显示装置的制作方法

1.本发明涉及一种显示装置，更加详细地讲，涉及一种柔性显示装置。


背景技术：

2.向用户提供图像的诸如智能电话、数码相机、笔记本计算机、导航仪以及智能电视等的电子设备包括用于显示图像的显示装置。显示装置生成图像，并通过显示画面向用户提供所生成的图像。
3.近来，随着显示装置的技术的发展，正在开发多种形态的显示装置。例如，正在开发能够变形为曲面形态、或者能够被折叠或被卷曲的多种柔性显示装置。柔性显示装置易于携带，并且可以提高用户的便利性。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种改善卷曲特性以及可靠性的显示装置。
5.根据本发明的一实施例的显示装置包括：显示面板，包括发光元件；以及输入传感器，布置于所述显示面板上，并且包括沿第一方向反复布置的多个第一区域以及沿所述第一方向反复布置的多个第二区域。
6.所述输入传感器包括：无机绝缘层，布置于所述多个第一区域；有机绝缘层，布置于所述多个第一区域以及所述多个第二区域；以及感测电极，布置于所述有机绝缘层上。
7.所述多个第一区域以及所述多个第二区域在所述第一方向上交替布置，在所述输入传感器的所述多个第二区域，对应于所述无机绝缘层而形成有开口部。
8.根据本发明的一实施例的显示装置包括：显示面板，包括发光元件层以及布置于所述发光元件层上的封装层，所述发光元件层包括发光元件；以及输入传感器，布置于所述封装层上，并且包括沿第一方向反复布置的多个第一区域以及沿所述第一方向反复布置的多个第二区域。
9.所述输入传感器包括：有机绝缘层，布置于所述多个第一区域以及所述多个第二区域；多个第一无机绝缘层，布置于所述有机绝缘层上部，并且分别布置于所述多个第一区域；第二无机绝缘层，布置于所述多个第二区域；以及感测电极，布置于所述有机绝缘层上部。
10.所述多个第一区域以及所述多个第二区域在所述第一方向上交替布置，在所述输入传感器的所述多个第二区域，对应于所述第一无机绝缘层以及所述第二无机绝缘层而形成有开口区域。
11.根据本发明的实施例，在卷曲方向上反复去除布置于输入传感器的无机绝缘层，从而布置无机绝缘层的第一区域和不布置无机绝缘层的第二区域在卷曲方向上交替布置。因此，可以缓解在显示装置沿卷曲方向卷曲时施加于显示面板及输入传感器的压力，其结果，可以提高显示装置的卷曲特性及可靠性。
附图说明
12.图1是根据本发明的实施例的显示装置的立体图。
13.图2是图示图1所示的显示装置被卷曲的状态的图。
14.图3是沿图1所示的剖切线i-i’剖切的显示装置的剖视图。
15.图4是根据本发明的一实施例的显示面板的剖视图。
16.图5是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图。
17.图6是放大图5所示的aa部分的根据本发明的一实施例的平面图。
18.图7a至图7c是沿图6所示的剖切线ii-ii’剖切的根据本发明的实施例的显示装置的剖视图。
19.图8是放大图5所示的aa部分的根据本发明的一实施例的平面图。
20.图9是沿图8所示的剖切线iii-iii’剖切的剖视图。
21.图10是放大图5所示的aa部分的根据本发明的一实施例的平面图。
22.图11是沿图10所示的剖切线iv-iv’剖切的剖视图。
23.图12是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图。
24.图13是放大图12所示的bb部分的根据本发明的一实施例的平面图。
25.图14是沿图13所示的剖切线v-v’剖切的剖视图。
26.图15以及图16是根据本发明的实施例的输入传感器的平面图。
27.图17是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图。
28.图18是放大示出图17所示的cc部分的平面图。
29.图19a是沿图18所示的剖切线vi-vi’剖切的剖视图。
30.图19b是沿图18所示的剖切线vii-vii’剖切的剖视图。
31.图20是放大示出图18所示的ee部分的平面图。
具体实施方式
32.在本说明书中，当提到某一构成要素(或者区域、层、部分等)在另一构成要素“之上”、与另一构成要素“连接”或者“结合”时，其表示可以直接布置在另一构成要素之上或者与另一构成要素直接连接/结合，或者在它们之间也可以布置有第三构成要素。
33.相同的附图标记指代相同的构成要素。并且，在附图中，为了针对技术内容进行有效的说明，构成要素的厚度、比率以及尺寸被夸大。
[0034]“和/或”包括相关的构成可以定义的一个以上的全部的组合。
[0035]
第一、第二等术语可以用于说明多种构成要素，但所述构成要素不应被所述术语限定。所述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情形下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，相似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。只要在语境中没有明确表示出不同含义，单数的表述便包括复数的表述。
[0036]
并且，“下方”、“下侧”、“上方”、“上侧”等术语用于说明附图中图示的构成的相关关系。所述术语为相对性的概念，以附图中表示的方向为基准而被说明。
[0037]
只要没有被不同地定义，则本说明书中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员通常所理解的含义相同的含义。并且，诸如在
通常使用的词典中定义的术语之类的术语应当被解释为与在相关技术的语境中的含义一致的含义，并且只要没有被解释为理想的或者过于形式性的含义，则可以在此被明示性地定义。
[0038]“包括”或者“具有”等术语应当被理解为旨在指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在，而不是预先排除一个或者其以上的其他特征或者数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在或者附加的可能性。
[0039]
以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。
[0040]
