1.一种用于等离子体辅助处理设备(100)的电压波形发生器(10)，包括：
2.根据权利要求1所述的电压波形发生器，其中，所述控制单元(17)被配置成操作所述电压供应电路(11)，以获得第一符号的第一电流脉冲，所述第一电流脉冲随后是通过所述第一电感器(lpulse)的相反符号的第二电流脉冲。
3.根据权利要求1或2所述的电压波形发生器，其中，所述控制单元(17)被配置成操作所述电压供应电路(11)，以在所述开关节点(111)处获得切换电压信号(vsn)，所述切换电压信号导致通过所述第一电感器(lpulse)的电流脉冲(ipulse)允许在所述公共节点(13)处获得预定波形(vcn)。
4.根据权利要求3所述的电压波形发生器，其中，所述切换电压信号(vsn)包括电压电平序列，其中，所述序列包括具有第一幅值的第一电压电平，所述第一电压电平随后是具有低于所述第一幅值的第二幅值的第二电压电平，所述第二电压电平随后是具有高于所述第二幅值的第三幅值的第三电压电平，其中，所述第三幅值等于或不同于所述第一幅值。
5.根据前述权利要求中任一项所述的电压波形发生器，其中，所述预定波形是电压脉冲。
6.根据前述权利要求中任一项所述的电压波形发生器，其中，所述电压供应电路(11)包括中性点箝位转换器，所述中性点箝位转换器可操作用于在所述第一开关节点(111)处在至少三个电压电平之间切换。
7.根据前述权利要求中任一项所述的电压波形发生器，其中，所述电流源持续连接到所述公共节点(13)并且被配置成持续提取所述dc电流。
8.根据前述权利要求中任一项所述的电压波形发生器，包括耦合到所述公共节点(13)并且可操作用于将所述公共节点的电压箝位在预定电平的电压箝位电路(15)。
9.根据权利要求8所述的电压波形发生器，其中，所述电压箝位电路(15)耦合到所述电压供应电路(11)的电压节点(a)，所述电压节点被配置成用于提供所述至少两个电压电平中的一个作为所述预定电平。
10.根据权利要求8或9所述的电压波形发生器，所述电压箝位电路包括以下中的一个或多个：包括一个或多个二极管(155)的无源箝位支路(152)、有源箝位支路(151)、以及电阻尼元件(154)。
11.根据权利要求10所述的电压波形发生器，包括所述有源箝位支路(151)和所述无源箝位支路(152)，其中，所述有源箝位支路(151)和所述无源箝位支路(152)并联连接。
12.根据权利要求8至11中任一项所述的电压波形发生器，其中，所述控制单元(17)被配置成确定用于在所述开关节点(111)处施加所述至少两个电压电平的切换时间，以在通过所述第一电感器(lpulse)的电流(ipulse)基本为零的时刻(t3)在所述公共节点(13)处实现等于所述预定电平的电压。
13.根据前述权利要求中任一项所述的电压波形发生器，包括用于连接到等离子体反应器(102)的输出端子(12)，其中，所述公共节点(13)通过dc电流阻隔电容器(cblock)连接到所述输出端子。
14.一种用于衬底(101)的等离子体辅助处理的设备(100)，包括：
15.一种生成用于受到等离子体辅助处理的衬底(101)的电压波形(vcn)的方法，所述方法包括：
16.根据权利要求15所述的方法，其中，施加所述切换电压(vsn)包括：
17.根据权利要求16所述的方法，还包括：
18.根据权利要求16或17所述的方法，还包括在所述第二时段(t23)和可选的所述第三时段(t34)之后的第四时段(t45)期间施加具有第四幅值的第四电压电平，使得所述第一电流(ipulse)的绝对值增加。
19.根据权利要求16至18中任一项所述的方法，还包括在所述第二时段、可选的所述第三时段(t34)、可选的所述第四时段(t45)之后的第五时段(t56)期间施加具有比所述第二幅值大的第五幅值的第五电压电平，使得所述第一电流(ipulse)的绝对值减小。
20.根据权利要求15至19中任一项所述的方法，其中，持续地施加所述dc电流(ics)。