基于III族氮化物同质外延的HEMT结构、其制备方法及应用与流程

基于iii族氮化物同质外延的hemt结构、其制备方法及应用
技术领域
1.本技术涉及一种hemt器件的制备方法，具体涉及一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构、其制备方法及应用，属于半导体技术领域。


背景技术：

2.目前常用于制备半导体材料的方法主要有异质外延、同质外延法等。其中异质外延法成本较低，但工艺复杂，而且由于生长的半导体材料与衬底往往存在晶格不匹配等问题，使制得的半导体材料一般缺陷较多。在衬底与半导体材料之间生长缓冲层能在一定程度上缓解异质外延中的前述问题，但异质外延使用缓冲层易形成漏电通道，同时异质外延还会影响半导体器件的开关速度和高频特性，降低半导体器件的可靠性，这些问题限制了异质外延在高电子迁移率晶体管(hemt)制程中的应用。同质外延法可以有效克服异质外延法的上述不足，但是其在一些方面仍有待改进。以基于gan单晶衬底的同质外延法为例，在进行同质外延时，gan单晶衬底会从空气中吸收c、o和其他施主杂质，降低衬底与同质外延层的界面态的质量，这会阻碍gan衬底同质外延hemt器件的高性能发挥和应用。


技术实现要素：

3.本技术的主要目的在于提供一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构、其制备方法及应用，以克服现有技术中的不足。
4.为实现前述发明目的，本技术采用的技术方案包括：
5.本技术的一个方面提供了一种iii族氮化物单晶衬底的表面重构方法，其包括：
6.(1)将半绝缘性iii族氮化物单晶衬底置入生长腔室，并使所述生长腔室内形成h2、n2与nh3的混合气氛，且将所述生长腔室内的气压、温度分别调整为第一气压、第一温度；
7.(2)在所述第一气压及第一温度下，向所述生长腔室内输入h2、n2和nh3，并通过改变其中n2、nh3的输入量以变换所述生长腔室内的气氛，直至完成对所述iii族氮化物单晶衬底的表面重构。
8.本技术的另一个方面提供了一种iii族氮化物单晶衬底的表面修复方法，其包括：
9.s1、采用所述的iii族氮化物单晶衬底表面重构方法对iii族氮化物单晶衬底进行表面重构；
10.s2、在生长腔室内，于第二气压及第二温度下，利用iii族金属源、氮源和第二掺杂源在经步骤s1处理的iii族氮化物单晶衬底上生长形成平整的绝缘iii族氮化物层；
11.其中，所述第二气压低于第一气压，所述第二温度高于第一温度。
12.本技术的又一个方面提供了一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法，其包括：采用所述的iii族氮化物单晶衬底表面修复方法对iii族氮化物单晶衬底进行表面修复，之后在所述iii族氮化物单晶衬底上生长hemt器件的外延结构。
13.本技术的再一个方面提供了一种iii族氮化物单晶衬底，它可以由所述的iii族氮化物单晶衬底表面重构方法或所述的iii族氮化物单晶衬底表面修复方法制备。
14.本技术的再一个方面提供了一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构，它可以由所述的基于iii族氮化物同质外延的hemt结构制备方法。
15.本技术的再一个方面提供了所述iii族氮化物单晶衬底在制备半导体器件，例如hemt器件中的用途。
16.相较于现有技术，利用本技术的技术方案可以获得高质量的同质外延iii族氮化物层，彻底解决iii族氮化物单晶衬底与同质外延层界面处的施主杂质所引起的界面态质量低等问题，利于充分发挥iii族氮化物同质外延半导体器件的优秀性能，例如可以使hemt器件的开关响应速度、耐压性能等得到显著提升。
附图说明
17.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1是本技术中一种si型gan单晶衬底的制备工艺原理图；
19.图2是本技术中一种基于si型gan单晶衬底制备hemt结构的工艺原理图；
20.图3a示出了本技术中一种si型gan单晶衬底在表面重构前的杂质含量测试结果；
21.图3b示出了本技术中一种si型gan单晶衬底在表面重构后的杂质含量测试结果；
22.图4是本技术一实施例中一种表面修复后的iii族氮化物单晶衬底的原子力表面形貌图；
23.图5是本技术一实施例中一种hemt结构中的二维电子气迁移率测试图；
