一种晶圆的移位装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆的移位装置。


背景技术：

2.随着工业的发展与科技的快速进步，自动化技术系被广泛的应用于现代的制造产业之中，而自动化技术中，多数系透过机械手臂装置以进行物料移动或物料加工等步骤。
3.以晶圆及装载晶圆的晶舟盒为例，产品在生产过程中，常需要从一个操作平台移动至另一个操作平台上。又为配合不同的生产需求，两个平台有时会不在一个平面上。习知晶圆的搬运装置，常采用以三维运动平台带动料爪来实现产品的移动、或利用机械手臂来实现产品的移动。然而，此二种搬运方式对晶圆而言，因搬运过程容易产生晃动，而晶圆乃高精度的科技产品，在搬运过程必须确保其平稳度，故此类搬运方法仍有其不适之处。
4.再者，此类搬运装置通常结构复杂、体积较大、移动性极差，配置于指定位置后若需要变更位置，则需以起重机等器械辅助搬运，费时又费力。故上述晶圆的移位装置于使用时，为确实存在下列问题与缺失尚待改进：一、结构复杂、体积较大、移动性极差。二、搬运过程容易晃动、平稳度较低。


技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种晶圆的移位装置，其克服了背景技术所存在的不足。
6.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
7.一种晶圆的移位装置，它包括：
8.机台；
9.驱动组件，其安装在机台上；
10.两个摆杆，两个摆杆平行布置且分别为主动摆杆和从动摆杆，主动摆杆底端与驱动组件传动连接且其可在驱动组件的带动下相对机台摆动，从动摆杆底端与机台摆动连接，主动摆杆底端和从动摆杆底端的摆动轴线相重合；
11.连接座，其两端分别与两个摆杆的顶端相转动连接，且所述连接座端部与对应的摆杆顶端之间呈松配合，该连接座之底端面与机台平面相平行，主动摆杆、从动摆杆、连接座底端面和机台平面围成平行四边形状；
12.夹取机构，其安装在连接座底端面上；
13.驱动组件带动两个摆杆同步摆动，所述连接座底端面始终保持与机台平面相平行，进而使得夹取机构保持平稳移动。
14.一较佳实施例之中：所述连接座端面与主动摆杆顶端侧面之间、所述连接座端面与从动摆杆顶端侧面之间均具有转动间隙。
15.一较佳实施例之中：所述主动摆杆顶端侧面设置有主动凸柱，该主动凸柱设有主动转动凹槽，所述连接座其中一端面设有主动转轴，该主动转轴与主动转动凹槽相转动配合。
16.一较佳实施例之中：所述从动摆杆顶端侧面设置有从动转动凹槽，所述连接座另一端面设有从动转轴，该从动转轴与从动转动凹槽相转动配合。
17.一较佳实施例之中：所述机台内设置有固定座，该固定座设有两个向上延伸的竖板，所述驱动组件安装在该固定座上，且该驱动组件包括驱动电机，该驱动电机的驱动轴穿过其中一个竖板后与主动摆杆底端相连接；所述从动摆杆与另一竖板相转动连接。
18.一较佳实施例之中：该移位装置还包括主动辅助摆杆，该主动辅助摆杆与主动摆杆位于同一侧且并排间隔布置，该主动辅助摆杆的顶端与对应连接座端部相转动配合，该主动辅助摆杆的底端与机台相转动配合。
19.一较佳实施例之中：该移位装置还包括从动辅助摆杆，该从动辅助摆杆与从动摆杆位于同一侧且并排间隔布置，该从动辅助摆杆的顶端与对应连接座端部相转动配合，该从动辅助摆杆的底端与机台相转动配合。
20.一较佳实施例之中：该移位装置还包括升降组件，该升降组件安装在机台内且其传动连接固定座，所述固定座在升降组件的带动下可沿着机台上下活动。
21.一较佳实施例之中：所述升降组件包括升降电机、丝杆和蜗轮块，所述升降电机安装在机台内，所述丝杆传动连接该升降电机，所述蜗轮块套接在丝杆外周且可沿着丝杆上下移动，所述固定座与蜗轮块相固接。
22.一较佳实施例之中：所述升降组件还包括滑轨和滑块，所述滑轨安装在机台内，所述滑块可沿着滑轨移动，且该滑块与固定座相固接。
23.本技术方案与背景技术相比，它具有如下优点：
