具有高信噪比和电噪声抗扰度的电磁场信号采集系统

1.本披露内容旨在改进对等离子体的控制和测量。具体地，本披露内容旨在改善从等离子体获得的测量信号的信噪比并提高用于获得这些测量的系统的电噪声抗扰度。


背景技术：

2.等离子体非常常见，用于许多制造和工业加工环境。例如，低压系统被用于先进的材料加工，包括例如半导体或医疗行业领域的材料沉积和/或刻蚀工艺。作为进一步的示例，大气压等离子体加工系统也具有工业应用，例如航空、汽车工业等领域的材料清洁、粘合、沉积或刻蚀。
3.由于朝向过程自动化增加的趋势，改进对工业半导体加工设备中等离子体特性的控制是重要的。改进等离子体特性控制的一个考虑因素是等离子体特性的测量。目前，侵入式等离子体测量技术是测量等离子体特性的最古老和最常用的方法。这些技术涉及将一个或多个探针浸入所研究的等离子体中。
4.然而，在大多数工业环境中，侵入式等离子体测量技术是不可取的。特别是，等离子体产生的条件对于许多用于测量的探针来说通常是苛刻的。因此，用于侵入式等离子体测量技术的探针价格昂贵和/或容易出现故障。此外，探针本身可以与等离子体相互作用，从而(有时是不可预测地)改变等离子体的特性。这些问题降低了测量的准确度，进而降低了对等离子体的控制。
5.此外，用于侵入式等离子体测量技术的设备很难改造为现有的制造设备和基础设施。除了这个困难之外，安装侵入式等离子体测量设备的破坏性影响可能会给制造线带来额外的复杂性。这进而又会对工艺复制产生不利影响，而工艺复制是大批量生产的关键必要条件。因此，增加制造线复杂性和成本的风险减缓了对等离子体测量和控制的改进。
6.因此，非侵入式等离子体测量技术可能会在等离子体控制方面提供巨大的改进。例如，非侵入式等离子体测量设备可以很容易地耦合到现有的等离子体设备。另一个优点是，现有的等离子体设备在耦合到非侵入式等离子体测量设备时可以留在原位，从而降低了增加制造线复杂性和成本的风险。非侵入式等离子体测量也比侵入式等离子体测量准确得多。与许多现有的探针系统不同，非侵入式等离子体测量不需要将探针放在等离子体中。因此，非侵入式等离子体测量不会干扰等离子体本身(这消除了探针改变人们试图获得的测量的风险)。k suzuki和m sato在2003年电气过应力/静电放电研讨会上题为“advanced technology for monitoring plasma sparking esd damage using high frequency magnetic field sensors[使用高频磁场传感器监测等离子体火花esd损害的先进技术]”的论文中描述了一种示例系统。各种专利出版物描述了具有高信噪比和电噪声抗扰度的电磁场信号采集系统，例如us2005/0183821；jp h05188151；jp h1167732和ep 1394835。
[0007]
本披露内容基于pct/ep 2018/057556以及s.kelly和p.j.mcnally在appl.phys.express 10(2017)096101上发表的论文所提供的贡献，该论文描述了无线电发射光谱(res)系统。在典型的实施例中，为了测量和控制等离子体加工室中的等离子体特
性，res系统涉及将以下各项放置在等离子体加工室内部附近(例如，优选地40mm或更小)：近场(nf)电场(e场)天线、和/或nf磁场(b场)天线。至关重要的是，(多个)天线位于等离子体的外部，即根据本披露内容，(多个)天线在使用中没有被浸入并且不会与等离子体进行物理接触。
[0008]
然而，例如在典型的半导体制造工厂中，该工厂通常包括多个等离子体加工系统，每个等离子体加工系统包括至少一个等离子体室，这些等离子体加工系统不会单独处于彼此电磁(射频——rf)隔离的状态。事实上，制造工厂可能包括数十个或更多这样的系统，它们都同时工作，并且都能够产生rf电磁发射。因此，这些加工系统可能会相互干扰并干扰res系统。
[0009]