24.图6是本技术一实施例中一种hemt结构中的电子面密度测试图。
具体实施方式
25.鉴于现有技术的不足，本案发明人经长期研究和实践，得以提出本技术的技术方案，如下将予以更为详细的说明。
26.本技术的一些实施例提供的一种iii族氮化物单晶衬底的表面重构方法包括：
27.(1)将半绝缘性iii族氮化物单晶衬底置入生长腔室，并使所述生长腔室内形成h2、n2与nh3的混合气氛，且将所述生长腔室内的气压、温度分别调整为第一气压、第一温度；
28.(2)在所述第一气压及第一温度下，向所述生长腔室内输入h2、n2和nh3，并通过改变其中n2、nh3的输入量以变换所述生长腔室内的气氛，直至完成对所述iii族氮化物单晶衬底的表面重构。
29.在一个实施例中，所述步骤(1)具体包括：向置有u型iii族氮化物基底的生长腔室内输入iii族金属源(mo源)、氮源和第一掺杂源，从而在所述u型iii族氮化物基底上生长形成所述半绝缘性iii族氮化物单晶衬底。
30.进一步的，在所述步骤(1)中，可以利用hcl、c12等含有卤族元素的气体携带所述第一掺杂源进入所述生长腔室。
31.进一步的，在所述步骤(1)中，所述第一掺杂源包括fe或者c源，例如二茂铁(cp2fe)、c3h8、cbr4等，且不限于此。
32.进一步的，在所述步骤(1)中可以采用本领域已知的多种方式生长形成所述半绝缘性iii族氮化物单晶衬底。例如，可以利用hvpe(氢化物气相外延)、mocvd(金属有机化学气相沉积)、pecvd(等离子体增强化学的气相沉积)等方式生长所述半绝缘性iii族氮化物单晶衬底，优选采用hvpe方式。
33.在所述步骤(1)中可以将第一掺杂源添加在iii族金属源中，并一同输入所述生长腔室。
34.其中，所述iii族金属源可以是ga源、铝源、铟源等之中的一种或多种的组合，例如可以选用三甲基镓(tmga)、三甲基铝、三乙基铝、三甲基铟(tmi)等物质，且不限于此。
35.其中，所述氮源可以采用n2、nh3等，且不限于此。
36.在一个实施例中，所述u型iii族氮化物基底可以生长在蓝宝石衬底、si衬底、sic衬底等异质衬底上。
37.进一步的，所述步骤(1)还可以包括利用激光剥离、研磨抛光等将半绝缘性iii族氮化物单晶衬底与所述u型iii族氮化物基底及异质衬底分离的操作。
38.在一个实施例中，所述步骤(2)具体包括：
39.(21)在所述第一气压及第一温度下，向所述生长腔室内同时输入h2、n2和nh3；
40.(22)在所述第一气压及第一温度下，向所述生长腔室内同时输入h2和n2；
41.(23)在所述第一气压及第一温度下，向所述生长腔室内同时输入h2和nh3。
42.进一步的，所述步骤(21)中h2的流量为100-160slm、n2的流量为50-80slm、nh3的流量为25-40slm。优选的，h2、n2、nh3三者的用量比例为5∶2∶1-2∶2∶1。
43.进一步的，所述步骤(22)中h2的流量为100-160slm、n2的流量为50-80slm。优选的，h2、n2二者的用量比例为3∶1-1∶1。
44.进一步的，所述步骤(23)中h2的流量为100-160slm、n2的流量为25-40slm。优选的，h2、nh3二者的用量比例为5∶1-2∶1。
45.进一步的，所述步骤(2)具体可以包括：循环重复步骤(21)-步骤(23)一次以上。
46.在一个实施例中，所述第一气压为400-500torr，所述第一温度为1050-1080℃。
47.在一个实施例中，所述表面重构方法涉及的所述iii族氮化物单晶衬底的表层厚度为200-1000nm。
48.在本技术中，通过执行所述步骤(2)的操作，可以将同质外延iii族氮化物单晶衬底表面吸附杂质原子的污染层去除，有效克服氮化物单晶衬底与同质外延层界面处的施主杂质所引起的界面态质量低等问题。
49.具体来说，所述步骤(22)是使iii族氮化物单晶衬底表层分解的过程，步骤(23)是去除iii族氮化物单晶衬底表面颗粒、再结晶的过程，而步骤(21)则是修复、重构iii族氮化物单晶衬底表面的过程。随着气氛变换、表面重构的进行，iii族氮化物单晶衬底表面从空气中吸收的c，o和其他杂质的外延层会被完全分解。
50.本技术的一些实施例还提供一种iii族氮化物单晶衬底，它由前述的任一种iii族氮化物单晶衬底表面重构方法制得。
51.本技术的一些实施例提供的一种iii族氮化物单晶衬底的表面修复方法包括：
