技术特征：
1.一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，包括机架（1），其特征在于，机架（1）包括圆弧状结构的顶盖（1a）、两个竖板（1c）和两个侧板（1b），两个侧板（1b）并排布置，两个竖板（1c）分别位于两个侧板（1b）的两侧，顶盖（1a）固定连接于两个竖板（1c）的顶部之间，其中一个竖板（1c）的顶部设置有第一横槽（1c4），顶盖（1a）的内壁上设置有沿其轮廓的第一滑轨（1a1），两个竖板（1c）的相对侧均设置有的第二滑轨（1c1），且第二滑轨（1c1）与第一滑轨（1a1）连通，具有第一横槽（1c4）的竖板（1c）的第二滑轨（1c1）上靠近第一横槽（1c4）处设置有第一弯折部（1c2），机架（1）上还设置有传送带（1d2）、旋转驱动电机（1d）、两个旋转轴（1d1）和若干个承接盘（2），两个旋转轴（1d1）均呈水平状态可转动的位于两个侧板（1b）之间，且两个旋转轴（1d1）分别位于两个侧板（1b）的顶部和底部，传送带（1d2）套设于两个旋转轴（1d1）上，旋转驱动电机（1d）固定连接于其中一个侧板（1b）的底部，旋转驱动电机（1d）的输出轴贯穿通过侧板（1b）与位于侧板（1b）底部的旋转轴（1d1）固定连接，所有承接盘（2）均等距离的固定连接于传送带（1d2）上，所有承接盘（2）上均设置有朝向竖板（1c）一侧的圆弧状凹槽（2a），凹槽（2a）内设置有承接板（2b），所有承接盘（2）上远离凹槽（2a）的一侧均设置有保护组件（2c），保护组件（2c）与第一滑轨（1a1）和第二滑轨（1c1）滑动配合。2.根据权利要求1所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，承接盘（2）的两侧均设置有向侧板（1b）延伸的支撑臂（2d），两个支撑臂（2d）均呈水平状态，两个支撑臂（2d）上远离传动带的一侧均设置有滑槽（2d1），保护组件（2c）包括两个挡块（2c1），两个挡板分别可滑动的位于两个支撑臂（2d）的滑槽（2d1）上，两个挡块（2c1）的相对侧均设置有与凹槽（2a）相互匹配的圆弧状的契合边。3.根据权利要求2所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，两个挡块（2c1）的契合边上均设置有弹性材料制成的缓冲垫（2c2）。4.根据权利要求2所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，两个挡块（2c1）上远离承接盘（2）的一端均设置有第一辊轴（2c3），两个挡块（2c1）的第一辊轴（2c3）上均套设有第一滑轮（2c4），第一滑轮（2c4）与第一滑轨（1a1）和第二滑轨（1c1）滑动配合。5.根据权利要求2所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，两个支撑臂（2d）上靠近侧板（1b）的一端均设置有第二辊轴（2d2），两个支撑臂（2d）的第二辊轴（2d2）上均套设有第二滑轮（2d3），两个侧板（1b）的相对侧均设置有沿其轮廓设置的第三滑轨（1b1），两个支撑臂（2d）上的第二滑轮（2d3）分别于两个侧板（1b）上盖的第三滑轨（1b1）滑动配合。6.根据权利要求5所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，第一横槽（1c4）的旁侧设置有传感器（1c6）。7.根据权利要求1所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，承接板（2b）为圆弧状的板状结构，承接板（2b）呈水平状态位于承接盘（2）的中央，位于第一横槽（1c4）相对侧的竖板（1c）上设置有与第一横槽（1c4）平齐的第二横槽（1c5），第二横槽（1c5）上设置有与第二滑轨（1c1）的第一弯折部（1c2）呈镜像对称的第二弯折部（1c3）。8.根据权利要求7所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，机架（1）的底部设置有呈水平状态放置的旋转盘（1e），旋转盘（1e）的底部设置有用于与外部旋转机构连接的安装孔（1e1）。
9.根据权利要求1所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，承接盘（2）上靠近传送带（1d2）的一侧设置有与传送带（1d2）相互匹配的卡槽（2e），卡槽（2e）的顶部和底部均设置有限位凸台（2e1）。10.一种针测机传输机构晶圆防滑出的保护方法，应用于权利要求1-9中任意一项所述的一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，其特征在于，包括有以下步骤：s1,通过启动旋转驱动电机（1d），旋转驱动电机（1d）带动旋转轴（1d1），通过旋转轴（1d1）带动传送带（1d2），通过传送带（1d2）的转动带动多个承接盘（2）的移动；s2a,承接盘（2）移动时会带动保护组件（2c）移动，使得保护组件（2c）的两个挡块（2c1）随第一滑轨（1a1）和第二滑轨（1c1）移动,当承接盘（2）移动至第一横槽（1c4）或第二横槽（1c5）处时，此时保护组件（2c）的两个挡块（2c1）位于第二滑轨（1c1）的第一弯折部（1c2）或第二弯折部（1c3）处，从而使得两个挡块（2c1）相互远离，使承接盘（2）上的凹槽（2a）处被打开，便于针测机的机械手从第一横槽（1c4）或第二横槽（1c5）处伸入将承接盘（2）上的晶圆取出；s2b,晶圆被取出后，空置的承接盘（2）向传送带（1d2）的另一侧移动，使承接盘（2）移动至第一横槽（1c4）或第二横槽（1c5）的相对侧，此时保护组件（2c）的两个挡块（2c1）位于第二滑轨（1c1）的第一弯折部（1c2）或第二弯折部（1c3）处，从而使得两个挡块（2c1）相互远离，使承接盘（2）上的凹槽（2a）处被打开，便于针测机的机械手从第一横槽（1c4）或第二横槽（1c5）处伸入将承晶圆放回至承接盘（2）上。
技术总结
本发明涉及半导体元件检测设备技术领域，具体是涉及一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置及其保护方法，包括机架，机架包括、顶盖、两个竖板和两个侧板，机架上还设置有传送带、旋转驱动电机、两个旋转轴和若干个承接盘，通过旋转驱动电机带动旋转轴，从而带动传送带使多个承接盘移动，承接盘与竖板上的第一横槽进行对齐，针测机的机械手从第一横槽内插入对承接盘上的晶圆夹取，由于第一横槽的高度固定，使机械手无需频繁调整自身的高度来匹配晶舟上多层的晶圆，从而方便晶圆的夹取，减少机械手调整高度的时间，提高夹取效率，通过第一横槽的设置还可避免因机械手的误操作导致其碰触到其他晶圆，造成晶圆滑出或损坏。造成晶圆滑出或损坏。造成晶圆滑出或损坏。
技术研发人员：尹明清
受保护的技术使用者：深圳市星国华先进装备科技有限公司
技术研发日：2022.06.28
技术公布日：2022/7/28