此外，可能存在其他本地rf源。作为另一个示例，高速电气设备会产生电磁噪声。因此，设计一种仅能够接收来自其所针对的单个等离子体加工室的电磁信号的res系统至关重要。至关重要的是，该res系统必须不受噪声信号的影响，例如来自其他电子系统(包括例如其他等离子体加工室、辅助电气设备等)的信号和一般宽带本地rf背景发射。来自天线头的信号容易受到来自电缆的“趋肤”感应噪声的影响。在等离子体室的操作环境中，来自控制机器/计算机和相邻等离子体室的rf噪声非常密集，例如在工业环境中，机器以“追赶”的方式排成长线。这会导致rf干扰。此外，来自一个或多个天线的信号电平非常低，任何局部放大都会引入宽带噪声，从而影响任何测量。res系统的另一个问题是，在传感器头与被监测的室之间会出现共模电流，这也会导致干扰。
[0010]
因此，为了解决现有技术的这个和其他问题，本披露内容涉及一种用于res系统的信号采集系统(sas)，该sas：i)具有高信噪抗扰度；ii)适用于接收来自其用于测量的等离子体源(例如等离子体加工室)的res信号；iii)不会接收来自周围环境的射频信号，例如来自同一加工工具上其他相邻的室的res信号。


技术实现要素：

[0011]
本披露内容涉及的装置的特征在所附权利要求中进行了阐述。
[0012]
具体地，本披露内容涉及一种用于检测由等离子体发出的电磁辐射的装置，该装置包括第一传感器单元，该第一感测单元包括：用于检测电磁辐射的第一传感器；电磁屏障，其中，该电磁屏障被配置为绕该第一传感器以防止环境电磁辐射到达该第一传感器；第一端口，电磁辐射可以通过该第一端口，该端口被配置用于附接到等离子体室的端口，使得从该等离子体发出的电磁辐射可以到达该第一传感器；以及第一输出，该第一输出耦合到该传感器，其中，该输出被配置为耦合到电缆，由此，该第一传感器检测到的信号可以提供给单独的接收器、收发器或发射器单元。
[0013]
在一个实施例中，提供了一种用于检测由等离子体发出的电磁辐射或信号的装置，该装置包括传感器单元，该感测单元包括：
[0014]
用于检测电磁辐射或信号的第一传感器；
[0015]
电磁屏障，其中，该电磁屏障被配置为绕该第一传感器以防止环境电磁辐射到达该第一传感器；
[0016]
第一端口，电磁辐射可以通过该第一端口，该端口被配置用于耦合到等离子体室的端口，使得从该等离子体发出的电磁辐射或信号可以到达该第一传感器；以及第一输出，
该第一输出与巴伦和双同轴系统耦合，由此，感测到的信号接地并且该信号的反相版本接地。
[0017]
虽然法拉第笼型实施方式可以提供电磁屏障，但测量等离子体信号领域现有的现有技术系统存在许多问题，比如出现的共模电流产生的噪声。本发明通过在系统的两端提供与耦合和去耦合巴伦相结合的双同轴配置克服了这些问题。
[0018]
在本发明的优选实施例中，巴伦/双coax/巴伦系统被定位在传感器头附近。实际上，本发明的巴伦/双coax/巴伦方法(其中，信号线路的信号和反相版本分别在两个不同的电缆中进行噪声隔离)克服了在测量从等离子体源发出的信号时与信号采集相关联的噪声和共模电流问题。
[0019]
信号采集系统被设计为与其环境电气隔离，并且只有连接到信号采集系统的nf e场和nf b场传感器(例如天线)才能接收rf信号。
[0020]
将第一传感器作为单独的单元提供，并允许将其安装在接收器、发射器或收发器的远处，并减少第一传感器本地可能干扰第一传感器读数的部件的数量。
[0021]
将第一传感器作为单独的单元提供，并允许将其安装在接收器、发射器或收发器的远处，并减小第一传感器的尺寸以便最有效地附接到空间受限的等离子体系统中的第一端口。此外，对于具有多个室的系统，远程第一端口可以耦合到单独的接收器、收发器或发射器单元或多个单元。
[0022]
优选地，第一传感器是近场天线，但是如果需要，该系统也可以被配置用于中场或远场操作。
[0023]
优选地，该第一输出是平衡输出，被配置用于耦合到一个或多个电缆以提供差分信号。这允许第一输出耦合到平衡差分电缆(其是现成的部件)。有利地，平衡电缆的使用意味着所产生的系统拒绝来自外部源的共模干扰。
[0024]
优选地，该传感器单元包括巴伦，该巴伦被配置为将由该第一传感器提供的不平衡信号转换为提供给该第一输出的平衡信号。
[0025]
在一个实施例中，该传感器单元包括第二感测单元，其中，该第二感测单元包括：用于检测电磁辐射的第二传感器；电磁屏障，其中，该电磁屏障被配置为绕该第二传感器以防止环境电磁辐射到达该第二传感器；第二端口，电磁辐射可以通过该第二端口，该端口被配置用于附接到等离子体室的匹配单元，使得从匹配单元发出的电磁辐射可以到达该第二传感器；以及第二输出，该第二输出耦合到该第二传感器，其中，该第二输出被配置为耦合到电缆。