52.s1、采用前述的任一种iii族氮化物单晶衬底表面重构方法对iii族氮化物单晶衬底进行表面重构；
53.s2、在生长腔室内，于第二气压及第二温度下，利用iii族金属源、氮源和第二掺杂源在经步骤s1处理的iii族氮化物单晶衬底上生长形成平整的绝缘iii族氮化物层；
54.其中，所述第二气压低于第一气压，所述第二温度高于第一温度。
55.在一个实施例中，所述步骤s2包括：在生长所述绝缘iii族氮化物层的过程中使v/iii比在20-40min内从500-1000递增至1000-2000。以更好的促成外延生长模式向横向生长模式渐变。
56.在一个实施例中，所述步骤s2包括：在生长所述绝缘iii族氮化物层的过程中使所述第二掺杂源的输入量递增。优选的，可以在生长所述绝缘iii族氮化物层的过程中使所述第二掺杂源的输入量以1-10μmol/min的增长速度递增至10-100μmol/min，以在获得目标掺杂浓度的同时，降低对晶体质量的不利影响。
57.其中，可以利用hvpe(氢化物气相外延)、mocvd(金属有机化学气相沉积)、pecvd(等离子体增强化学的气相沉积)等方式生长所述绝缘iii族氮化物层，且不限于此。
58.在一个实施例中，所述第二掺杂源包括mg2fe或者c3h8，且不限于此。
59.在一个实施例中，所述第二温度为1100-1150℃，第二气压为100-250torr。
60.在一个实施例中，所述绝缘iii族氮化物层表面在10μm
×
10μm范围内的粗糙度ra值《0.1nm、电阻率》109ωcm。
61.在一个实施例中，所述绝缘iii族氮化物层的厚度为100-1000nm。
62.本技术中，通过在表面重构后的所述iii族氮化物单晶衬底表面生长形成绝缘iii族氮化物层，可以实现iii族氮化物单晶衬底表面的高度平坦化，减少散射效应，并形成超高电阻率的绝缘保护层，完全消弭漏电通道。
63.本技术的一些实施例还提供一种iii族氮化物单晶衬底，它由前述的任一种iii族氮化物单晶衬底表面修复方法制得。
64.本技术的一些实施例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法，包括：采用前述的任一种iii族氮化物单晶衬底表面修复方法对iii族氮化物单晶衬底进行表面修复，之后在所述iii族氮化物单晶衬底上生长hemt器件的外延结构。
65.其中，所述hemt器件的外延结构可以包括沟道层、势垒层等，还可以包括盖帽层、插入层(空间层)等。所述外延结构可以由iii族氮化物组成，例如可以是基于a1gan/gan、alinn/gan等异质结的外延结构，且不限于此。
66.所述hemt器件的外延结构可以是利用hvpe(氢化物气相外延)、mocvd(金属有机化学气相沉积)、pecvd(等离子体增强化学的气相沉积)等方式生长形成，且不限于此。
67.本技术的一些实施例还提供一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构，它由所述基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法制得。
68.本技术的一些实施例还提供一种hemt器件，其包括：
69.所述的基于iii族氮化物同质外延的hemt结构；以及
70.与所述hemt结构配合的源极、漏极和栅极。
71.其中，所述源极、漏极和栅极可以采用本领域已知的方式制作。
72.在本技术的一个典型实施方案中，一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法可以包括如下步骤：
73.(1)请参阅图1，将生长着薄层u型gan外延层12的蓝宝石衬底11作为mo模板放进
hvpe系统的生长腔室内，在iii族金属源(例如ga源)中增加fe源或者c源(即第一掺杂源)，然后在所述mo模板上外延生长半绝缘iii族氮化物材料13(例如si-gan)，长到一定厚度(例如500μm左右)以上时，通过激光剥离(llo)和研磨抛光等，形成半绝缘性iii族氮化物单晶衬底14(例如si型gan单晶衬底)。