24.1.该移位装置结构简单、体积较小、移动性极好。且，由于两个摆杆、连接座底端面和机台平面围成平行四边形状，且连接座端部与对应的摆杆顶端之间呈松配合，使得，驱动组件带动两个摆杆同步摆动时，在连接座端部与对应的摆杆顶端之间的松配合的作用下，所述连接座底端面始终保持与机台平面相平行，进而使得夹取机构保持平稳移动，也即，夹取机构夹取的晶圆也始终保持平稳、不晃动，平稳度较好。该移位装置没有复杂的传动结构，也无需在摆杆内部设置传动的皮带结构等，极大简化了传动结构，通过平行四边形结构结合转动处的松配合结构，即可将夹取机构保持平稳。
25.2.连接座端面与主动摆杆顶端侧面之间、所述连接座端面与从动摆杆顶端侧面之间均具有转动间隙，可确保连接座端部与主动摆杆之间、连接座端部与从动摆杆之间不会产生干涉。
26.3.驱动组件安装在该固定座上，该驱动电机的驱动轴穿过其中一个竖板后与主动摆杆底端相连接；所述从动摆杆与另一竖板相转动连接，更加方便安装，且方便后续的升降配合。
27.4.主动辅助摆杆与主动摆杆位于同一侧且并排间隔布置，可加强主动摆杆侧的传动稳定性，提高支撑强度。
28.5.该从动辅助摆杆与从动摆杆位于同一侧且并排间隔布置，可加强从动摆杆侧的传动稳定性，提高支撑强度。
29.6.固定座在升降组件的带动下可沿着机台上下活动，由此，主动摆杆、从动摆杆、连接座和夹取机构均可与固定座进行同步升降。
附图说明
30.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
31.图1绘示了一较佳实施例的一种晶圆的移位装置的整体示意图。
32.图2绘示了平行四边形状的正视示意图。
33.图3绘示了图2的侧视图。
34.图4绘示了图3的剖视图。
35.图5绘示了主动摆杆、从动摆杆、连接座的分解示意图。
36.图6绘示了固定座与主动摆杆、从动摆杆、主动辅助摆杆和从动辅助摆杆的连接示意图。
37.图7绘示了升降组件的结构示意图。
具体实施方式
38.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，如使用术语“第一”、“第二”或“第三”等，都是为了区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。
39.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，对于方位词，如使用术语“中心”、“横向”、“纵向”、“水平”、“垂直”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位或位置关系乃基于附图所示的方位和位置关系，且仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或以特定的方位构造和操作，所以也不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
40.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，如使用术语“固接”、“固定连接”，应作广义理解，即两者之间没有位移关系和相对转动关系的任何连接方式，也就是说包括不可拆卸的固定连接、可拆卸的固定连接、连为一体以及通过其他装置或元件固定连接。
41.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，如使用术语“包括”、“具有”、以及它们的变形，意图在于“包含但不限于”。
42.请查阅图1至图7，一种晶圆的移位装置的一较佳实施例，所述的一种晶圆的移位装置，它包括机台10、驱动组件、两个摆杆、连接座20和夹取机构30。
43.所述机台10内设置有固定座11，该固定座11设有两个向上延伸的竖板12。本实施例中，该固定座11可相对机台10上下移动。所述机台10内还可设置固定板13，用于安装后续的升降组件。
44.所述驱动组件安装在机台10上。如图5所示，该驱动组件包括驱动电机40，也可包括减速器。本实施例中，所述驱动组件安装在该固定座11上，且可跟随固定座11同步上下移动。