[0026]
这种布置产生了差分信号，该差分信号是对正被等离子体操作的衬底/工件上的电流和/或电压相位差的测量。
[0027]
此外，在天线的连接器处于接收或发射模式的情况下，可以附接定向耦合器，该定向耦合器被配置为允许实施反射/传输测量。例如，这可以用于获取由天线以及附接的巴伦和电缆组成的传输线路的基本阻抗测量。
[0028]
优选地，该第一输出和该第二输出是平衡输出。
[0029]
优选地，该第一输出和该第二输出交叉耦合到巴伦以产生第三输出，其中，该第三输出是平衡输出，该平衡输出是该第一传感器接收到的信号与该第二传感器接收到的信号之间的电流和/或电压相位差的函数。
[0030]
在另一个实施例中，提供了一种用于检测由等离子体发出的电磁辐射或信号的方法，该方法包括以下步骤：
[0031]
检测电磁辐射或信号；
[0032]
将电磁屏障配置为绕第一传感器以防止环境电磁辐射到达该第一传感器；
[0033]
将与该传感器相关联的、且电磁辐射可以通过的第一端口与等离子体室的端口耦合，使得从该等离子体发出的电磁辐射或信号可以到达该第一传感器；以及
[0034]
将第一输出与巴伦和双同轴系统耦合，由此，感测到的信号接地并且该信号的反相版本接地。
[0035]
本披露内容还涉及但不限于一种用于检测由等离子体发出的电磁辐射的信号采集系统(sas)，该sas包括：根据任一前述权利要求所述的用于检测电磁辐射的装置；另一外壳，包括：接收器、发射器或收发器，用于将该装置获得的信号无线地提供给控制单元；以及电磁屏障，其中，该电磁屏障被配置为绕该接收器、发射器或收发器以防止环境电磁辐射到达该接收器、发射器或收发器；以及至少一个电缆，用于将该装置接收到的信号提供给该接收器、发射器或收发器。
[0036]
优选地，该电缆是平衡电缆。更优选地，该电缆是一对同轴电缆，其中，这些电缆被配置为将该装置的接地线连接到该另一外壳。
附图说明
[0037]
参考附图，将从下文仅作为示例给出的其实施例的描述中更清楚地理解本发明，在附图中：-[0038]
图1展示了不平衡布线的示例；
[0039]
图2展示了平衡布线的示例；
[0040]
图3示出了来自天线的平衡线路的示例电路；
[0041]
图4展示了天线头和远程收发器的一个示例；
[0042]
图5展示了天线头和远程收发器的另一个示例；
[0043]
图6示出了用于将不平衡天线连接到平衡线路的电路；以及
[0044]
图7示出了连接到天线的收发器，该收发器用于将传感器接收到的信号发射到控制单元。
具体实施方式
[0045]
典型的res包括用于测量等离子体的传感器(比如天线)，该传感器耦合到接收器或收发器，该接收器或收发器用于将从传感器获得的测量提供给控制系统并且可选地接收来自控制系统的控制信号。接收器或收发器的示例是示例性的，并且可选地可以使用发射器来代替。
[0046]
在res系统中，重要的是要确保传感器接收到的信号来自所观察或测试的等离子体系统(例如等离子体室)。因此，res系统的传感器(例如e场和/或b场天线，或类似的传感器)通常放置在所测试的等离子体系统的接入端口附近。该接入端口通常由玻璃/石英/电介质窗口组成，该窗口可能提供也可能不提供对等离子体的直接可见观察。无论是否是直接可见的接入，等离子体的rf发射仍然可以通过该接入端口。本发明可以适用于等离子体
直接可见或不可见的两种情况。除了使用现成的nf b场、nf e场或类似的天线外，还可以构建或制造定制的传感器。这可以包括在玻璃、电介质、木材或类似衬底上手动或自动沉积电介质和/或导电部件，以便定制构建适合于res系统要求的传感器或天线。在转让给都柏林城市大学的pct专利申请号pct/ep2018/057556中详细描述了这种系统，该专利申请通过引用全部并入本文。
[0047]
需要非常高的精度和准确度来检测传感器接收到的信号的振幅或强度的微小变化。为了做到这一点，必须使噪声最小化，即res接收到的信号的信噪比必须最大化。
[0048]