图1是根据本发明的一实施例的显示装置的立体图，图2是图示图1所示的显示装置的卷曲状态的图。
[0041]
参照图1，根据本发明的一实施例的显示装置dd可以具有包括沿第一方向dr1延伸的长边以及沿与第一方向dr1交叉的第二方向dr2延伸的短边的矩形。然而，不限于此，显示装置dd可以具有圆形或多边形等多种形状。
[0042]
与由第一方向dr1及第二方向dr2所定义的平面实质上垂直交叉的方向被定义为第三方向dr3。并且，在本说明书中，在平面上观察时的含义被定义为沿第三方向dr3观察的状态。
[0043]
显示装置dd的上表面可以被定义为显示面ds，并且可以与由第一方向dr1及第二方向dr2所定义的平面平行。在显示装置dd生成的图像im可以通过显示面ds提供给用户。
[0044]
显示面ds可以包括显示区域da及显示区域da周边的非显示区域nda。显示区域da可以显示图像，并且非显示区域nda可以不显示图像。非显示区域nda可以围绕显示区域da，并且可以定义利用预定的颜色印刷的显示装置dd的边缘。
[0045]
显示装置dd可以用于诸如电视、监视器或者外部广告板之类的大型电子装置。并且，显示装置dd还可以用于诸如个人计算机、笔记本计算机、个人数字终端、汽车导航仪、游戏机、智能电话、平板计算机或者相机之类的中小型电子装置。然而，这些仅是以示例性的实施例而提出的，在不脱离本发明的概念的情况下，还可以用于其他电子设备。
[0046]
参照图2，显示装置dd可以是能够卷曲的柔性显示装置。例如，显示装置dd可以是卷曲(rolling)型显示装置。
[0047]
显示装置dd可以在第一方向dr1上卷曲。显示装置dd可以卷曲成圆筒形状。用户可以将显示装置dd卷曲而携带，并且可以根据需要展开显示装置dd而观看图像，从而可以提高显示装置dd的便携性。
[0048]
图3是沿图1所示的剖切线i-i’剖切的显示装置的剖视图。
[0049]
参照图3，显示装置dd可以包括显示面板100及输入传感器200。显示面板100可以包括基层110、电路层120、发光元件层130及封装层140。
[0050]
基层110可以是提供用于布置电路层120的基面的部件。基层110可以是玻璃基板、金属基板或高分子基板等。然而，实施例并不限于此，基层110可以是无机层、有机层或复合材料层。
[0051]
基层110可以具有多层结构。例如，基层110可以包括第一合成树脂层、布置于第一合成树脂层上的氧化硅(sio
x
)层、布置于氧化硅层上的非晶硅(a-si)层以及布置于非晶硅层上的第二合成树脂层。氧化硅层和非晶硅层可以称为基础阻挡层。
[0052]
第一合成树脂层及第二合成树脂层中的每一个可以包括聚酰亚胺(polyimide)系
树脂。并且，第一合成树脂层及第二合成树脂层中的每一个可以包括丙烯酸(acrylate)系树脂、甲基丙烯酸(methacrylate)系树脂、聚异戊二烯(polyisoprene)系树脂、乙烯(vinyl)系树脂、环氧(epoxy)系树脂、氨基甲酸乙酯(urethane)系树脂、纤维素(cellulose)系树脂、硅氧烷(siloxane)系树脂、聚酰胺(polyamide)系树脂及苝(perylene)系树脂中的至少一种。
[0053]
电路层120可以布置于基层110上。电路层120可以包括绝缘层、半导体图案、导电图案及信号布线等。通过涂覆、沉积等方式在基层110上形成绝缘层、半导体层和导电层，此后，可以通过多次光刻工艺选择性地对绝缘层、半导体层和导电层进行图案化。此后，可以形成包括于电路层120的半导体图案、导电图案及信号布线。
[0054]
发光元件层130可以布置于电路层120上。发光元件层130可以包括发光元件。例如，发光元件层130可以包括有机发光物质、无机发光物质、量子点、量子棒、微型led或纳米led。
[0055]
封装层140可以布置于发光元件层130上。封装层140可以保护发光元件层130免受诸如水分、氧气和灰尘颗粒之类的异物的影响。
[0056]
输入传感器200可以布置于显示面板100上。输入传感器200可以感测从外部施加的外部输入。外部输入可以是用户的输入。用户的输入可以包括诸如用户身体的一部分、光、热、笔或压力等多样形态的外部输入。
[0057]
输入传感器200可以通过连续的工艺形成在显示面板100上。在此情况下，输入传感器200可以被表达为直接布置于显示面板100上。直接布置可以意味着在输入传感器200与显示面板100之间没有布置第三构成要素。即，在输入传感器200与显示面板100之间可以不布置有单独的粘合部件。选择性地，输入传感器200可以通过粘合部件而与显示面板100彼此结合。粘合部件可以包括常规的粘合剂或粘附剂。
[0058]
尽管未示出，显示装置dd还可以进一步包括布置于输入传感器200上的防反射层和光学层。防反射层可以减小从显示装置dd的外部入射的外部光的反射率。光学层可以通过控制从显示面板100入射的光的方向来提高显示装置dd的正面亮度。
[0059]
图4是根据本发明的一实施例的显示面板的剖视图。
[0060]
参照图4，在基层110的上表面形成有至少一个无机层。无机层可以包括氧化铝、氧化钛、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化锆和氧化铪中的至少一种。无机层可以利用多层形成。多层无机层可以构成阻挡层和/或缓冲层。在本实施例中，显示面板100被示出为包括缓冲层bfl。
[0061]
缓冲层bfl可以提高基层110与半导体图案之间的结合力。缓冲层bfl可以包括氧化硅、氮化硅和氮氧化硅中的至少一种。例如，缓冲层bfl可以包括氧化硅层和氮化硅层交替堆叠的结构。
[0062]
半导体图案可以布置于缓冲层bfl上。半导体图案可以包括多晶硅。然而，并不限于此，半导体图案也可以包括非晶硅、低温多晶硅或氧化物半导体。
[0063]
图4仅示出了一部分半导体图案，在其他区域还可以布置有半导体图案。半导体图案可跨像素以特定规则排列。半导体图案的电特性可以根据是否掺杂而不同。半导体图案可以包括导电率高的第一区域和导电率低的第二区域。第一区域可以掺杂有n型掺杂剂或p型掺杂剂。p型晶体管可以包括掺杂有p型掺杂剂的掺杂区域，n型晶体管可以包括掺杂有n
型掺杂剂的掺杂区域。第二区域可以是非掺杂区域，或者可以是以低于第一区域的浓度掺杂的区域。
[0064]
