技有限公司
技术研发日：2021.10.21
技术公布日：2022/4/26