固态成像装置的制作方法

本公开涉及一种固态成像装置。

背景技术：

1、固态成像装置例如包括以二维阵列状配置的多个像素以及围绕各像素的元件隔离绝缘膜。各像素例如包括诸如传输晶体管、复位晶体管、选择晶体管或放大晶体管等像素晶体管或者作为像素晶体管的虚设(dummy)的虚设晶体管。

2、引用文献列表

3、专利文献

4、专利文献1：wo 2017/130723 a

5、专利文献2：日本专利申请公开no.2015-162679

6、专利文献3：us 2020/0111821 a

7、专利文献4：us 2017/0092684 a

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、然而，取决于像素的配置和元件隔离绝缘膜的形状，在固态成像装置的像素之间可能产生感度差。

3、因此，本公开提供了一种能够防止在像素之间产生感度差的固态成像装置。

4、问题的解决方案

5、根据本公开的第一方面，提供了一种固态成像装置，包括：第一像素；和位于第一像素的第一方向上的第二像素，其中第一和第二像素中的每一个包括第一晶体管和第二晶体管，和第二像素内的第一和第二晶体管相对于第一像素内的第一和第二晶体管在第一方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在第一像素和第二像素之间产生感度差。

6、此外，根据第一方面的固态成像装置还可以包括：位于第一像素的第二方向上的第三像素；和位于第二像素的第二方向上的第四像素，其中第三和第四像素中的每一个可以包括第一晶体管和第二晶体管，和第四像素内的第一和第二晶体管可以相对于第三像素内的第一和第二晶体管在第一方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在第一像素和第二像素之间以及在第三像素和第四像素之间产生感度差。

7、此外，根据第一方面，第三像素内的第一和第二晶体管可以相对于第一像素内的第一和第二晶体管在第二方向上对称地配置，和/或第四像素内的第一和第二晶体管可以相对于第二像素内的第一和第二晶体管在第二方向上对称地配置。在这种构成中，例如，可以防止在第一像素和第二像素之间以及在第三像素和第四像素之间产生感度差。

8、此外，根据第一方面，第三像素内的第一和第二晶体管可以相对于第一像素内的第一和第二晶体管在第二方向上周期性地配置，和/或第四像素内的第一和第二晶体管可以相对于第二像素内的第一和第二晶体管在第二方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在第一像素和第三像素之间和/或在第二像素和第四像素之间产生感度差。

9、此外，根据第一方面，第一和第二像素中的每一个可以包括设置在基板内的光电转换单元，并且包括在所述基板下方的第一和第二晶体管。在这种构成中，例如，可以防止在包括光电转换单元的像素之间产生感度差。

10、此外，根据第一方面，所述光电转换单元包括第一半导体区域和围绕第一半导体区域的第二半导体区域，和第二像素内的第一和第二半导体区域可以相对于第一像素内的第一和第二半导体区域在第一方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由光电转换单元引起的感度差。

11、此外，根据第一方面，第一和第二像素中的每一个可以包括在所述基板内的浮动扩散部，和第二像素内的浮动扩散部可以相对于第一像素内的浮动扩散部在第一方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由浮动扩散部引起的感度差。

12、此外，根据第一方面的固态成像装置还可以包括设置在所述基板下方并包括多个第一配线的第一配线层，其中第二像素内的第一配线可以相对于第一像素内的第一配线在第一方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由第一配线层引起的感度差。

13、此外，根据第一方面，第一和第二像素中的每一个可以包括沿着第一方向和第二方向中的一个延伸的所述多个第一配线。在这种构成中，例如，可以适宜地配置第一配线。

14、此外，根据第一方面的固态成像装置还可以包括设置在第一配线层下方并包括多个第二配线的第二配线层，其中第二像素内的第二配线可以相对于第一像素内的第一配线在第一方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由第二配线层引起的感度差。

15、此外，根据第一方面，第一和第二像素中的每一个可以包括沿着第一方向和第二方向中的一个延伸的所述多个第一配线以及沿着第一方向和第二方向中的另一个延伸的所述多个第二配线。在这种构成中，例如，可以适宜地配置第一配线和第二配线。

16、此外，根据第一方面，第一晶体管可以是传输晶体管。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由传输晶体管引起的感度差。

17、此外，根据第一方面，第二晶体管可以是所述传输晶体管以外的像素晶体管或者作为所述像素晶体管的虚设的虚设晶体管。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由传输晶体管以外的像素晶体管或虚设晶体管引起的感度差。

18、此外，根据第一方面，第一和第二像素中的至少一个可以不包括在第一晶体管和第二晶体管之间的元件隔离绝缘膜。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由元件隔离绝缘膜引起的感度差。

19、此外，根据第一方面的固态成像装置还可以包括围绕第一和第二像素中的每一个的元件隔离绝缘膜。例如，在这种构成中，可以防止在像素之间的混色。

20、根据本公开的第二方面，提供了一种固态成像装置，包括：第一像素；和位于第一像素的第一方向上的第二像素，其中第一和第二像素中的每一个包括第一晶体管和第二晶体管，和在第一晶体管和第二晶体管之间的元件隔离绝缘膜。在这种构成中，例如，可以防止在像素之间产生由元件隔离绝缘膜引起的感度差。

21、此外，根据第二方面的固态成像装置还可以包括围绕第一和第二像素中的每一个的元件隔离绝缘膜。例如，在这种构成中，可以防止在像素之间的混色。

22、根据本公开的第三方面，提供了一种固态成像装置，包括：第一像素；在第一方向上与第一像素相邻的第二像素；在第二方向上与第一像素相邻的第三像素；在第二方向上与第二像素相邻的第四像素；设置在第一至第四像素中的每一个内的第一元件隔离绝缘膜；和围绕第一至第四像素中的每一个的第二元件隔离绝缘膜，其中第一和第二元件隔离绝缘膜中的至少一个包括在平面图中具有第一宽度的部分和具有比第一宽度大的第二宽度的部分。在这种构成中，例如，可以防止由第一或第二元件隔离绝缘膜在第一至第四像素之间产生感度差。

23、此外，根据第三方面，第一至第四像素中的每一个可以包括第一晶体管和第二晶体管，第一元件隔离绝缘膜可以配置在第一晶体管与第二晶体管之间，第一至第四像素内的第一晶体管可以在第一和第二方向上周期性地配置，和第一至第四像素内的第二晶体管可以包括在平面图中具有两种以上类型面积的栅电极。在这种构成中，例如，可以防止由第二晶体管引起的感度差。

24、此外，根据第三方面，第一至第四像素中的每一个可以包括第一晶体管和第二晶体管，第一元件隔离绝缘膜可以配置在第一晶体管和第二晶体管之间，第一至第四像素内的第一晶体管可以在第一和第二方向上周期性地配置，和第一至第四像素内的第二晶体管可以在第一和第二方向上周期性地配置。在这种构成中，例如，可以防止由第二晶体管以外的晶体管引起的感度差。