第一区域的导电性大于第二区域的导电性，实质上可以起到电极或信号布线的作用。第二区域可以实质上对应于晶体管的有源(或沟道)区域。换言之，半导体图案的一部分可以是晶体管的有源区域，另一部分可以是晶体管的源极或漏极，又一部分可以是连接电极或连接信号布线。
[0065]
每个像素可以具有包括七个晶体管、一个电容器及发光元件的等效电路，并且像素的等效电路可以以各种形态变形。在图4中示例性地图示了包括于像素的一个晶体管tr以及发光元件ed。
[0066]
晶体管tr的源极sc、有源区域al和漏极dr可以利用半导体图案形成。源极sc和漏极dr可以在截面上从有源区域al沿相反方向延伸。图4示出了利用半导体图案形成的连接信号布线scl的一部分。尽管未单独示出，连接信号布线scl可以在平面上连接于晶体管tr的漏极dr。
[0067]
第一绝缘层10可以布置于缓冲层bfl上。第一绝缘层10共同地重叠于多个像素，并可以覆盖半导体图案。第一绝缘层10可以是无机层和/或有机层，并且可以具有单层或多层结构。第一绝缘层10可以包括氧化铝、氧化钛、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化锆及氧化铪中的至少一种。在本实施例中，第一绝缘层10可以是单层的氧化硅层。不仅是第一绝缘层10，包括于后述的电路层120的绝缘层中的每一个可以是无机层和/或有机层，并可以具有单层或多层结构。无机层可以包括上述物质中的至少一种，但并不限于此。
[0068]
晶体管tr的栅极gt布置于第一绝缘层10上。栅极gt可以是金属图案的一部分。栅极gt与有源区域al重叠。在掺杂半导体图案的工艺中，栅极gt可以起到掩模的功能。
[0069]
第二绝缘层20布置于第一绝缘层10上，并可以覆盖栅极gt。第二绝缘层20可以共同地重叠于像素。第二绝缘层20可以是无机层和/或有机层，并可以具有单层或多层结构。第二绝缘层20可以包括氧化硅、氮化硅和氮氧化硅中的至少一种。在本实施例中，第二绝缘层20可以具有包括氧化硅层及氮化硅层的多层结构。
[0070]
第三绝缘层30可以布置于第二绝缘层20上。第三绝缘层30可以具有单层或多层结构。例如，第三绝缘层30可以具有包括氧化硅层和氮化硅层的多层结构。
[0071]
第一连接电极cne1可以布置于第三绝缘层30上。第一连接电极cne1可以通过贯通第一绝缘层10、第二绝缘层20、第三绝缘层30的第一接触孔cnt1而连接于连接信号布线scl。
[0072]
第四绝缘层40可以布置于第三绝缘层30上。第四绝缘层40可以是单层的氧化硅层。第五绝缘层50可以布置于第四绝缘层40上。第五绝缘层50可以是有机层。
[0073]
第二连接电极cne2可以布置于第五绝缘层50上。第二连接电极cne2可以通过贯通第四绝缘层40及第五绝缘层50的第二接触孔cnt2与第一连接电极cne1连接。
[0074]
第六绝缘层60布置于第五绝缘层50上，并可以覆盖第二连接电极cne2。第六绝缘层60可以是有机层。
[0075]
发光元件层130可以布置于电路层120上。发光元件层130可以包括发光元件ed。例如，发光元件层130可以包括有机发光物质、无机发光物质、量子点、量子棒、微型led或纳米led。以下，以发光元件ed为有机发光元件的情形为例进行说明，但是并不特别限定于此。
[0076]
发光元件ed可以包括第一电极ae、发光层el及第二电极ce。
[0077]
第一电极ae可以布置于第六绝缘层60上。第一电极ae可以通过贯通第六绝缘层60的第三接触孔cnt3而连接于第二连接电极cne2。
[0078]
发光元件层130可以包括像素定义膜70。像素定义膜70布置于第六绝缘层60上，并可以覆盖第一电极ae的一部分。在像素定义膜70定义有像素开口部70-op。像素定义膜70的像素开口部70-op暴露第一电极ae的至少一部分。
[0079]
显示区域da(参照图1)可以包括发光区域pxa和与发光区域pxa相邻的非发光区域npxa。非发光区域npxa可以围绕发光区域pxa。在本实施例中，发光区域pxa被定义为对应于借由像素开口部70-op而暴露的第一电极ae的局部区域。
[0080]
发光层el可以布置于第一电极ae上。发光层el可以布置于与像素开口部70-op对应的区域。即，发光层el可以分离而形成于每一个像素。在发光层el形成为多个而分离于每一个像素的情况下，多个发光层el中的每一个可以发出蓝色、红色及绿色中的至少一种颜色的光。但是，并不限于此，也可以连接于像素而共同地提供发光层el。在此情况下，发光层el可以提供蓝色光，或也可以提供白色光。
[0081]
第二电极ce可以布置于发光层el上。第二电极ce可以具有一体形状，并可以共同地布置于多个像素。
[0082]
尽管未示出，在第一电极ae与发光层el之间可以布置有空穴控制层。空穴控制层可以共同地布置于发光区域pxa和非发光区域npxa。空穴控制层可以包括空穴传输层，并且还可以包括空穴注入层。在发光层el与第二电极ce之间可以布置有电子控制层。电子控制层可以包括电子传输层，并且还可以包括电子注入层。可以利用开放掩模在多个像素共同地形成空穴控制层和电子控制层。
[0083]
封装层140可以布置于发光元件层130上。封装层140可以包括依次堆叠的第一无机层141、有机层142及第二无机层143，然而构成封装层140的层不限于此。
[0084]
第一无机层141及第二无机层143可以保护发光元件层130免受水分和氧气的影响，并且有机层142可以保护发光元件层130免受诸如灰尘颗粒之类的异物的影响。第一无机层141及第二无机层143可以包括氮化硅层、氮氧化硅层、氧化硅层、氧化钛层或氧化铝层等。有机层142可以包括丙烯酸类有机层，但不限于此。
[0085]
图5是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图。图6是放大示出图5所示的aa部分的平面图，图7a至图7c是沿图6所示的剖切线ii-ii’剖切的根据本发明的实施例的显示装置的剖视图。
[0086]
参照图5及图6，在输入传感器200可以定义有感测区域200a及非感测区域200n。感测区域200a可以是根据电信号而被激活的区域。例如，感测区域200a可以是实质上感测输入的区域。感测区域200a可以与显示装置dd(参照图1)的显示区域da(参照图1)重叠。非感测区域200n可以围绕感测区域200a。非感测区域200n可以与显示装置dd的非显示区域nda(参照图1)重叠。
[0087]