然而，将传感器放置在等离子体系统的接入端口附近并不能保证接收到的信号仅来自所测试的等离子体系统。传感器检测到的典型rf信号具有极低的振幅(例如，大约-60dbm到-100dbm)，并且接收到的信号通常或经常位于电磁场的近场区域(参见s.kelly和p.j.mcnally，appl.phys.express 10(2017)096101)。
[0049]
许多其他等离子体系统可能并且在实践中通常非常接近所测试的等离子体系统。在许多情况下，等离子体系统将被设计为与其邻居(包括正在被res系统测量的等离子体系统)相似或几乎相同。另一个问题是res的接收器或收发器可能会干扰传感器。
[0050]
传感器(例如一个或多个rf天线)通常在近场中操作，并且在尺寸上受到所测试的单个等离子体系统的实际构造的限制。可以使用的合适传感器是宽带em传感器。因此，res系统的rf传感器往往非常小。典型的rf传感器的大小可能大约为1cm2。这些小型收发器传感器不得被不想要的rf信号淹没。此外，由于环境中其他来源的不受控制的rf发射所产生的强e场和b场而造成的干扰水平可能相当高。本披露内容描述了一种用于res的sas，该sas确保与这种干扰很好地隔离。
[0051]
本披露内容通过将传感器与接收器或收发器分离以隔离传感器来实现该目的。特别是，传感器被提供在与接收器或收发器分开的外壳中。在一个实施例中，sas包括天线头外壳(ahe)，该天线头外壳包括sas的感测部件。该感测部件优选地是(多个)单端nf e场和/或nf b场天线中的一个或多个。ahe放置在等离子体系统(例如等离子体加工室)附近，以便ahe处于由等离子体系统的等离子体产生的电磁近场中。ahe的传感器接收到的信号然后经由电缆传输到单独的远程收发器头(rth)。rth包含信号收发器子系统。
[0052]
电缆的一个示例是同轴电缆或“coax”。coax是其内部导体被管状绝缘层包围、然后被管状导电屏蔽件包围的电缆。
[0053]
电缆的另一个示例是双轴电缆或“twinax”。twinax是一种类似于同轴电缆的电缆，但具有两个内部导体而不是一个。由于成本效益，它在现代超短程高速差分信号应用中变得越来越普遍。
[0054]
电缆的进一步示例是三轴电缆，通常称为“triax”。triax是一种类似于同轴电缆的电缆，但增加了额外的绝缘层和第二导电护套。它与同轴电缆或双轴电缆相比提供更大的带宽和干扰抑制。
[0055]
电磁传感器优选地包括天线。天线具有两个连接端口。一个端口通常连接到信号线，而另一个端口连接到地线。因此，当将天线耦合到电缆时，本领域中通常会使用twinax电缆或triax电缆。参考图1所示的电缆，电缆由电缆内部的两根线101(信号线102和地线/护套103)组成。在电缆本身内部，信号线102通常位于电缆的中心，而地线/护套103围绕该信号线。外部接地护套输送一部分rf信号，并在一定程度上保护主信号线免受外部rf干扰。
这种类型的电缆布置称为不平衡电缆。
[0056]
然而，任何长度的电缆都可以像天线一样工作。结果，内线102可以像天线一样工作并且拾取不想要的rf噪声105(比如共模电流信号)，从而使信号降级。
[0057]
为了避免这个问题，使用了差分巴伦。差分巴伦(“平衡-不平衡(balanced-unbalanced)”的缩写)是放置在单端源(即比如天线等源，具有单个信号端口和接地参考端口)与差分负载(即具有两个端口的负载，这两个端口分别接收两个信号，其中，该负载响应这两个信号之间的电气差异)之间的双端口部件，或反之亦然。换句话说，巴伦用于将单端信号(也称为不平衡信号)转换为差分信号(也称为平衡信号)或者将差分信号转换为单端信号。巴伦通常使用双绕组变压器，该双绕组变压器一侧接地而另一侧浮动(差分)。巴伦没有确定的“输入”和“输出”端口，即它通常是互易设备。
[0058]
通过使用差分巴伦，可以将比如天线等单端源耦合到(多个)差分电缆。
[0059]
图2示出了包括以下三根线201的平衡电缆：两根信号线202a和202b加上单独的接地护套203。与在不平衡电缆中一样，接地护套203仍然围绕信号线并用作抗干扰屏蔽件。平衡电缆使用两根信号线202a和202b来分别输送信号205的副本，即正副本202a和负副本202b(即，这两个副本以相反的极性发送)。图2示出了包括电磁rf隔离屏障207的天线206，该屏障与等离子体室208协作以形成从等离子体室208到天线206的rf隔离通道或“管道”。当信号的两个副本沿电缆传播时，它们会暴露在相同的rf噪声信号中。因此，反转负副本并将其添加到正信号具有消除rf噪声信号的效果。这导致了提高的噪声抗扰度。优选地，来自rf屏障207外壳内的天线的信号在电缆内被输送到远程接收器头209外壳，同时保持从天线207到接收器头209的rf密封单元。