74.(2)请参阅图2，将所述si型gan单晶衬底14放入mocvd系统的生长腔室内，在偏高压环境下，h2、n2和nh3混合气氛中，升到高温后进行气氛的变换，实现对所述si型gan单晶衬底的表面重构，在重构的过程中，先去除所述si型gan单晶衬底表面吸附杂质原子的污染层，然后对重构后的所述si型gan单晶衬底表面进行平坦化和高阻值化，生长形成高平整度、高电阻率的绝缘iii族氮化物层15(例如hr-si gan层)，最后进行hemt外延结构的生长。例如，所述hemt外延结构可以包括gan沟道层21、aln插入层22、algan势垒层23和gan帽层24等。该步骤(2)可以在同一生长腔室内完成。
75.在本技术中，通过对同质外延iii族氮化物单晶衬底的表层进行重构以及平坦化和高阻值化，在此基础上进行同质半导体器件(如hemt器件)的外延结构的生长，具有超高的平整度和高质量界面态，在其上生长的外延结构(例如可以包括aln插入层和algan势垒层)的均匀性将变得非常好，尤其是对于hemt器件来说，均匀、陡峭的沟道层/势垒层界面(如gan/algan界面)能够更大效率地发挥极化效应，极大增强二维电子气(2deg)的迁移率和电子密度，对开关响应会有很大的帮助。并且，由于非但没有缓冲层和杂质层的影响，而且存在绝缘iii族氮化物层，还可以形成良好的绝缘保护，杜绝异质衬底存在的漏电通道，制作的hemt器件的耐压性能非常优秀，相较于现有技术制成的中低电压(0-600v)hemt器件，利用本技术的方法生长的同质外延hemt器件在高电压领域(0-1200v)有非常明显的性能优势，应用前景广阔。
76.以下将结合附图及若干实施例对本技术的技术方案进行更详细的描述，但应当理解，如下实施例仅仅是为了解释和说明该技术方案，但不限制本技术的范围。又及，若非特别说明，如下实施例中所采用的各种原料、反应设备、检测设备及方法等均是本领域已知的。
77.实施例1
78.一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法包括如下步骤：
79.(i)si型gan单晶衬底的制备步骤，包括：将生长着厚度约2-3μm的薄层u型gan外延层的蓝宝石衬底作为mo模板放进hvpe系统的生长腔室内，在作为镓源的tmga中增加作为第一掺杂源的二茂铁，然后控制生长腔室内的温度约1050℃、气压约200torr、mo源及氮源(nh3)的总流量约30slm，在mo模板上生长半绝缘gan材料(si-gan)，生长时间约24h左右，获得厚度不小于500μm的si-gan层，再通过激光剥离和研磨抛光去除蓝宝石衬底等，形成si型gan单晶衬底，其电阻率＞108ωcm。
80.(ii)si型gan单晶衬底的表面重构及修复步骤，包括：
81.a、将所述si型gan单晶衬底放入mocvd系统的生长腔室内，在h2、n2和nh3混合气氛下，压力升到约400torr，升温到约1080℃，然后进行气氛变换。气氛变换主要分为三步：
82.a1)h2、n2和nh3同时通入，其中h2流量约为100slm、n2流量约为50slm、nh3流量约为25slm，持续约5min；
83.a2)关掉nh3，同时通入h2和n2，其中h2流量约为120slm、n2流量约为55slm，持续约
20s；
84.a3)关掉n2，同时通入h2和nh3，其中h2流量约为120slm、nh3流量约为55slm，持续约3min。
85.该步骤a1)至步骤a3)的操作循环重复多次后，gan单晶衬底从空气中吸收的o、si等其他杂质的表层区域被完全分解、流出生长腔室，完成对si型gan单晶衬底表面的重构。请参阅图3a-图3b分别是该实施例中一种si型gan单晶衬底在表面重构前、后的杂质含量测试图。可以看到，经表面重构后，si型gan单晶衬底中的杂质含量明显降低。
86.b、在完成步骤a后，在nh3保护下，将所述mocvd系统的生长腔室内的温度升高到约1150℃，压力降低到约150torr，保持nh3的流量50slm不变，逐步递减的通入tmga(流量在20min内从100sccm降为50sccm)，同时递增式的通入mg2fe作为第二掺杂源(mg2fe的输入量由2μmol/min增加到10μmol/min)，生长形成厚度约550nm的hr-gan层，完成对si型gan单晶衬底表面的修复，使其表面的电阻率值约为109ωcm。
87.参阅图4所示是本实施例中一种完成表面修复后的si型gan单晶衬底的表面的原子力表面形貌图，可见通过前述的表面重构、修复处理后，si型gan单晶衬底表面的原子台阶流形貌非常明显，其表面在10μm
×
10μm范围内的粗糙度ra值《0.1nm、电阻率》109ωcm。