感测区域200a可以包括多个第一区域ia及多个第二区域nia。多个第一区域ia在第一方向dr1上被反复布置，多个第二区域nia在第一方向dr1上被反复布置。第一方向dr1可以与显示装置dd(在图1中图示)的卷曲方向平行。如果显示装置dd的卷曲方向平行于第二方向dr2，则第一区域ia及第二区域nia可以在第二方向dr2上反复布置。即，第一区域ia
及第二区域nia的排列方向取决于显示装置dd的卷曲方向。
[0088]
作为本发明的一例，多个第一区域ia及多个第二区域nia在第一方向dr1上交替布置。多个第一区域ia可以被定义为布置无机绝缘层240的区域，并且多个第二区域nia可以被定义为不布置无机绝缘层240的区域。另外，无机绝缘层240可以不布置于非感测区域200n。无机绝缘层240和第一区域ia及第二区域nia将在后面描述。
[0089]
输入传感器200可以包括多个第一感测电极te1、te2、te3、te4及多个第二感测电极re1、re2、re3、re4、re5、re6。多个第一感测电极te1至te4可以沿第一方向dr1延伸，并且可以沿第二方向dr2排列。多个第二感测电极re1至re6可以沿第二方向dr2延伸，并且可以沿第一方向dr1排列。多个第一感测电极te1至te4可以与多个第二感测电极re1至re6交叉。在多个第一感测电极te1至te4与多个第二感测电极re1至re6之间可以形成有电容。配备于输入传感器200的第一感测电极te1至te4及第二感测电极re1至re6的数量没有特别限制。
[0090]
输入传感器200还可以包括连接于多个第一感测电极te1至te4的多个第一信号布线(未示出)及连接于多个第二感测电极re1至re6的多个第二信号布线sl2_1至sl2_6(参照图18、图19a、图19b以及图20)。第一信号布线及第二信号布线可以布置于非感测区域200n。
[0091]
多个第一感测电极te1至te4中的每一个可以包括多个第一感测部分sp1及桥接部分bp。彼此相邻的两个第一感测部分sp1可以借由桥接部分bp而彼此电连接，然而并不特别局限于此。多个第一感测部分sp1和桥接部分bp可以布置于彼此不同的层上。
[0092]
多个第二感测电极re1至re6中的每一个可以包括多个第二感测部分sp2及延伸部分ep。多个第二感测部分sp2和延伸部分ep可以具有彼此一体的形状，并且可以布置于同一层上。桥接部分bp和延伸部分ep可以布置于第一感测电极te1至te4及第二感测电极re1至re6的交叉部，并且在交叉部，桥接部分bp可以以与延伸部分ep绝缘的方式交叉。
[0093]
参照图6，多个第一感测部分sp1中的每一个可以具有多边形形状。作为本发明的一例，多个第一感测部分sp1中的每一个可以具有菱形形状。然而，多个第一感测部分sp1中的每一个的形状没有特别限制。
[0094]
多个第一感测部分sp1中的每一个可具有网格形状。多个第一感测部分sp1中的每一个可以包括多条第一网格线，并且多条第一网格线中的每一条可以沿相对于第一方向dr1或第二方向dr2倾斜的方向延伸。多条第一网格线中的每一条的延伸方向没有特别限制。例如，多条第一网格线中的每一条可以平行于第一方向dr1或第二方向dr2而延伸。
[0095]
多个第二感测部分sp2中的每一个可以具有多边形状。作为本发明的一例，多个第二感测部分sp2中的每一个可以具有菱形形状。然而，多个第二感测部分sp2中的每一个的形状没有特别限制。
[0096]
多个第二感测部分sp2中的每一个可以具有网格形状。多个第二感测部分sp2中的每一个可以包括多条第二网格线，并且多条第二网格线中的每一个可以沿相对于第一方向dr1或第二方向dr2倾斜的方向延伸。多条第二网格线中的每一条的延伸方向没有特别限制。例如，多条第二网格线中的每一条可以平行于第一方向dr1或第二方向dr2而延伸。
[0097]
参照图6及图7a，在显示面板100上提供有输入传感器200。输入传感器200可以直接布置于封装层140上。即，在输入传感器200与封装层140之间没有布置第三部件。
[0098]
输入传感器200可以包括基础绝缘层210、有机绝缘层220、第一导电层230、无机绝缘层240、第二导电层250及保护绝缘层260。
[0099]
基础绝缘层210可以直接布置于封装层140上。基础绝缘层210可以是包括氮化硅、氮氧化硅及氧化硅中的至少一种的无机层。基础绝缘层210可以具有单层结构，或者可以具有沿第三方向dr3堆叠的多层结构。
[0100]
基础绝缘层210可以布置于多个第一区域ia，并且可以不布置于多个第二区域nia。即，基础绝缘层210可以与多个第一区域ia重叠，而与多个第二区域nia不重叠。在多个第二区域nia可以提供有对应于基础绝缘层210而形成的第一开口部211，例如，可以提供通过去除基础绝缘层210而形成的第一开口部211。第一开口部211中的每一个可以沿第二方向dr2形成。
[0101]
有机绝缘层220布置于基础绝缘层210上。有机绝缘层220可以共同布置于多个第一区域ia及多个第二区域nia。有机绝缘层220可以与多个第一区域ia及多个第二区域nia重叠。
[0102]
有机绝缘层220可以包括丙烯酸系树脂、甲基丙烯酸系树脂、聚异戊二烯、乙烯系树脂、环氧系树脂、氨基甲酸乙酯系树脂、纤维素系树脂、硅氧烷系树脂、聚酰亚胺系树脂、聚酰胺系树脂及苝系树脂中的至少一种。有机绝缘层220可具有平坦的表面。即，可以借由有机绝缘层220而去除或减小因在第二区域nia形成第一开口部211而在第一区域ia与第二区域nia之间产生的阶梯差。
[0103]
在有机绝缘层220上布置有第一导电层230。作为本发明的一例，第一导电层230可以在平面上布置于多个第一区域ia内。然而，第一导电层230的位置没有特别限制。
[0104]
第一导电层230可以具有单层结构，或者可以具有沿第三方向dr3堆叠的多层结构。单层结构的第一导电层230可以包括金属层或透明导电层。金属层可以包括钼、银、钛、铜、铝或其合金。透明导电层可以包括诸如铟锡氧化物(ito：indium tin oxide)、铟锌氧化物(izo：indium zinc oxide)、氧化锌(zno：zinc oxide)或铟锌锡氧化物(izto：indium zinc tin oxide)等的透明的导电性氧化物。此外，透明导电层可以包括诸如pedot之类的导电性高分子、金属纳米线、石墨烯等。
[0105]