[0060]
因此，如图4所示，通过使用第一差分巴伦410，来自比如天线等单端源411的输出可以被提供为平衡信号。这允许使用平衡差分电缆412将接收到的信号从天线头外壳(ahe)400传输到单独的远程接收器头(rth)450。由于使用了差分巴伦410，因此可以使用两个同轴电缆将差分/平衡信号传输到rth 450。优选地，一直延伸到单独的远程接收器头(rth)450的天线头外壳(ahe)400位于rf密封单元中，以便限定从天线头400到接收器头(rth)450的通道或管道。
[0061]
在rth 450内，另一个差分巴伦451用于将平衡差分信号转换回单端不平衡信号，以连接到接收器或收发器452。换句话说，该信号被转换回信号配置，比如直接连接到收发器系统的单个同轴尼尔-康塞曼卡口(bayonet neill-concelman，bnc)或超小型a版(subminiature version a，sma)插头连接器。
[0062]
应当理解，巴伦与通过双同轴电缆的差分信号的组合完成了头单元与远程接收器之间的rf隔离管道。实际上，本发明提供了对来自等离子体室208处的测量的信号和发送到接收器209的信号的rf遏制。
[0063]
可选地，可以提供控制线路425以从rth向ahe提供电源和/或控制信号。
[0064]
图3示出了在电气隔离天线外壳内使用差分巴伦和rf传感器(天线)的示例实施例的电路图。如图3所示，天线310(优选地，b场环形天线)连接到高频变压器320，该高频变压器用作巴伦并将接收到的任何不平衡信号传送到平衡差分传输线路。传输线路使用电容器330交流耦合到连接器x1和x2，以从信号中去除不想要的电流。传输线路端接电阻器340的组合。该线路的平衡点可以使用电负载350来端接，例如电阻器。
[0065]
本披露内容还涉及一种也利用差分巴伦的用于rth的系统和部件布局。如图6所示，一个用于将双同轴平衡输入从ahe耦合到单端收发器的示例性电路。特别是，端口x8和x13被配置用于耦合到双同轴平衡输入，并且使用电容器610交流耦合到传输线路以从信号中去除不想要的电流。传输线路端接电阻器620的组合。该线路的平衡点可以使用电负载650来端接，例如电阻器。传输线路将接收到的差分信号提供给高频变压器630，该高频变压器用作将差分信号转换为单端信号的巴伦。单端信号被提供给端口x1，以连接到单端收发器。本领域技术人员将再次注意到，其他配置可以使用不同的电路部件(例如不同值的电阻器、电容器等)和拓扑结构，并且上面所示的实施例是说明性的。
[0066]
如图2和图6所示，信号线路在接地同轴电缆中输送，并且反相信号也在单独的同轴电缆中输送。这些电缆中的每一个都是自我屏蔽的，并且当信号经由两条同轴线路传输到分析室时，这个过程是相反的。这种巴伦/双coax/巴伦配置确保了从传感器单元到信号处理单元的公共接地。
[0067]
这包括双coax系统的应用，其中，coax公共接地是rf现场系统的接地，并且平衡差分信号被包含在该系统中。这种独特的系统通过coax减少了由于环境工具噪声(例如来自所研究的等离子体室以及相邻的操作室)引起的rf电流感应，而且还使用了包含在该系统中的平衡差分系统，这有助于显著降低感应噪声。这种配置能够将有源处理部件定位在远离室本身的位置，同时仍保持需要处理的低强度信号的完整性。这种配置使得系统能够将传感器头定位在与室壁相邻的位置，并将极低电平的宽带信号输送到远程检测系统进行处理，同时防止室间噪声和其他外部噪声。
[0068]
在一个实施例中，可以实现测量等离子体本身内部的电流和电压变化之间的相位差。电场(e场)传感器/天线经由与天线的电容耦合有效地检测电压变化；磁场(b场)传感器/天线最有效地检测电流变化，该传感器/天线电感地耦合到等离子体内部的传导电流和位移电流。
[0069]