88.(iii)在所述mocvd系统的生长腔室内，继续于所述hr-gan层上原位生长约300nm的gan沟道层、1nm的a1n插入层、20-30nm的algan势垒层(al组分20-30％)和2nm的gan帽层，形成hemt结构。请参阅图5-图6，本实施例中所制得的一种hemt结构(命名为样品a)中二维电子气的迁移率平均约为2128cm2/v.s、电子面密度平均约为1.073e+13。
89.实施例2
90.一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法包括如下步骤：
91.(i)si型gan单晶衬底的制备步骤，与实施例1的步骤(i)基本相同，区别在于，本实施例中是采用cbr4作为第一掺杂源，所形成的si型gan单晶衬底的电阻率也均大于108ωcm。
92.(ii)si型gan单晶衬底的表面重构及修复步骤，包括：
93.a、将所述si型gan单晶衬底放入mocvd系统的生长腔室内，在h2、n2和nh3混合气氛下，压力升到约450torr，升温到约1050℃，然后进行气氛变换。气氛变换主要分为三步：
94.a1)h2、n2和nh3同时通入，其中h2流量约为160slm、n2流量约为80slm、nh3流量约为40slm，持续约5min；
95.a2)关掉nh3，同时通入h2和n2，其中h2流量约为160slm、n2流量约为40slm，持续约20s；
96.a3)关掉n2，同时通入h2和nh3，其中h2流量约为160slm、nh3流量约为40slm，持续约3min。
97.循环重复该步骤a1)至步骤a3)的操作多次，直至si型gan单晶衬底中的杂质含量降低到预期范围。
98.b、在完成步骤a后，在nh3保护下，将所述mocvd系统的生长腔室内的温度升高到约1100℃，压力降低到约250torr，保持nh3的流量100slm不变，逐步递减的通入tmga(流量在40min内从100sccm降为50sccm)，同时递增式的通入mg2fe作为第二掺杂源(mg2fe的输入量由5μmol/min增加到25μmol/min)，生长形成厚度约100nm的hr-gan层，完成对si型gan单晶衬底表面的修复，使其表面在10μm
×
10μm范围内的粗糙度ra值《0.1nm、电阻率》109ωcm。
99.之后可以按照本领域已知的方式，利用步骤b最终获得的si型gan单晶衬底制备hemt结构。
100.实施例3
101.一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法包括如下步骤：
102.(i)si型gan单晶衬底的制备步骤，与实施例1的步骤(i)基本相同，区别在于，本实施例中是采用c3h8作为第一掺杂源，所形成的si型gan单晶衬底的电阻率也均大于108ωcm。
103.(ii)si型gan单晶衬底的表面重构及修复步骤，包括：
104.a、将所述si型gan单晶衬底放入mocvd系统的生长腔室内，在h2、n2和nh3混合气氛下，压力升到约500torr，升温到约1060℃，然后进行气氛变换。气氛变换主要分为三步：
105.a1)h2、n2和nh3同时通入，其中h2流量约为140slm、n2流量约为60slm、nh3流量约为30slm，持续约5min；
106.a2)关掉nh3，同时通入h2和n2，其中h2流量约为140slm、n2流量约为60slm，持续约20s；
107.a3)关掉n2，同时通入h2和nh3，其中h2流量约为140slm、nh3流量约为55slm，持续约3min。
108.循环重复该步骤a1)至步骤a3)的操作多次，直至si型gan单晶衬底中的杂质含量降低到预期范围。
109.b、在完成步骤a后，在nh3保护下，将所述mocvd系统的生长腔室内的温度升高到约1150℃，压力降低到约100torr，保持nh3的流量100slm不变，逐步递减的通入tmga(流量在30min内从200sccm降为80sccm)，同时递增式的通入c3h8作为第二掺杂源(c3h8的输入量由10μmol/min增加到100μmol/min)，生长形成厚度约1000nm的hr-gan层，完成对si型gan单晶衬底表面的修复，使其表面在10μm
×
10μm范围内的粗糙度ra值《0.1nm、电阻率》109ωcm。
110.之后可以按照本领域已知的方式，利用步骤b最终获得的si型gan单晶衬底制备hemt结构。
111.按照本领域习知的方式对本技术以上实施例制得的各hemt结构进行测试，最终发现，其中二维电子气的迁移率均稳定大于2000cm2/v.s，电子面密度均大于1e+13cm-2