多层结构的第一导电层230可以包括金属层。金属层可以具有例如钛/铝/钛的三层结构。多层结构的第一导电层230可以包括至少一个金属层及至少一个透明导电层。
[0106]
在第一导电层230及有机绝缘层220上布置有无机绝缘层240。第一导电层230被无机绝缘层240所覆盖。
[0107]
无机绝缘层240可以包括氮化硅、氮氧化硅及氧化硅中的至少一种。无机绝缘层240可以具有单层结构，或可以具有沿第三方向dr3堆叠的多层结构。
[0108]
无机绝缘层240可以布置于多个第一区域ia，并且可以不布置于多个第二区域nia。即，无机绝缘层240可以与多个第一区域ia重叠，并且可以与多个第二区域nia不重叠。在多个第二区域nia可以提供有对应于无机绝缘层240而形成的第二开口部241，例如，可以提供通过去除无机绝缘层240而形成的第二开口部241。第二开口部241中的每一个可以沿第二方向dr2形成。在第一方向dr1上，第一开口部211的宽度可以与第二开口部241的宽度实质上相同。然而，并不特别限定于此。在第一方向dr1上，第二开口部241的宽度可以大于第一开口部211的宽度。
[0109]
在无机绝缘层240上布置有第二导电层250。作为本发明的一例，第二导电层250可以布置于多个第一区域ia及多个第二区域nia内。在多个第一区域ia，第二导电层250布置
于无机绝缘层240上，并且在多个第二区域nia，第二导电层250布置于通过第二开口部241而暴露的有机绝缘层220上。
[0110]
第二导电层250可以具有单层结构，或可以具有沿第三方向dr3堆叠的多层结构。单层结构的第二导电层250可以包括金属层或透明导电层。金属层可以包括钼、银、钛、铜、铝或其合金。透明导电层可以包括诸如铟锡氧化物(ito：indium tin oxide)、铟锌氧化物(izo：indium zinc oxide)、氧化锌(zno：zinc oxide)或铟锌锡氧化物(izto：indium zinc tin oxide)等的透明的导电性氧化物。此外，透明导电层可以包括诸如pedot之类的导电性高分子、金属纳米线、石墨烯等。
[0111]
多层结构的第二导电层250可以包括金属层。金属层可以具有例如钛/铝/钛的三层结构。多层结构的第二导电层250可以包括至少一个金属层和至少一个透明导电层。
[0112]
在第二导电层250上布置有保护绝缘层260。保护绝缘层260可以包括有机层。有机层可以包括丙烯酸系树脂、甲基丙烯酸系树脂、聚异戊二烯、乙烯系树脂、环氧系树脂、氨基甲酸乙酯系树脂、纤维素系树脂、硅氧烷系树脂、聚酰亚胺系树脂、聚酰胺系树脂及苝系树脂中的至少一种。保护绝缘层260可以保护第一导电层230及第二导电层250免受诸如灰尘颗粒之类的异物的影响。
[0113]
作为本发明的一例，桥接部分bp可以包括于第一导电层230，多个第一感测部分sp1、多个第二感测部分sp2及延伸部分ep可以包括于第二导电层250。
[0114]
参照图7b，在多个第二区域nia可以提供有对应于无机绝缘层240a而形成的第二开口部241a，例如，可以提供通过去除无机绝缘层240a而形成的第二开口部241a。第二开口部241a可以沿第二方向dr2形成。无机绝缘层240a包括定义第二开口部241a的侧表面242。侧表面242可以是相对于有机绝缘层220的上表面221以第一角度θ1倾斜的倾斜面。作为本发明的一例，第一角度θ1可以小于90
°
。
[0115]
若侧表面242是倾斜面，则无机绝缘层240a的厚度可以随着靠近第二开口部241a而逐渐减小。并且，第一角度θ1越小，侧表面242的倾斜度可以平缓。由此可以防止无机绝缘层240a与有机绝缘层220之间的阶梯差急剧增加。因此，可以防止或减少第二导电层250在彼此相邻的第一区域ia和第二区域nia之间的边界因上述的阶梯差而断路的现象等。
[0116]
无机绝缘层240a的侧表面242的形状不限于倾斜面形状。例如，侧表面242可以提供为阶梯形状。即使在侧表面242具有阶梯形状的情况下，也可以防止无机绝缘层240a和有机绝缘层220之间的阶梯差急剧增加或变化。
[0117]
参照图7c，封装层140a可以包括依次堆叠的第一无机层141a、有机层142a及第二无机层143a。
[0118]
第一无机层141a可以布置于多个第一区域ia，并且可以不布置于多个第二区域nia。即，第一无机层141a可以与多个第一区域ia重叠，并且可以与多个第二区域nia不重叠。在多个第二区域nia可以提供有对应于第一无机层141a而形成的第三开口部141a_op，例如，可以提供通过去除第一无机层141a而形成的第三开口部141a_op。第三开口部141a_op可以沿第二方向dr2形成。
[0119]
第一无机层141a上布置有有机层142a。有机层142a可以共同布置于多个第一区域ia及多个第二区域nia。有机层142a可以与多个第一区域ia及多个第二区域nia重叠。有机层142a可以具有平坦的表面。即，可以借由有机层142a而去除或减小因在第二区域nia形成
第三开口部141a_op而在第一区域ia与第二区域nia之间产生的阶梯差。
[0120]
第二无机层143a布置于有机层142a上。第二无机层143a可以布置于多个第一区域ia，并且可以不布置于多个第二区域nia。即，第二无机层143a可以与多个第一区域ia重叠，并且可以与多个第二区域nia不重叠。在多个第二区域nia可以提供有对应于第二无机层143a而形成的第四开口部143a_op，例如，可以提供通过去除第二无机层143a而形成的第四开口部143a_op。第四开口部143a_op可以沿第二方向dr2形成。
[0121]
在第二无机层143a上布置有基础绝缘层210。基础绝缘层210的第一开口部211可以与第二无机层143a的第四开口部143a_op对应而布置。在第一方向dr1上，第三开口部141a_op的宽度可以与第一开口部211以及第二开口部241的宽度实质上相同，并且在第一方向dr1上，第四开口部143a_op的宽度可以与第一开口部211以及第二开口部241的宽度实质上相同。然而，并不特别限定于此。例如，在第一方向dr1上，第四开口部143a_op的宽度可以小于第一开口部211的宽度，并且在第一方向dr1上，第三开口部141a_op的宽度可以小于第四开口部143a_op的宽度。
[0122]