在等离子体内，存在具有不同特性的“层”，在这些层中，不同的频率在这些不同的区域内传播。这具有为等离子体的不同操作点改变不同频率的相位的效果。通过测量这些不同频率的相位差，可以得出许多关于等离子体操作的物理属性的数据。通过检查由对信号的数据处理产生的相位谱，可以得出许多关于等离子体当前状态的信息。
[0070]
附加的传感器可以与本发明结合使用。例如，放置在等离子体端口周围不同位置(例如在频谱的微波区域中)的rf传感器对来自等离子体室中不同区域的微波发射敏感，其中，等离子体本身在空间上并不均匀。在电感耦合等离子体中，感应功率线圈与等离子体体之间的波导效应将产生微波发射，这与来自等离子体主体的微波发射成分有根本区别。
[0071]
图5示出了本披露内容的替代性实施例。特别是，该替代性实施例涉及在ahe1000内使用两个天线。参考图5，第一天线1011a位于第一rf屏蔽件(例如屏蔽壳体)中，以用于安装到如前所述的等离子体室1001的端口。第一天线1011a连接到第一巴伦1010a，以将第一天线接收到的信号转换为第一差分信号1013a。可选地，在该实施例(和之前的实施例)中，巴伦可以进一步用金属(例如铜)来屏蔽。第二天线1011b位于第二rf屏蔽件(例如屏蔽壳体)中，以用于安装在等离子体室输出侧的匹配单元1002内。与第一天线1011a类似，第二天线1011b连接到第二巴伦1010b，以将第二天线1011b接收到的信号转换为第二差分信号1013b。
[0072]
第一1013a和第二1013b交叉耦合到第三巴伦1020a和第四巴伦1020b，以产生输出差分信号1012。如上文参考图4所描述的，输出差分信号被提供给rth 450。从rth 450到ahe 1000可以提供可选的控制和/或电源线路425。
[0073]
这种布置的优点是，由ahe 1000提供的输出差分信号是第一天线1011a与第二天线1011b之间的相移的函数。换句话说，输出差分信号1012是对正在等离子体室1001中加工的衬底/工件上的相位差的测量。
[0074]
图7示出了本发明的示例框图，类似于图2，示出了连接到天线206的收发器，该收发器用于将传感器接收到的信号发射到接收器209。天线206包括rf隔离屏障207，该屏障与等离子体室208协作以形成从等离子体室208到天线206的rf隔离通道或“管道”，如上文关于图2至图6所描述的。巴伦与通过双同轴电缆700的差分信号的组合完成了天线206与可以容纳控制单元的远程接收器209之间的rf隔离管道。电缆700可以平行布置并且布置成没有扭结等，这样信号不会降级或受损。
[0075]
当然，以上示例仅是示例性的，并且本领域技术人员将认识到，在不背离本披露内容的精神和范围的情况下，存在许多可以实施本文披露的系统、方法和装置的替代方式。
[0076]
例如，可以对rth的巴伦的输入执行差分放大，而不是对来自rth的巴伦的单端输出执行差分放大。
[0077]
应当理解，本文关于附图描述的方法可以同时用于两个以上的天线，例如可以实施在几个视口处的几个天线。换句话说，“巴伦-双coax-巴伦”拓扑的多个版本可以用于将来自所连接的多个天线的信号传送到ahe，然后传送到sas，sas本身无法处理来自ahe处的一个、两个、三个或更多个天线的信号。
[0078]
参考附图描述的本发明中的实施例包括计算机装置和/或在计算机装置中执行的进程。然而，本发明还扩展到计算机程序，特别是存储在被适配用于将本发明付诸实践的载体上或载体中的计算机程序。程序可以是源代码、目标代码或代码中间源和目标代码的形式，比如以部分编译的形式或适合用于实施根据本发明的方法的任何其他形式。载体可以包括比如rom等存储介质，例如记忆棒或硬盘。载体可以是可以经由电缆或光缆或通过无线电或其他方式传输的电信号或光信号。
[0079]
在说明书中，术语“包括(comprise)、包括(comprises)、包括(comprised)和包括(comprising)”或其任何变体以及术语“包含(include)、包含(includes)、包含(included)和包含(including)”或其任何变体被认为是完全可互换的，并且它们应当都被提供尽可能最广泛的解释，并且反之亦然。
[0080]
本发明不限于上文所述的实施例，而是可以在结构和细节两者上变化。