。
112.对比例1a
113.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：省略了步骤a。该对比例制得的hemt结构被命名为样品b。
114.对比例1b
115.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：省略了步骤a1。该对比例制得的hemt结构被命名为样品c。
116.对比例1c
117.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：省略了步骤a2。该对比例制得的hemt结构被命名为样品d。
118.对比例1d
119.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：省略了步骤a3。该对比例制得的hemt结构被命名为样品e。
120.对比例1e
121.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：
122.步骤a1)中h2流量约为100slm、n2流量约为40slm、nh3流量约为15slm，持续约5min；
123.a2)关掉nh3，同时通入h2和n2，其中h2流量约为100slm、n2流量约为40slm，持续约20s；
124.a3)关掉n2，同时通入h2和nh3，其中h2流量约为100slm、nh3流量约为50slm，持续约3min。
125.该对比例制得的hemt结构被命名为样品f。
126.经测试发现，样品b-样品f中二维电子气的迁移率均低于1300cm2/v.s，其可能是因为si型gan单晶衬底未获得很好的表面重构，存在表面态，其中n空位等杂质会影响界面的载流子捕获，同时表面平整度低也会增加载流子的晶格散射，最终造成二维电子气迁移率很低。
127.对比例2a
128.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：省略了步骤b。该对比例制得的hemt结构被命名为样品g。
129.对比例2b
130.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：步骤b中ga源的流量恒定维持在100seem。该对比例制得的hemt结构被命名为样品h。
131.对比例2c
132.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：步骤b中mg2fe的输入量恒定维持在50μmol/min。该对比例制得的hemt结构被命名为样品i。
133.对比例2d
134.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：步骤b中nh3的流量50slm不变，而tmga的流量从100sccm降为25sccm。该对比例制得的hemt结构被命名为样品i。
135.对比例2e
136.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：步骤b中mg2fe的输入量在5min内由10μmol/min增加到70μmol/min。该对比例制得的hemt结构被命名为样品j。
137.对比例2f
138.本对比例提供的一种基于iii族氮化物同质外延的hemt结构的制备方法与实施例1中样品a的制备方法基本相同，区别仅在于：步骤b中mg2fe的输入量在10min内由5μmol/
min增加到10μmol/min。该对比例制得的hemt结构被命名为样品k。
139.经测试发现，该样品g-样品k中所生长的晶体质量和表面平整度均明显低于样品a，二维电子气的迁移率基本在1300cm2/v.s以下，电子密度基本在5e+12以下，漏电率明显增加。
140.利用本领域习知的方式，在相同条件下，分别在实施例1-实施例3、对比例1a-对比例2f所制得的hemt结构上制作源极、漏极和栅极，从而获得一系列hemt器件，再对这些器件的开关响应、耐压性能进行测试，结果显示，利用实施例1-实施例3产品制得的hemt器件的性能比对比例1a-对比例2f产品制得的hemt器件有明显改善，改善幅度至少为30％-50％。
141.最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。