虽然在图7a至图7c图示了在有机绝缘层220与封装层140之间布置基础绝缘层210的结构，然而本发明不限于此。即，可以省略基础绝缘层210。在省略基础绝缘层210的情况下，有机绝缘层220可以直接布置于封装层140上。
[0123]
虽然图7c图示了封装层140a的一部分构成(即，第一无机层141a以及第二无机层143a)在第二区域nia被去除的结构，然而本发明的实施例不限于此。例如，第一无机层141a及第二无机层143a中的仅一个可以在第二区域nia被去除。并且，除了封装层140a之外，构成显示面板100的其他绝缘层(例如，缓冲层bfl(在图4所示)或者构成电路层120的绝缘层10至50中的至少一个)可以在第二区域nia被去除。
[0124]
如此，由于第一区域ia及第二区域nia在卷曲方向上交替布置，因此可以缓解当显示装置dd(参照图1)沿卷曲方向卷曲时施加于显示面板dp(参照图3)及输入传感器200的压力。尤其，利用无机物构成的层相比于利用有机物构成的层在卷曲时可能受到更大的压力。对此，沿卷曲方向方反复去除利用无机物构成的层(即，无机绝缘层240、基础绝缘层210、第一无机层141a、第二无机层143a中的至少一个)，从而可以缓解施加于这些层的压力。因此，可以提高显示装置dd的卷曲特性以及可靠性。
[0125]
图8是放大图5所示的aa部分的根据本发明的一实施例的平面图，图9是沿图8所示的剖切线iii-iii’剖切的剖视图。
[0126]
参照图8及图9，多个第一感测部分sp1中的至少一个包括布置于第一区域ia的第一上部感测部分usp1及布置于第二区域nia的第一下部感测部分lsp1。在多个第一感测部分sp1中的至少一个与第一区域ia及第二区域nia共同重叠而布置的情况下，至少一个第一感测部分sp1可以包含包括在第一导电层230的第一下部感测部分lsp1及包括在第二导电层250的第一上部感测部分usp1。然而，若多个第一感测部分sp1中的至少一个仅与第一区域ia重叠但与第二区域nia不重叠，则至少一个第一感测部分sp1可以包括在第二导电层250。
[0127]
第一下部感测部分lsp1及第一上部感测部分usp1中的每一个可以具有网格形状。第一下部感测部分lsp1可延伸到第一区域ia而与第一上部感测部分usp1部分重叠。无机绝缘层240可以包括暴露第一下部感测部分lsp1的第一延伸端部的第一无机接触孔243及暴
露与第一延伸端部相对的第二延伸端部的第二无机接触孔244。
[0128]
第一上部感测部分usp1可以通过第一无机接触孔243而与第一下部感测部分lsp1的第一延伸端部直接连接，并且可以通过第二无机接触孔244而与第一下部感测部分lsp1的第二延伸端部直接连接。因此，第一下部感测部分lsp1可以与第一上部感测部分usp1电连接。
[0129]
多个第二感测部分sp2中的至少一个包括布置于第一区域ia的第二上部感测部分usp2及布置于第二区域nia的第二下部感测部分lsp2。在多个第二感测部分sp2中的至少一个与第一区域ia及第二区域nia重叠而布置的情况下，至少一个第二感测部分sp2可以包含包括在第一导电层230的第二下部感测部分lsp2及包括在第二导电层250的第二上部感测部分usp2。然而，若多个第二感测部分sp2中的至少一个仅与第一区域ia重叠但与第二区域nia不重叠，则该至少一个第二感测部分sp2可以包括在第二导电层250。
[0130]
由于第二下部感测部分lsp2与第二上部感测部分usp2的连接结构和第一下部感测部分lsp1与第一上部感测部分usp1的连接结构相似，因此将省略针对这些第二下部感测部分lsp2与第二上部感测部分usp2的连接结构的具体说明。
[0131]
与第一区域ia及第二区域nia共同重叠的感测部分sp1或sp2被分成下部感测部分lsp1或lsp2和上部感测部分usp1或usp2而布置。据此，可以消除或减少在第一区域ia与第二区域nia之间的边界因有机绝缘层220与无机绝缘层240之间的阶梯差而产生的诸如断路现象等的不良。
[0132]
图10是放大图5所示的aa部分的根据本发明的一实施例的平面图，图11是沿图10所示的剖切线iv-iv’剖切的剖视图。
[0133]
参照图10及图11，多个第一感测部分sp1中的至少一个包括布置于第一区域ia的第一上部感测部分usp1及布置于第二区域nia的第一下部感测部分lsp1。在多个第一感测部分sp1中的至少一个与第一区域ia及第二区域nia重叠而布置的情况下，至少一个第一感测部分sp1可以包含包括在第一导电层230的第一下部感测部分lsp1及包括在第二导电层250的第一上部感测部分usp1。然而，若多个第一感测部分sp1中的至少一个仅与第一区域ia重叠但与第二区域nia不重叠，则至少一个第一感测部分sp1可以包括在第二导电层250。
[0134]
第一下部感测部分lsp1及第一上部感测部分usp1中的每一个可以具有网格形状。第一上部感测部分usp1可以延伸到第二区域nia而与第一下部感测部分lsp1部分重叠。在第二区域nia中，第一下部感测部分lsp1通过提供于无机绝缘层240的第二开口部241暴露。延伸到第二区域nia的第一上部感测部分usp1在第二开口部241内直接与第一下部感测部分lsp1连接。
[0135]
多个第二感测部分sp2中的至少一个包括布置于第一区域ia的第二上部感测部分usp2及布置于第二区域nia的第二下部感测部分lsp2。在多个第二感测部分sp2中的至少一个与第一区域ia及第二区域nia重叠而布置的情况下，至少一个第二感测部分sp2可以包含包括在第一导电层230的第二下部感测部分lsp2及包括在第二导电层250的第二上部感测部分usp2。然而，若多个第二感测部分sp2中的至少一个仅与第一区域ia重叠并与第二区域nia不重叠，则该至少一个第二感测部分sp2可以包括在第二导电层250。
[0136]
由于第二下部感测部分lsp2与第二上部感测部分usp2的连接结构和第一下部感测部分lsp1与第一上部感测部分usp1的连接结构相似，因此将省略针对这些第二下部感测
部分lsp2与第二上部感测部分usp2的连接结构的详细说明。
[0137]
由于下部感测部分lsp1或lsp2布置于第二区域nia，因此提供于无机绝缘层240的第二开口部241的深度将部分地减小。在第二开口部241的深度减小的部分，下部感测部分lsp1或lsp2与上部感测部分usp1或usp2可以直接连接。由于第二开口部241的深度减小，可以提高下部感测部分lsp1或lsp2与上部感测部分usp1或usp2之间的连接可靠性。