45.两个摆杆平行布置且分别为主动摆杆50和从动摆杆51，主动摆杆50底端与驱动组件传动连接且其可在驱动组件的带动下相对机台10摆动，从动摆杆51底端与机台10摆动连接，主动摆杆50底端和从动摆杆51底端的摆动轴线相重合。
46.本实施例中，如图5所示，该驱动电机40的驱动轴穿过左侧的竖板12后与主动摆杆50底端相连接；所述从动摆杆51与右侧的竖板12相转动连接。
47.所述连接座20两端分别与两个摆杆的顶端相转动连接，且所述连接座20端部与对应的摆杆顶端之间呈松配合，该连接座20之底端面与机台10平面相平行，主动摆杆50、从动摆杆51、连接座20底端面和机台10平面围成平行四边形状。所述夹取机构30安装在连接座20底端面上。驱动组件带动两个摆杆同步摆动，所述连接座20底端面始终保持与机台10平面相平行，进而使得夹取机构30保持平稳移动。
48.本实施例中，如图4所示，所述连接座20端面与主动摆杆50顶端侧面之间、所述连接座20端面与从动摆杆51顶端侧面之间均具有转动间隙52。
49.本实施例中，所述主动摆杆50顶端侧面设置有主动凸柱53，该主动凸柱53设有主动转动凹槽54，所述连接座20其中一端面设有主动转轴21，该主动转轴21与主动转动凹槽54相转动配合。且，所述从动摆杆51顶端侧面设置有从动转动凹槽55，所述连接座20另一端面设有从动转轴22，该从动转轴22与从动转动凹槽55相转动配合。
50.本实施例中，为了保证主动摆杆50侧的传动稳定性，提高支撑强度，该移位装置还包括主动辅助摆杆60，该主动辅助摆杆60与主动摆杆50位于同一侧且并排间隔布置，该主动辅助摆杆60的顶端与对应连接座20端部相转动配合，该主动辅助摆杆60的底端与机台10相转动配合。由此，该主动辅助摆杆60与从动摆杆51也呈平行状态。
51.本实施例中，为了保证从动摆杆51侧的传动稳定性，提高支撑强度，该移位装置还包括从动辅助摆杆70，该从动辅助摆杆70与从动摆杆51位于同一侧且并排间隔布置，该从动辅助摆杆70的顶端与对应连接座20端部相转动配合，该从动辅助摆杆70的底端与机台10相转动配合。由此，该从动辅助摆杆70与主动摆杆50也呈平行状态。
52.本实施例中，该移位装置还包括升降组件，该升降组件安装在机台10内且其传动连接固定座11，所述固定座11在升降组件的带动下可沿着机台10上下活动。
53.具体的，如图6所示，所述升降组件包括升降电机80、丝杆81和蜗轮块82，所述升降电机80安装在机台10的固定板13上，所述丝杆81传动连接该升降电机80，所述蜗轮块82套接在丝杆81外周且可沿着丝杆81上下移动，所述固定座11与蜗轮块82相固接。
54.且，为了保证固定座11上下活动的稳定性，所述升降组件还包括滑轨83和滑块84，所述滑轨83安装在机台10内，所述滑块84可沿着滑轨83移动，且该滑块84与固定座11相固接。
55.当驱动电机40工作带动主动摆杆50摆动时，主动辅助摆杆60、从动摆杆51和从动辅助摆杆70均随着同步摆动，由于连接座20端部与各摆杆之间均呈松配合的状态，且具有足够的间隙，连接座20底端面与机台10平面之间始终保持平行状态，则夹取机构30夹取的晶圆可持续保持平稳移动，不会晃动。
56.该移位装置结构简单、体积较小、移动性极好。且，由于两个摆杆、连接座20底端面和机台10平面围成平行四边形状，且连接座20端部与对应的摆杆顶端之间呈松配合，使得，驱动组件带动两个摆杆同步摆动时，在连接座20端部与对应的摆杆顶端之间的松配合的作用下，所述连接座20底端面始终保持与机台10平面相平行，进而使得夹取机构30保持平稳移动，也即，夹取机构30夹取的晶圆也始终保持平稳、不晃动，平稳度较好。该移位装置没有复杂的传动结构，也无需在摆杆内部设置传动的皮带结构等，极大简化了传动结构，通过平行四边形结构结合转动处的松配合结构，即可将夹取机构保持平稳。
57.以上所述，仅为本实用新型较佳实施例而已，故不能依此限定本实用新型实施的
范围，即依本实用新型专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖的范围内。