[0138]
图12是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图，图13是放大图12所示的bb部分的根据本发明的一实施例的平面图，图14是沿图13所示的剖切线v-v’剖切的剖视图，图15是根据本发明的实施例的输入传感器的平面图。对图12至图15所示的构成要素中与图5至图11所示的构成要素相同的构成要素赋予了相同的附图标记，并且省略了对此的具体说明。
[0139]
参照图12及图13，在输入传感器200可以定义有感测区域200a及非感测区域200n。感测区域200a可以包括多个第一区域ia及多个第二区域nia。多个第一区域ia在第一方向dr1上反复布置，多个第二区域nia在第一方向dr1上反复布置。作为本发明的一例，多个第一区域ia及多个第二区域nia在第一方向dr1上交替布置。
[0140]
无机绝缘层240c包括布置于多个第一区域ia的多个第一无机绝缘层240_b及布置于多个第二区域nia的多个第二无机绝缘层240_i。在多个第二区域nia可以提供有对应于第一无机绝缘层240_b及第二无机绝缘层240_i而形成的第一开口区域241c，例如，可以提供通过去除第一无机绝缘层240_b及第二无机绝缘层240_i而形成的第一开口区域241c。第一无机绝缘层240_b中的每一个具有沿第二方向dr2延伸的条形状，并且第二无机绝缘层240_i中的每一个具有岛形状。
[0141]
输入传感器200可以包括多个第一感测电极te1至te4及多个第二感测电极re1至re6。多个第一感测电极te1至te4可以沿第一方向dr1延伸，并且可以沿第二方向dr2排列。多个第二感测电极re1至re6可以沿第二方向dr2延伸，并且可以沿第一方向dr1排列。
[0142]
多个第一感测电极te1至te4中的每一个可以包括多个第一感测部分sp1及桥接部分bp。彼此相邻的两个第一感测部分sp1可以借由桥接部分bp而彼此电连接，然而并不是特别局限于此。多个第一感测部分sp1及桥接部分bp可以布置于彼此不同的层上。
[0143]
多个第二感测电极re1至re6中的每一个可以包括多个第二感测部分sp2及延伸部分ep。多个第二感测部分sp2和延伸部分ep可以具有彼此一体的形状，并且可以布置于同一层上。桥接部分bp和延伸部分ep可以布置于第一感测电极te1至te4及第二感测电极re1至re6的交叉部，并且桥接部分bp可以在交叉部借由第二无机绝缘层240_i以与延伸部分ep绝缘的方式交叉。
[0144]
参照图13及图14，在显示面板100上提供有输入传感器200。输入传感器200可以直接布置于封装层140上。
[0145]
输入传感器200可以包括基础绝缘层210、有机绝缘层220、第一导电层230、无机绝缘层240c、第二导电层250及保护绝缘层260。
[0146]
基础绝缘层210可以布置于多个第一区域ia，并且可以不布置于多个第二区域nia。即，基础绝缘层210可以与多个第一区域ia重叠，但是与多个第二区域nia不重叠。在多个第二区域nia可以提供有对应于基础绝缘层210而形成的第一开口部211，例如，可以提供通过去除基础绝缘层210而形成的第一开口部211。
[0147]
有机绝缘层220布置于基础绝缘层210上。有机绝缘层220可以共同布置于多个第一区域ia及多个第二区域nia。有机绝缘层220可以与多个第一区域ia及多个第二区域nia重叠。
[0148]
无机绝缘层240c包括多个第一无机绝缘层240_b及多个第二无机绝缘层240_i。多个第一无机绝缘层240_b分别布置于多个第一区域ia，并且多个第一无机绝缘层240_b中的每一个具有沿第二方向dr2延伸的条形状。多个第二无机绝缘层240_i可以布置于多个第二区域nia，并且多个第二无机绝缘层240_i中的每一个可以具有四边点阵形状。
[0149]
多个第二区域nia包括未布置第一无机绝缘层240_b及第二无机绝缘层240_i的第一开口区域241c。
[0150]
第一导电层230在多个第二区域nia内被第二无机绝缘层240_i所覆盖。第一感测电极te1至te4的桥接部分bp包括在第一导电层230。
[0151]
在第一无机绝缘层240_b及第二无机绝缘层240_i上布置有第二导电层250。第一感测电极te1至te4的第一感测部分sp1和第二感测电极re1至re6的第二感测部分sp2及延伸部分ep包括在第二导电层250。在第二无机绝缘层240_i可以提供有用于暴露桥接部分bp的接触孔240_ic。因此，第一感测部分sp1可以在第二区域nia内通过接触孔240_ic而与桥接部分bp直接连接。
[0152]
即使桥接部分bp及延伸部分ep位于第二区域nia内，第二无机绝缘层240_i在第二区域nia内布置于桥接部分bp与延伸部分ep之间。因此，桥接部分bp和延伸部分ep可以借由第二无机绝缘层240_i而电绝缘。
[0153]
在图12至图14图示了第一无机绝缘层240_b与第二无机绝缘层240_i彼此隔开而布置的结构。然而，本发明并不限于此。
[0154]
如图15所示，根据本发明的一实施例的无机绝缘层240e包括布置于多个第一区域ia的多个第一无机绝缘层240_b及布置于多个第二区域nia的多个第二无机绝缘层240_e。第二无机绝缘层240_e可以从第一无机绝缘层240_b延伸。即，第一无机绝缘层240_b及第二无机绝缘层240_e可以具有一体的形状。然而，在第二区域nia可以提供有对应于第一无机绝缘层204_b及第二无机绝缘层240_e而形成第二开口区域241e，例如，可以提供通过去除第一无机绝缘层204_b及第二无机绝缘层240_e而形成第二开口区域241e。
[0155]
第二开口区域241e可以借由第二无机绝缘层240_e而布置为在第二方向dr2上彼此隔开，并且可以借由第一无机绝缘层240_b而布置为在第一方向dr1上彼此隔开。
[0156]
如此，在第一感测电极te1至te4及第二感测电极re1至re6的交叉部位于第二区域nia的情况下，可以将无机绝缘层以与交叉部对应的方式部分地残留在第二区域nia内。因此，在第二区域nia也可以提供桥接部分bp与第一感测部分sp1的接触结构以及桥接部分bp与延伸部分ep的电绝缘结构。
[0157]
图16是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图。
[0158]
参照图16，在感测区域200a可以布置有多个无机绝缘层240f。多个无机绝缘层240f在卷曲方向r_dr上反复布置，并且多个无机绝缘层240f借由多个第二开口部241f而布置为在卷曲方向r_dr上彼此间隔开。即，多个无机绝缘层240f和多个第二开口部241f在卷曲方向r_dr上交替布置。
[0159]
多个第二开口部241f可以在卷曲方向r_dr上具有彼此不同的宽度。当在显示装置
dd(参见图1)中将卷曲开始的地点定义为第一地点p1并且将卷曲结束的地点定义为第三地点p3时，从第一地点p1至第三地点p3，多个第二开口部241f的宽度也可以增加。
[0160]
虽然与第一地点p1相邻的第二开口部241f可以在卷曲方向r_dr上具有第一宽度d1，然而与第一地点p1和第三地点p3之间的中间地点(即，第二地点p2)相邻的第二开口部241f可以在卷曲方向r_dr上具有大于第一宽度d1的第二宽度d2。并且，与第三地点p3相邻的第二开口部241f可以在卷曲方向r_dr上具有大于第二宽度d2的第三宽度d3。
[0161]
虽然图16图示了第二开口部241f的宽度从第一地点p1到第三地点p3逐渐增加的结构，然而本发明不限于此。例如，输入传感器200可以在卷曲方向r_dr上分为多个部分，并且按每个部分还可以将第二开口部241f的宽度不同地设定。
[0162]
图17是根据本发明的一实施例的输入传感器的平面图。图18是放大示出图17所示的cc部分的平面图。图19a是沿图18所示的剖切线vi-vi’剖切的剖视图，图19b是沿图18所示的剖切线vii-vii’剖切的剖视图。图20是放大示出图18所示的ee部分的平面图。对图17至图20所示的构成要素中与在图5至图16所示的构成要素相同的构成要素赋予了相同的附图标记，并且省略了对此的具体说明。
[0163]
参照图17及图18，在输入传感器200可以定义有感测区域200a及非感测区域200n。感测区域200a是根据电信号被激活并且能够实质上感测输入的区域。非感测区域200n可以是实质上不感测输入的区域，并且可以围绕感测区域200a。
[0164]
感测区域200a及非感测区域200n中的每一个可以包括多个第一区域ia及多个第二区域nia。多个第一区域ia在第一方向dr1上反复布置，多个第二区域nia在第一方向dr1上反复布置。第一方向dr1可以与显示装置dd(在图1中图示)的卷曲方向平行。作为本发明的一例，多个第一区域ia及多个第二区域nia在第一方向dr1上交替配置。
[0165]
多个第一区域ia可以被定义为布置无机绝缘层240g的区域，并且多个第二区域nia可以被定义为不布置无机绝缘层240g的区域。在多个第二区域nia可以提供有对应于无机绝缘层240g而形成的第二开口部241g，例如，可以提供通过去除无机绝缘层240g而形成的第二开口部241g。
[0166]
在非感测区域200n可以布置有分别连接到多个第一感测电极te1至te4的多个第一信号布线(未示出)及分别连接到多个第二感测电极re1至re6的多个第二信号布线sl2_1至sl2_6。
[0167]
参照图18、图19a和图19b，多个第二信号布线sl2_1、sl2_2、sl2_3、sl2_3、sl2_4、sl2_5和sl2_6中的每一个可以在第一区域ia具有多层结构，但是可以在第二区域nia具有单层结构。即，在第一区域ia，多个第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个可以包括下部布线lsl及上部布线usl。下部布线lsl可以布置于有机绝缘层220上，并且上部布线usl可以布置于无机绝缘层240g上。即，下部布线lsl可以布置于与第一导电层230(参照图7a)相同的层上，并且上部布线usl可以布置于与第二导电层250(参照图7a)相同的层上。
[0168]
在第二区域nia，多个第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个可以仅包括下部布线lsl及上部布线usl中的一个布线。由于无机绝缘层240g及基础绝缘层210在第二区域nia被去除，因此多个第二信号布线sl2_1至sl2_6可以布置于有机绝缘层220上。
[0169]
多个第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个可以在卷曲方向上具有多层结构和单层结构反复的结构。然而，本发明不限于此。多个第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个
可以在第二区域nia内整体上具有单层结构。
[0170]
参照图18至图20，多个第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个的布线宽度可以在第一区域ia与第二区域nia之间的边界减小。例如，多个第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个可以在第一部分具有第一布线宽度w1，并且可以在第二部分具有第二布线宽度w2。第一部分可以与第一区域ia及第二区域nia中的每一个的中心部重叠，并且第二部分可以与第一区域ia和第二区域nia之间的边界部重叠。在此，第一布线宽度w1可以大于第二布线宽度w2。
[0171]
在第一区域ia与第二区域nia之间的边界部形成有无机绝缘层240g与有机绝缘层220之间的阶梯差。在将第二信号布线sl2_1至sl2_6图案化的工艺中，可以防止由于无机绝缘层240g与有机绝缘层220之间的阶梯差而导致的第二信号布线sl2_1至sl2_6彼此短路的现象。
[0172]
然而，本发明不限于此。例如，在无机绝缘层240g及基础绝缘层210在第二区域nia内被整体去除的情况下，第二信号布线sl2_1至sl2_6中的每一个可以具有预定的布线宽度。
[0173]
以上，虽然参照本发明的优选实施例进行了说明，但只要是本技术领域的熟练的技术人员或者具有本技术领域中的普通知识的人员，便可以理解在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和技术领域的范围内，可以对本发明进行多样的修改和变更。因此，本发明的技术范围不应该局限于说明书的详细说明中记载的内容，而应当通过权利要求范围来确定。